一种III族氮化物和硅异质集成衬底及其制作方法

    公开(公告)号:CN107331663A

    公开(公告)日:2017-11-07

    申请号:CN201610283432.7

    申请日:2016-04-29

    Inventor: 陈龙

    CPC classification number: H01L21/20 H01L31/113 H01L33/12 H01L27/04 H01L21/70

    Abstract: 本发明提供一种III族氮化物和硅异质集成衬底及其制作方法,所述III族氮化物和硅异质集成衬底包括:硅衬底;形成于所述硅衬底上的III族氮化物叠层结构;形成于所述III族氮化物叠层结构上的绝缘层;以及形成于所述绝缘层上的顶层硅。本发明的III族氮化物和硅异质集成衬底及其制作方法将所述顶层硅与所述III族氮化物叠层结构集成于同一硅衬底上,其中,所述硅基叠层结构可以用于制作传统电路,结合所述III族氮化物叠层结构可以实现多种应用,为实现“超越摩尔定律”提供重要的技术创新平台。本发明的III族氮化物和硅异质集成衬底中,III族氮化物材料深埋在底部,仅顶层硅及硅衬底面暴露在外面,不会对CMOS工艺造成污染,可以使用CMOS工艺线进行流片。

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