铜接合线、铜接合线的制造方法以及半导体装置

    公开(公告)号:CN119866539A

    公开(公告)日:2025-04-22

    申请号:CN202380065618.3

    申请日:2023-09-13

    Abstract: 本发明提供一种铜接合线,其能够提高切断性以及接合强度和追随性,抑制金属线的剥离和偏离工具。一种铜接合线,其是由铜的纯度为99.99质量%以上的铜合金构成的铜金属线,所述铜金属线的与线轴垂直的方向的截面中的晶界密度为0.01μm‑1以上且小于0.6μm‑1,在所述截面中的线轴方向的晶体取向中,相对于线轴方向角度差为15°以下的晶体取向 的取向比率除以相对于线轴方向角度差为15°以下的晶体取向 的取向比率而得到的值为10以上且650以下,动态硬度为45以上且90以下,并且所述截面中的弹性模量为20GPa以上且70GPa以下。

    钯覆盖铜接合线及其制造方法

    公开(公告)号:CN113169077B

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN201880099771.7

    申请日:2018-11-30

    Abstract: 本发明提供一种钯覆盖铜接合线,其在第一接合时不产生缩孔,接合可靠性高,即使是在高温、高湿的环境中也能够长时间维持优异的接合可靠性。一种钯覆盖铜接合线,其中,相对于铜与钯与硫族元素的合计,钯的浓度为1.0质量%~4.0质量%,硫族元素浓度合计为50质量ppm以下,硫浓度为5质量ppm~12质量ppm、或硒浓度为5质量ppm~20质量ppm或碲浓度为15质量ppm~50质量ppm,在形成于引线前端的无空气球的距离前端部表面为5.0nm~100.0nm的范围内,具有钯的浓度相对于铜与钯的合计成为平均6.5原子%~30.0原子%的钯富集区域。

    接合线的缠绕线轴、卷绕构造及线轴盒

    公开(公告)号:CN110832629A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201880045000.X

    申请日:2018-07-03

    Abstract: 本发明的目的在提供一种在卷绕在线轴的接合线中,对于长距离输送或接合装置安装时所产生的振动或冲撃,退绕性亦良好的接合线用缠绕线轴及对缠绕线轴的卷绕构造、以及收纳该线轴的线轴盒。本发明的缠绕线轴是由开孔导引部、主体部及凸轮部所构成的合成树脂制的接合线用的缠绕线轴,该凸轮部内面具有仰角为76度以上且86度以下的倾斜部,而且该倾斜部的垂直高度(h)为该凸轮部内面的全体的垂直高度(H)的50%以上,借此可解决课题。

    用于球焊的包覆钯的铜丝

    公开(公告)号:CN105914195B

    公开(公告)日:2018-09-28

    申请号:CN201610024309.3

    申请日:2016-01-14

    Abstract: 本发明是为了解决量产的焊丝在通过FAB形成熔球方面不稳定的问题而进行的,其目的在于提供一种丝的解卷性良好,并且可以形成稳定熔球的用于球焊的包覆钯的铜丝。一种用于球焊的包覆钯的铜丝,其特征在于,线径为10~25μm,在由铜或铜合金所形成的芯材上形成有钯包覆层,在该钯包覆层中存在有钯单独的纯净层,并且在该钯包覆层上形成有来自该芯材的铜的渗出层,该铜的渗出层的表面被氧化。此外,提供一种用于球焊的包覆钯的铜丝,其特征在于,线径为10~25μm,在由铜或铜合金所形成的芯材上包覆有钯包覆层和金表皮层,在该金表皮层上形成有铜的渗出层,该铜的渗出层的表面被氧化,并且在钯包覆层中存在有钯单独的纯净层。

    高速信号线用接合线
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104157625B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201410108092.5

    申请日:2014-03-21

    Abstract: 本发明的目的是提供一种银-钯-金(Ag-Pd-Au)基合金的高速信号线用接合线,其即使在接合线表面形成不稳定的硫化银层时,仍无坚固的硫化银(Ag2S)膜,并可传输稳定的数千兆赫(giga Hertz,GHz)带等的超高频信号。本发明的解决方法是提供一种高速信号线用接合线,其是由钯(Pd)2.5~4.0质量%、金(Au)1.5~2.5质量%及剩余部分为纯度99.99质量%以上的银(Ag)所构成的三元合金,该接合线剖面是由表皮膜与芯材所构成,该表皮膜是由在连续铸造后所缩径的连续铸造面与表面偏析层所构成,该表面偏析层是由较芯材含量渐增的银(Ag)且含量渐减的金(Au)的合金区域所构成。

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