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公开(公告)号：KR1020060085840A
公开(公告)日：2006-07-28
申请号：KR1020050006774
申请日：2005-01-25
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C01G53/04
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 니켈 아미노알콕사이드 선구 물질을 니켈의 원료 화합물로 사용하여 원자층 침착법 (atomic layer deposition, ALD)으로 니켈 산화물 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 방법에 따르면 기존의 원자층 침착법에 비해 더 온화한 공정 조건에서 품질이 좋은 니켈 산화물 박막을 얻을 수 있다.
상기 식에서, m은 1 내지 3 범위의 정수고, R
1 ,
R
2 ,
R
3 및 R
4 는 각각 독립적으로 C
1 -C
4 선형 또는 분지형 알킬기다.-
公开(公告)号：KR100578718B1
公开(公告)日：2006-05-12
申请号：KR1020040050007
申请日：2004-06-30
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07D295/088 , C07D243/08 , C07D295/084
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시한 고리가 있는 아미노디올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 고리가 있는 아미노디올 화합물은 금속과 결합하여 안정하고 휘발성이 좋아진 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이 착화합물은 비교적 낮은 온도에서 쉽게 분해하기 때문에 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 나노 입자 및 박막을 제조할 수 있다.
[화학식 1]
상기 식에서,
m과 n은 2 내지 3의 정수고,
R
1 , R
2 , R
3 및 R
4 는 독립적으로 동일하거나 상이하며, 수소, 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬 기다.
아미노디올, 박막제조용 선구물질, 고리화 아민 화합물, 금속 착화합물-
公开(公告)号：KR100576946B1
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：KR1020040000080
申请日：2004-01-02
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07C215/08
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1 로 표시되는 전자 주개로 기능화된 아미노알코올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기능화된 아미노알코올 화합물은 금속과 결합되어 안정하고 휘발성이 향상된 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 박막을 제조할 수 있다.
상기 식에서,
R
1 은 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기, 또는 Y(CH
2 )
m CH(R
* )-(여기에서, Y는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알콕시기 또는 디(C
1 -C
4 알킬)아민이고, R
* 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며, m은 1 내지 3의 정수이다) 이고,
R
2 는 수소, 또는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬기이며,
R'는 서로 같거나 상이하며, 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또 는 분지형 C
1 -C
4 알킬기 또는 알킬실릴기이다.-
公开(公告)号：KR1020060014550A
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：KR1020040063129
申请日：2004-08-11
Applicant: 한국화학연구원
IPC: H01L21/316
CPC classification number: H01L21/02181 , H01L21/28556 , H01L21/324
Abstract: 본 발명은 아래 화학식 1로 나타낸 테트라키스(3-메틸-3-펜톡시)하프늄(IV) [tetrakis(3-methyl-3-pentoxy)hafnium(IV), Hf(mp)
4 ]를 단일 선구 물질로 사용하여 금속 유기물 화학 증착법 (metal organic chemical vapor deposition, MOCVD)으로 하프늄 산화물 박막을 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 선구 물질은 기존의 Hf(O
t Bu)
4 (hafnium tetra-
tert -butoxide)와 견줄 때 증기압이 높아 MOCVD 공정에 적합하고 안정성이 더 뛰어나 보관과 사용에 유리하며 산소 원을 따로 공급하지 않고 이를 단독으로 사용하여 질이 좋은 하프늄 산화물 박막을 제조하는 데에 유용하다.Abstract translation: 本发明式（I）四由以下表示的铪（3-甲基-3-戊氧基）（IV）[四（3-甲基-3-戊氧基）铪（IV），铪（MP）
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公开(公告)号：KR1020060001002A
公开(公告)日：2006-01-06
申请号：KR1020040050007
申请日：2004-06-30
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07D295/088 , C07D243/08 , C07D295/084
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1로 표시한 고리가 있는 아미노디올 화합물 및 이를 공기 분위기의 수용액 중에서 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 고리가 있는 아미노디올 화합물은 금속과 결합하여 안정하고 휘발성이 좋아진 금속 알콕사이드 착화합물을 제공하며, 이 착화합물은 비교적 낮은 온도에서 쉽게 분해하기 때문에 이를 이용하여 질이 좋은 금속 또는 금속 산화물 나노 입자 및 박막을 제조할 수 있다.
[화학식 1]
상기 식에서,
m과 n은 2 내지 3의 정수고,
R
1 , R
2 , R
3 및 R
4 는 독립적으로 동일하거나 상이하며, 수소 또는 플루오르를 포함하거나 포함하지 않는 선형 또는 분지형 C
1 -C
4 알킬 기 또는 알킬실릴 기다.
아미노디올, 박막제조용 선구물질, 고리화 아민 화합물, 금속 착화합물Abstract translation: 本发明涉及一种氨基二醇化合物，并且它涉及一种生产在空气气氛中的水溶液，与根据本发明的环的氨基二醇化合物是稳定的与金属和挥发性jotahjin金属与由式表示的环组合（I） 提供烷氧基配合物，复合物是能够产生良好品质的金属或金属氧化物纳米颗粒，以及薄膜容易，因为它们分解在相对低的温度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020050081302A
公开(公告)日：2005-08-19
申请号：KR1020040009484
申请日：2004-02-13
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/28
CPC classification number: C07F7/28 , C23C16/405 , C23C16/45525
Abstract: 본 발명은 하기 화학식 1의 티타늄 산화물 선구 물질 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따라 합성하는 티타늄 산화물 선구 물질은 열적으로 안정하고 휘발성이 개선되어 티타늄 산화물 박막 제조에 유리하게 사용할 수 있다.
상기 식에서,
2개의 R은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이고,
2개의 R'은 서로 독립적으로 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기 또는 CR"
2 CH
2 NR
*
2 (여기에서, R" 및 R
* 는 C
1 -C
4 의 선형 또는 분지형 알킬기이다) 이다.-
公开(公告)号：KR1020050035605A
公开(公告)日：2005-04-19
申请号：KR1020030071026
申请日：2003-10-13
Applicant: 한국화학연구원
CPC classification number: C07F15/045 , B82Y40/00 , C07F1/08
Abstract: 본 발명은 구리 및 니켈 금속 나노 입자를 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 자체 열분해가 가능한 아미노알콕시 금속 착화합물을 선구 물질로 사용하여, 외부로부터 환원제를 넣지 않고, 녹는점이 낮고 비등점이 높으며 배위 가능한 원소를 포함하는 덮개 리간드를 이용하여, 금속 입자의 크기 및 형상을 제어할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020040100208A
公开(公告)日：2004-12-02
申请号：KR1020030032469
申请日：2003-05-22
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07F7/00
CPC classification number: C07F7/006 , C23C16/409 , C23C16/45525
Abstract: PURPOSE: Precursors of group IV transition metal oxide and a preparing method thereof are provided, which precursors are easily stored due to its less sensitivity to water, and has improved volatility, so that they are useful as precursors for production of an oxide thin layer. CONSTITUTION: The precursors of group IV transition metal oxide represented by formula (1) of M(OCR2(CH2)mY)x(NR'2)(4-x), is provided, wherein M is titanium, zirconium or hafnium; R is optionally fluor containing C1-C4 alkyl; Y is -OR' or -NR'2 in which R' is C1-C4 alkyl or C1-C4 alkylsilyl; m is an integer from 1 to 3; and x is an integer from 1 to 4. The method for preparing the precursors of group IV transition metal oxide of formula (1) comprises reacting group IV transition metal complex of formula (2) of M(NR'2)4, with an alcohol compound of formula (3) of HOCR2(CH2)mY.
Abstract translation: 目的：提供IV族过渡金属氧化物的前体及其制备方法，由于其对水的敏感性较低，前体容易储存，并且具有改善的挥发性，因此它们可用作生产氧化物薄层的前体。 构成：提供由M（OCR2（CH2）mY）x（NR'2）（4-x）的式（1）表示的IV族过渡金属氧化物的前体，其中M是钛，锆或铪; R是任选的含氟的C 1 -C 4烷基; Y是-OR'或-NR'2，其中R'是C 1 -C 4烷基或C 1 -C 4烷基甲硅烷基; m为1〜3的整数; 式（1）的IV族过渡金属氧化物的前体的制备方法包括将M（NR'2）4的式（2）的IV族过渡金属络合物与 HOCR2（CH2）mY的式（3）的醇化合物。
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129.发明公开
公开(公告)号：KR1020040079279A
公开(公告)日：2004-09-14
申请号：KR1020030014383
申请日：2003-03-07
Applicant: 한국화학연구원
IPC: C07C219/16 , C07F19/00
Abstract: PURPOSE: An aminoalcohol compound, its preparation method, a metal complex prepared by using the compound, its preparation method and a method for growing a metal or metal oxide thin film by using the complex as a precursor are provided, to improve the thermal stability and volatility of a metal complex, thereby enhancing the quality of a thin film obtained by using the complex. CONSTITUTION: The aminoalcohol compound is represented by the formula 1 or 2, wherein Rs are independently an alkyl or alkoxyalkyl group of C1-C4 containing or not containing F; R' is an alkyl group of C1-C4 containing or not containing F, Si(CH3)3 or H; R''s are independently an alkyl group of C1-C4 containing or not containing F; and m and n are a number of 1-3. The metal complex is represented by M(OR)y, wherein M is a metal selected from the group consisting of an alkaline earth metal, a transition metal and a lanthanide metal; R is an alkyl or alkoxyalkyl group of C1-C4 containing or not containing F; and y is a number of 2-6.
Abstract translation: 目的：提供氨基醇化合物及其制备方法，通过使用该化合物制备的金属络合物及其制备方法和通过使用络合物作为前体来生长金属或金属氧化物薄膜的方法，以提高热稳定性和 金属络合物的挥发性，从而提高通过使用复合物获得的薄膜的质量。 构成：氨基醇化合物由式1或2表示，其中R 5独立地是含有或不含有F的C 1 -C 4的烷基或烷氧基烷基; R'是含有或不含有F，Si（CH 3）3或H的C 1 -C 4的烷基; R'独立地是含有或不含有F的C 1 -C 4的烷基; m和n为1-3的数。 金属络合物由M（OR）y表示，其中M是选自碱土金属，过渡金属和镧系金属的金属; R是含有或不含有F的C 1 -C 4的烷基或烷氧基烷基; y为2-6。
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