公开(公告)号：KR1020160143669A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：KR1020167027708

申请日：2015-04-16

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  요오겐 ,  니시다카노리

IPC: G03F7/30 ,  G03F7/34 ,  H01L51/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/3086 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/091 ,  G03F7/16 ,  G03F7/168 ,  G03F7/20 ,  G03F7/30 ,  G03F7/38 ,  G03F7/40 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/0276 ,  H01L21/30604 ,  Y10S977/887 ,  Y10S977/943 ,  G03F7/34 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/0274 ,  H01L51/0043

Abstract: 기판처리방법은, 기판상에레지스트막에의해원 형상의패턴을복수형성하고, 그후 제1 블록공중합체를도포하고, 계속해서제1 블록공중합체를친수성폴리머와소수성폴리머로상분리시킨후, 친수성폴리머를선택적으로제거하고, 계속해서기판상으로부터레지스트막을선택적으로제거하고, 그후 제2 블록공중합체를당해기판에도포하고, 계속해서제2 블록공중합체를친수성폴리머와소수성폴리머로상분리시킨후, 상분리한제2 블록공중합체로부터친수성폴리머를선택적으로제거한다. 제1 블록공중합체및 제2 블록공중합체에있어서의친수성폴리머의분자량의비율은 20%∼40%이다.

Abstract translation: 在本发明中，基板处理方法包括：在基板上使用抗蚀剂膜形成多个圆形图案; 施加第一嵌段共聚物; 将第一嵌段共聚物相分离为亲水性聚合物和疏水性聚合物，然后选择性除去亲水性聚合物; 从基板选择性地去除抗蚀剂膜; 将第二嵌段共聚物施加到所述基材上; 并将第二嵌段共聚物相分离为亲水性聚合物和疏水性聚合物，然后从相分离的第二嵌段共聚物中选择性除去亲水性聚合物。 亲水性聚合物在第一嵌段共聚物和第二嵌段共聚物中的分子量的比例在20-40％的范围内。

公开(公告)号：KR1020160088961A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：KR1020147027096

申请日：2013-11-25

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  다노우치게이지

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/38 ,  H01L21/027 ,  H01L21/311 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  B05C9/14

CPC classification number: H01L21/0271 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/68742 ,  G03F7/004 ,  B05C9/14 ,  G03F7/38

Abstract: 본발명은기판상에패턴을형성하는데있어서, 적어도 2개의중합체를포함하는블록공중합체의막을기판에형성하고, 당해블록공중합체의막을용제증기분위기하에서가열하여, 블록공중합체를상분리시키고, 상분리된블록공중합체의막 중하나의중합체를제거하도록했으므로, 블록공중합체의중합체유동화를촉진해서상분리를촉진시킬수 있다.

公开(公告)号：KR1020150114476A

公开(公告)日：2015-10-12

申请号：KR1020157019983

申请日：2014-01-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  키타노타카히로 ,  도미타타다토시 ,  타노우치케이지 ,  오카다소이치로

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/0337

Abstract: 본발명의기판처리방법은, 알칼리용액에가용인도포막을기판상에형성하는도포막형성공정과, 도포막상에레지스트패턴을형성하는레지스트패턴형성공정과, 레지스트패턴을마스크로서기판상에정해진패턴을형성하는패턴처리공정과, 이후, 알칼리용액에의해도포막을제거함으로써레지스트패턴을제거하는도포막제거공정과, 블록공중합체를, 도포막및 레지스트패턴제거후의기판상에도포하는블록공중합체도포공정과, 블록공중합체를, 제 1 폴리머와제 2 폴리머로상분리시키는폴리머분리공정을가진다.

公开(公告)号：KR102153767B1

公开(公告)日：2020-09-08

申请号：KR1020157036324

申请日：2014-06-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  니시다카노리 ,  가와카미신이치로 ,  야마우치다카시

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/32 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/311 ,  H01L21/308

公开(公告)号：KR102122343B1

公开(公告)日：2020-06-12

申请号：KR1020157019983

申请日：2014-01-22

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  키타노타카히로 ,  도미타타다토시 ,  타노우치케이지 ,  오카다소이치로

IPC: H01L21/033 ,  H01L21/67

公开(公告)号：KR101932804B1

公开(公告)日：2018-12-27

申请号：KR1020157006644

申请日：2013-09-27

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  다노우치게이지 ,  오카다소이치로

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  G03F7/40

Abstract: 본 발명은, 친수성 폴리머와 소수성 폴리머에 대하여 중간의 친화성을 갖는 중성층을 기판 상에 형성하고, 중성층 상에 형성된 레지스트막을 노광 처리하며, 이어서 노광 처리 후의 레지스트막을 현상하여 레지스트 패턴을 형성하고, 레지스트 패턴에 극성을 갖는 유기 용제를 공급하여 레지스트 패턴을 표면 처리하며, 블록 공중합체를 중성층 상에 도포하여, 중성층 상의 블록 공중합체를 친수성 폴리머와 소수성 폴리머로 상분리시킨다.

公开(公告)号：KR1020170060003A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：KR1020177007295

申请日：2015-09-15

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  토미타타다토시 ,  겐지마히사시 ,  요우겐 ,  키타노타카히로

IPC: H01L21/027 ,  H01L21/31 ,  C23C14/10 ,  C23C14/34 ,  C23C16/14 ,  C23C16/34 ,  G03F7/40 ,  H05H1/46

CPC classification number: H01L21/67173 ,  C08J7/18 ,  D06M14/18 ,  G03D5/003 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/40 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3255 ,  H01L21/02043 ,  H01L21/027 ,  H01L21/31 ,  H01L21/67167 ,  H01L21/67178 ,  H01L21/6719 ,  H01L29/511 ,  H01L29/66545 ,  H05H1/46

Abstract: 본발명의기판처리방법은, 친수성폴리머와소수성폴리머를포함하는블록공중합체를이용하여기판을처리하는기판처리방법으로서, 기판상에레지스트막에의해정해진레지스트패턴을형성하는레지스트패턴형성공정(S3)과, 레지스트패턴의표면에당해레지스트패턴의변형을억제하기위한박막을형성하는박막형성공정(S4)과, 박막형성후의기판에대하여블록공중합체를도포하는블록공중합체도포공정(S5)과, 블록공중합체를친수성폴리머와소수성폴리머로상분리시키는폴리머분리공정(S6)을가지고있다.

Abstract translation: 本发明中，亲水性聚合物和通过使用包括疏水性聚合物的嵌段共聚物处理基板的基板处理方法的一种基板处理方法，所述抗蚀剂图案形成在基板上形成由抗蚀剂膜所限定的抗蚀剂图案的步骤（S3 ），的表面上的块的抗蚀剂用于抑制涂覆有嵌段共聚物相对于所述基板的薄膜形成共聚物涂覆步骤（S5之后的抗蚀剂图案的变形形成薄膜的图案和薄膜形成工序（S4））和 以及用于将嵌段共聚物相分离成亲水聚合物和疏水聚合物的聚合物分离步骤（S6）。

公开(公告)号：KR1020160025515A

公开(公告)日：2016-03-08

申请号：KR1020157036324

申请日：2014-06-06

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  니시다카노리 ,  가와카미신이치로 ,  야마우치다카시

IPC: H01L21/308 ,  G03F7/40 ,  H01L21/311 ,  H01L21/67

CPC classification number: G03F7/20 ,  B81C2201/0149 ,  C08L53/00 ,  C09D153/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/16 ,  G03F7/32 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/0274 ,  H01L21/3086 ,  H01L21/31133 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708

Abstract: 기판처리방법은, 블록공중합체를친수성중합체와소수성중합체로상분리시키는중합체분리공정과, 상분리한블록공중합체로부터, 친수성중합체를선택적으로제거하는중합체제거공정을갖고, 중합체제거공정에서는, 상분리한블록공중합체에에너지선을조사하고, 계속해서친수성중합체에대하여제1 용해도를갖고, 물보다비점이낮고, 물에대하여가용이며또한소수성중합체를용해하지않는제1 극성유기용제를블록공중합체에공급하고, 계속해서, 제1 용해도보다낮은제2 용해도를갖고, 물보다도비점이높으며또한소수성중합체를용해하지않는제2 극성유기용제를, 블록공중합체에공급하여친수성중합체를제거한다.

公开(公告)号：KR1020150060741A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：KR1020157008388

申请日：2013-09-30

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 무라마츠마코토 ,  기타노다카히로 ,  도미타다다토시 ,  다노우치게이지 ,  야노가즈토시 ,  시게토미겐이치 ,  도요자와아키히로

IPC: H01L21/027 ,  B05D3/02 ,  B05D3/10 ,  B05D7/24 ,  B05C9/14 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/67098 ,  B05C9/14 ,  B05C11/08 ,  G03F7/0002 ,  H01J37/32889 ,  H01J2237/334 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/31058 ,  H01L21/31138 ,  H01L21/67023 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/67225 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/68757 ,  H01L21/68764

Abstract: 본발명은, 제1 폴리머와제2 폴리머를포함하는블록공중합체를이용하여기판을처리하는방법으로서, 블록공중합체를, 기판상 또는기판상에도포된하지막상에도포하는블록공중합체도포공정과, 기판상의블록공중합체를비산화성가스분위기에서열처리하여, 블록공중합체를제1 폴리머와제2 폴리머로상 분리시키는폴리머분리공정을포함한다.