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公开(公告)号:KR101910829B1
公开(公告)日:2018-10-24
申请号:KR1020160124760
申请日:2016-09-28
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
CPC classification number: G03F7/11 , C07C271/12 , C07D211/48 , C08F220/16 , C08F220/28 , C08F2220/283 , C09D133/14 , G03F7/0045 , G03F7/162 , G03F7/2041 , G03F7/325 , G03F7/40 , C08F2220/281
Abstract: 포토레지스트조성물위에적절하게적용되는탑코트조성물이제공된다. 바람직한탑코트조성물은, 폴리머주쇄로부터이격된반응성질소-함유모이어티를포함하는제1 단위체를포함하는제1 폴리머를포함하되, 상기반응성질소-함유모이어티는포토레지스트조성물의리소그래픽공정동안염기성의절단생성물을생성시킨다.
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公开(公告)号:KR1020170114257A
公开(公告)日:2017-10-13
申请号:KR1020170039470
申请日:2017-03-28
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/038 , G03F7/032 , G03F7/033 , C09D163/00
CPC classification number: C08L67/00 , C08F220/14 , C08L33/08 , C08L63/00 , G03F7/091 , G03F7/16 , C08F220/20 , C08F216/165
Abstract: 유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지(antireflective) 코팅조성물이제공되고, 상기조성물은 2종이상의수지의배합물을포함하고, 여기서하나의수지는폴리머골격에펜던트되거나융합된에폭시기를갖는다. 바람직한코팅조성물은하기를포함한다: 1) 1종이상의에폭시반응성기를포함하는제1 수지; 및 2) 상기제1 수지와구별되고에폭시기를포함하는가교결합제수지.
Abstract translation: 提供了用于有机涂料组合物,特别是外涂光刻胶的抗反射涂料组合物,其中所述组合物包含两种或更多种树脂的组合,其中一种树脂悬挂在聚合物主链上, Lt。 优选的涂料组合物包括:1)包含一个或多个环氧反应性基团的第一树脂; 以及2)与第一树脂不同且包含环氧基团的交联剂树脂。
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公开(公告)号:KR1020170054987A
公开(公告)日:2017-05-18
申请号:KR1020160141353
申请日:2016-10-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: C08G73/0644 , C09D5/006 , C09D179/04 , G03F7/091
Abstract: 유기코팅조성물, 특히제1 양태에있어서하기화학식 (I)의구조를포함하는가교결합제성분을포함하는, 오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다:
Abstract translation: 提供了一种抗反射涂料组合物,其与第一方面中包含有机涂料组合物,特别是包含式(I)结构的交联剂组分的外涂光刻胶一起使用:
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公开(公告)号:KR1020160129726A
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:KR1020160048417
申请日:2016-04-20
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
CPC classification number: G03F7/11 , C09D133/06 , G03F7/0397 , G03F7/095 , G03F7/2041 , G03F7/325 , G03F7/38 , C08L37/00
Abstract: 포토레지스트조성물위에적당하게도포되는탑코트조성물이제공된다. 바람직한탑코트조성물은 (i) 산불안정한그룹을포함하는질소-함유모이어티를포함한제1 단위; 및 (ii) (1) 하나이상의소수성그룹을포함하고 (2) 상기제1 단위와구별되는제2 단위를포함하는제1 폴리머를포함한다.
Abstract translation: 提供适用于光致抗蚀剂组合物上的面漆组合物。 优选的面漆组合物包含第一聚合物,其包含(i)包含含酸部分的第一单元,其包含酸不稳定基团; 和(ii)(1)包含一个或多个疏水基团的第二单元和(2)不同于第一单元。
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公开(公告)号:KR102003215B1
公开(公告)日:2019-07-25
申请号:KR1020160141353
申请日:2016-10-27
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/004 , H01L21/027 , G03F7/00
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公开(公告)号:KR101848656B1
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:KR1020160048417
申请日:2016-04-20
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
CPC classification number: G03F7/11 , C09D133/06 , G03F7/0397 , G03F7/095 , G03F7/2041 , G03F7/325 , G03F7/38 , C08L37/00
Abstract: 포토레지스트조성물위에적당하게도포되는탑코트조성물이제공된다. 바람직한탑코트조성물은 (i) 산불안정한그룹을포함하는질소-함유모이어티를포함한제1 단위; 및 (ii) (1) 하나이상의소수성그룹을포함하고 (2) 상기제1 단위와구별되는제2 단위를포함하는제1 폴리머를포함한다.
Abstract translation: 提供适合涂覆在光刻胶组合物上的面漆组合物。 优选的面漆组合物包含(i)包含含酸部分的第一单元,所述含氮部分包含酸不稳定基团; 和(ii)第一聚合物,其包含(1)至少一个疏水基团和(2)不同于第一单元的第二单元。
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公开(公告)号:KR1020170071412A
公开(公告)日:2017-06-23
申请号:KR1020160151375
申请日:2016-11-14
Applicant: 롬엔드하스전자재료코리아유한회사
IPC: G03F7/20 , G03F7/004 , C08L61/14 , C09D161/14
CPC classification number: G03F7/091 , C08F220/18 , C08F220/30 , C08F220/32 , C08F2220/302 , C08F2220/325 , C08G63/685 , C08G63/78 , C09D5/006 , C09D133/08 , C09D133/14 , C09D167/00 , G03F7/162 , G03F7/168 , G03F7/2006 , G03F7/327
Abstract: 바람직한양태에서, 1) 하나이상의글리시딜기; 및 2) 각각히드록시, 티올및/또는아민잔기를포함하는둘 이상의치환기를포함하는하나이상의방향족기를포함하는유기코팅조성물, 특히오버코팅된포토레지스트와함께사용하기위한반사방지코팅조성물이제공된다. 또한, 카테콜-함유중합체및 이의제조방법이제공된다.
Abstract translation: 在一个优选实施方案中:1)一个或多个缩水甘油基; 和2)各自是羟基,该抗反射涂料组合物提供了一种用于与硫醇和/或包含a。至少一种含芳族含胺部分多于一个取代基,尤其是外涂光刻胶的有机涂料组合物,使用 。 还提供了含儿茶酚的聚合物及其制备方法。
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