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公开(公告)号：KR100561950B1
公开(公告)日：2006-03-21
申请号：KR1020007003845
申请日：1998-08-21
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 이시하라도시히코 , 호프만토마스 , 다스팔라시피. , 에르소브알렉산더아이.
IPC: H01S3/225
CPC classification number: G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
Abstract: 강화된 에너지량 제어 및 재생력을 갖고 약 500 내지 2000Hz의 범위에 있는 속도로 펄스를 만들 수 있는 초협대역 펄스 엑시머 레이저. 버스트의 펄스 개시 후, 1 가스 순환시간에 발생하는 종래기술의 버스트 모드 "슬러그 효과"는 미소량의 산소를 추가함으로써 제거될 수 있다. 바람직한 실시예에서, 초협대역폭은 플루오르 부분압력을 0.10% 미만으로 줄이며, 출력 커플러의 반사율을 25%보다 크게 증가시킴으로써 이루어진다. 바람직한 실시예에서, 종래기술의 라인 협소화 모듈에서 사용된 종래기술의 용화된 실리카는 플루오르화 칼슘 프리즘으로 대체된다.
프리즘, 초협대역 레이저, 엑시머 레이저, 플루오르, 산소, 라인 협소화 모 듈, 출력 커플러, 전극, 반사율-
公开(公告)号：KR101385046B1
公开(公告)日：2014-04-14
申请号：KR1020087031844
申请日：2007-05-31
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 어쇼프알렉산더아이. , 펠렐제임스제이. , 호프만토마스 , 레일리다니엘제이. , 레멘크리스알.
IPC: H01S3/223
CPC classification number: H01S3/225 , H01S3/0057 , H01S3/03 , H01S3/034
Abstract: 고출력 엑시머 또는 분자 플루오르 가스 방전 레이저 DUV 광원 시스템으로서, 광 지연 라인 미러의 면을 가로질러 퍼징가스를 지향시키는 퍼징 가스 공급 시스템을 구비하는 광 지연 경로 미러 가스 퍼징 어셈블리, 및 광 지연 경로 미러를 구비하는 펄스 스트레처를 포함하는 고출력 엑시머 또는 분자 플루오르 가스 방전 레이저 DUV 광원 시스템을 포함하는 장치 및 방법이 개시된다. 상기 광 지연 경로 미러는 복수의 광 지연 경로 미러를 포함하고; 상기 퍼징 가스 공급 시스템은 퍼징 가스를 복수의 광 지연 라인 미러 각각의 면을 지나도록 지향시킨다. 상기 퍼징 가스 공급 시스템은: 퍼징 가스 공급 라인; 퍼징 가스를 각각의 광 지연 경로 미러의 면을 가로질러 지향시키는 퍼징 가스 분배 메커니즘 및 지향 메커니즘을 포함한다.
광 지연 라인 미러, 광 지연 라인 미러 가스 퍼징 어셈블리, 펄스 스트레처, 고 출력 엑시머, 분자 플루오르 가스 방전 레이저 DUV 광원 시스템, 퍼징 가스, 퍼징 가스 분배 및 지향 메커니즘, 퍼징 가스 공급 시스템-
公开(公告)号：KR101357012B1
公开(公告)日：2014-02-03
申请号：KR1020087026061
申请日：2007-03-23
Applicant: 사이머 엘엘씨
CPC classification number: H01S3/0057 , G03F7/7055 , H01S3/225
Abstract: 레이저 출력 펄스를 산출하는 가스 방전 레이저 시스템 및 상기 시스템을 운용하는 방법으로서, 레이저 출력 펄스의 일부를 레이저 시스템 출력 펄스 광축을 따라 지향시키고 상기 출력 펄스의 일부를 광학 지연경로를 가지는 광학 딜레이로 전환시키는 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기를 구비하는 펄스 스트레저를 포함하고, 상기 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기는, 상기 광학적 딜레이의 출력을 상기 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기로 전달하도록 직렬로 정렬된 복수의 공초점 공진기; 상기 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기에 의해 전송된 레이저 시스템 출력 펄스의 일부의 광축을 따라 전송된 레이저 출력 펄스의 일부와의 정렬에 대해 광학 딜레이의 출력을 배치하도록 동작가능한 방사방향 거울 포지셔닝 메커니즘을 구비하는 광축 정렬 메커니즘을 구비하는 것을 특징으로 하는 가스 방전 레이저 시스템 및 상기 시스템을 운용하는 방법이 개시된다.
레이저 출력 펄스, 가스 방전 레이저 시스템, 광축, 광학 지연 경로, 레이저 출력 펄스 광학 지연 개시 광학기기, 펄스 스트레처, 공초점 공진기, 포지셔닝 메커니즘-
公开(公告)号：KR1020090015962A
公开(公告)日：2009-02-12
申请号：KR1020087030013
申请日：2007-05-22
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 호프만토마스
CPC classification number: G02B19/0095 , G02B19/0028 , G02B19/0052 , G02B19/0061 , G02B27/0977 , H01S3/005 , H01S3/225
Abstract: A beam mixer for increasing intensity symmetry along a selected axis of a beam (wherein the beam extends from a first edge to a second edge along the axis) is disclosed and may include a plurality of mirrors establishing a spatially inverting path. For the beam mixer, the inverting path may have a beginning and an end and may be characterized in that a part of the beam near the first beam edge at the beginning of the path translates to the second beam edge at the end of the path. For this aspect, the beam mixer may further include an optic dividing the beam into first and second beam portions, the optic placing the first portion onto the inverting path and recombining the first and second portions onto a common path after the first portion has traveled along the inverting path thereby mixing the beam.
Abstract translation: 公开了一种用于沿着选定的光束轴（其中光束沿着轴从第一边缘延伸到第二边缘）增加强度对称性的束混合器，并且可以包括建立空间反转路径的多个反射镜。 对于光束混合器，反转路径可以具有开始和结束，并且其特征在于，在路径开始处靠近第一波束边缘的波束的一部分平移到路径末端处的第二波束边缘。 对于该方面，光束混合器还可以包括将光束分成第一和第二光束部分的光学部件，光学元件将第一部分放置在反转路径上，并且在第一部分沿着沿着第一部分行进之后将第一部分和第二部分复合到公共路径上 反转路径由此混合光束。
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公开(公告)号：KR1020040032991A
公开(公告)日：2004-04-17
申请号：KR1020047003079
申请日：2002-08-16
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 왓슨톰에이. , 우자즈도우스키리차드씨. , 이바스첸코알렉스피. , 샤논로버트에이. , 샌드스트롬리차드엘. , 웨브로버트카일 , 팔렌스차트프레데릭에이. , 호프만토마스 , 레티그커티스엘. , 네스리차드엘. , 멜체르폴씨. , 에르쇼브알렉산더아이.
IPC: H01S3/22
CPC classification number: H01S3/0385 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70333 , G03F7/70575 , G03F7/70933 , H01S3/0057 , H01S3/0071 , H01S3/02 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0387 , H01S3/0404 , H01S3/041 , H01S3/08009 , H01S3/08036 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/0971 , H01S3/0975 , H01S3/1024 , H01S3/104 , H01S3/105 , H01S3/1055 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2258 , H01S3/2333 , H01S3/2366
Abstract: 본원발명은 초당 6,000-10,000 펄스 범위의 반복률에서 프로덕션 라인 커패시티내의 신뢰가능한 장기간 동작가능한 가스 방전 레이저 시스템을 제공한다. 바람직한 실시예는 포토리소그래피에 사용된 KrF, ArF, F
2 레이저로 구성되어 있다. 개선점에는 가스 플로를 증가시키기 위해 애노드(542) 바로 옆에 흡입 팬(555)이 포함된다. 팬(555)의 흡입구는 애노드(542)와 절연 스페이서(544B) 사이에 있다.Abstract translation: 本发明提供了气体放电激光系统，其能够以6,000至10,0000个脉冲功率秒的重复率在生产线中进行可靠的长期操作。 优选实施例被配置为用于集成电路光刻的光源的KrF，ArF和F＆amp; SUB＆lt; /＆gt;激光器。 改进包括改进的高压电源，其能够将磁压缩脉冲电力系统的初始电容器充电至每秒6,000至10,0000次的精确目标电压，以及用于监测脉冲能量并且确定脉冲宽度调制器上的目标电压的反馈控制器， 逐个脉冲的基础。 公开了若干技术用于在放电之间的间隔期间从激光电极之间的放电区域去除放电产生的碎屑。 在一个实施例中，放电区域的宽度从大约3mm减小到大约1mm，使得针对4000Hz操作设计的气体循环系统可以用于10,000Hz操作。 在其他实施例中，电极之间的气流充分增加以允许10,000Hz的操作，放电区域宽度为3mm。 为了提供这些实质上增加的气体流速，申请人已经公开了利用现有技术的切向形式的优选实施例，但是具有改进的和更强大的电动机以及新颖的轴承设计。 新的轴承设计包括陶瓷轴承和磁性轴承。 在其他实施例中，气体循环功率中的一些或全部设置有位于激光室外部的鼓风机。 外部鼓风机可以位于激光柜内或分开的位置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020010074876A
公开(公告)日：2001-08-09
申请号：KR1020017002622
申请日：1999-08-04
Applicant: 사이머 엘엘씨
IPC: H01S3/22
Abstract: 레이져를 발하는 가스(108) 혼합물을 재 순환하기 위한 횡류 팬(140) 및 컷오프 조립체는, 끝부에서 끝부로 계단식으로 원주상 위치로 가변하는 블레이드 부재(144) 및/또는 테이퍼진 양극 조립체(120)를 가지고 있다. 블레이드 부재(144)의 개수는 일정하거나 가변할 수 있다. 블레이드 부재(144)의 원주상 위치는 끝부들 사이에서 단일 방향으로 또는 역방향으로 변할 수 있다. 블레이드 부재(144)는 허브부재(212)의 위치 및 개수를 최적 선택함으로써 강화되어 팬의 고유 진동수를 제어한다. 횡류 팬을 성형하는 방법은 단일 블럭으로부터 캐스팅하는 단계, 기계가공하는 단계를 포함한다. 단편으로된 구조는 전자 빔 용접으로부터 전형적으로 결합될 수 있다. 캐스팅, 용접 및 기계가공 처리는 어떠한 추가적인 오염물질을 도입하지 않는다. 생산된 횡류 팬은 기계 강성, 정확한 허용오차, 오염 물질의 낮은 농도를 갖는다. 블레이드 부재(144)는 에어포일 형상으로 성형될 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020010031030A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020007003845
申请日：1998-08-21
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 이시하라도시히코 , 호프만토마스 , 다스팔라시피. , 에르소브알렉산더아이.
IPC: H01S3/225
CPC classification number: G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70558 , G03F7/70575 , H01S3/03 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256
Abstract: 강화된에너지량제어및 재생력을갖고약 500 내지 2000Hz의범위에있는속도로펄스를만들수 있는초협대역펄스엑시머레이저. 버스트의펄스개시후, 1 가스순환시간에발생하는종래기술의버스트모드 "슬러그효과"는미소량의산소를추가함으로써제거될수 있다. 바람직한실시예에서, 초협대역폭은플루오르부분압력을 0.10% 미만으로줄이며, 출력커플러의반사율을 25%보다크게증가시킴으로써이루어진다. 바람직한실시예에서, 종래기술의라인협소화모듈에서사용된종래기술의용화된실리카는플루오르화칼슘프리즘으로대체된다.
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公开(公告)号：KR101389722B1
公开(公告)日：2014-04-29
申请号：KR1020087030013
申请日：2007-05-22
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 호프만토마스
CPC classification number: G02B19/0095 , G02B19/0028 , G02B19/0052 , G02B19/0061 , G02B27/0977 , H01S3/005 , H01S3/225
Abstract: 빔의 한 선택된 축을 따른 강도 대칭도를 증가시키기 위한 빔 믹서가 개시되고(여기서, 빔은 상기 축을 따라 제1에지에서 제2에지까지 뻗어 있다), 본 빔 믹서는 공간전 반전 경로를 이루는 복수 개의 미러를 포함할 수 있다. 본 빔 믹서에 대하여, 반전 경로는 시작점 및 끝점을 가지고, 경로의 시작점에서 제1빔 에지 부근의 빔의 일부가 경로의 끝점에서 제2빔 에지로 변환되는 것을 특징으로 한다. 이러한 형태에서, 빔 믹서는 빔을 제1빔 부분 및 제2빔 부분으로 분할하는 광학부재를 더 포함할 수 있고, 이 광학부재는 반전 경로에 제1빔 부분을 반전 경로에 놓고, 제1빔 부분이 반전 경로를 따라 이동된 후 공통 경로 상에서 제1및 제2빔 부분을 재결합함으로써, 빔을 믹싱한다.
빔 믹서, 강도 대칭도, 반전 경로, 미러, 스플리터, 분할 광학부재.-
公开(公告)号：KR101357017B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020087032051
申请日：2007-05-31
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 호프만토마스
IPC: H01L21/268 , H01L21/20 , B23K26/08 , B23K26/064
CPC classification number: B23K26/03 , B23K26/034 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/0853 , B23K26/40 , B23K2201/34 , B23K2201/40 , B23K2203/50 , C30B13/24 , C30B29/06
Abstract: 본 발명에 따라, 펄싱된 레이저 출력 빔을 산출하는 레이저 소스로서, 볼록 반사경과 평면 출력 결합기를 가지는 오실레이터를 구비한 레이저 소스; 및 제 1 축에서 빔을 포커싱하고 제 2 축에서 상기 빔을 공간적으로 확대시켜 상기 필름과의 상호작용을 위한 라인빔을 산출하는 광학 배치를 포함하는, 기판상에 증착된 필름을 선택적으로 용융하는 얇은 빔 레이저 결정화 장치가 제공된다.
기판, 필름, 얇은 빔 레이저 결정화 장치, 레이저 출력 빔, 레이저 소스, 볼록 반사경, 평면 출력 결합기, 오실레이터, 제 1 축, 제 2 축, 라인빔, 광학 배치, 원통축, 제 1 빔 디멘션, 증폭기, 광학기기-
20.发明授权
公开(公告)号：KR101267425B1
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：KR1020077028901
申请日：2006-05-25
Applicant: 사이머 엘엘씨 , 칼 짜이스 인두스트리엘레 메스테크니크 게엠베하
Inventor： 다스팔라시피. , 호프만토마스 , 샌드스트롬리차드엘. , 보우키오토 , 스텀프에른스트 , 매츠코비츠베르톨트 , 호엘미카엘 , 발터요르그 , 브레너쿠르트 , 그루프귄터
IPC: G01B11/00
CPC classification number: B23K26/03 , B23K26/0006 , B23K26/0066 , B23K26/032 , B23K26/04 , B23K26/043 , B23K26/0622 , B23K26/0665 , B23K26/0738 , B23K26/083 , B23K37/0408 , B23K37/047 , B23K2201/18 , B23K2201/38 , B23K2203/56 , C30B13/22 , C30B29/06 , G01B21/00 , G03F7/70383 , G03F7/70583 , H01L27/1296
Abstract: 포커싱된빔이단축및 장축을형성하고있는기판상에증착된필름과익터액션하기위해빔을포커싱하는시스템및 방법이개시된다. 한형태에서, 본시스템은빔이필름에서단축에포커싱되었는지판정하기위해이미지평면상의필름으로부터반사된빛을분석하기위한검출시스템을포함할수 있다. 또다른형태에서, 성형라인빔과인터액션하기위해 (불완전하고, 평평하지않은표면을가진) 필름을포지셔닝하기위한시스템이제공된다.
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