公开(公告)号：NL2008833A

公开(公告)日：2012-12-28

申请号：NL2008833

申请日：2012-05-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HUANG YANG-SHAN ,  BUTLER HANS ,  EIJK JAN ,  HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  PASCH ENGELBERTUS ,  VEN BASTIAAN ,  VERMEULEN JOHANNES ,  CADEE THEODORUS ,  LEEUWEN ROBBERT

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL2004598A

公开(公告)日：2010-11-30

申请号：NL2004598

申请日：2010-04-23

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： EIJK JAN ,  DONDERS SJOERD ,  JACOBS JOHANNES ,  KATE NICOLAAS ,  VERMEULEN JOHANNES ,  ZAAL KOEN ,  REMIE MARTIN

IPC: G03F7/20