Abstract:
The process gases comprise a chlorine-containing gas, noble gas, a fluorine compound and a hydrogen compound. The flow is so proportioned that the GaP based semiconductor layer is etched with a selectivity of 0.5-4, in relation to etching of the photolacquer layer. An Independent claim is included for the method photo lacquer application, by coating and structuring, before plasma etching under the conditions described.
Abstract:
The invention relates to an optoelectronic component, which has a semiconductor layer sequence (10) having an optoelectronically active region and a dielectric layer (20) on the semiconductor layer sequence (10) and a metal layer (40) on the dielectric layer (20). An adhesive layer (30) is arranged between the dielectric layer (20) and the metal layer (40), which adhesive layer is connected covalently to the dielectric layer (20) and the metal layer (40). The invention further relate to a method for producing an optoelectronic component.
Abstract:
Es wird ein strahlungsemittierender Halbleiterchip (1) mit einem Halbleiterkörper (2), der eine Halbleiterschichtenfolge (200) mit einem zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20), eine erste Halbleiterschicht (21) eines ersten Leitungstyps und eine zweite Halbleiterschicht (22) eines vom ersten Leitungstyp verschiedenen zweiten Leitungstyps aufweist, und mit einem Träger (5), auf dem der Halbleiterkörper angeordnet ist, angegeben, wobei – im Träger ein pn-Übergang (55) ausgebildet ist; – der Träger auf einer dem Halbleiterkörper abgewandten Rückseite (501) einen ersten Kontakt (61) und einen zweiten Kontakt (62) aufweist; und – der aktive Bereich und der pn-Übergang über den ersten Kontakt und den zweiten Kontakt bezüglich der Durchlassrichtung antiparallel zueinander verschaltet sind. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung von strahlungsemittierenden Halbleiterchips angegeben.
Abstract:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von vereinzelten Halbleiterbauelementen (191, 192). Das Verfahren umfasst ein Bereitstellen eines Ausgangssubstrats (100), und ein Durchführen eines Ätzprozesses zum Ausbilden von Vertiefungen (160) an einer Seite (102) des Ausgangssubstrats (100). Die Vertiefungen (160) sind im Bereich der herzustellenden Halbleiterbauelemente (191, 192) angeordnet. Zwischen den Vertiefungen (160) vorliegende Wandungen (161) sind im Bereich von zum Durchtrennen des Ausgangssubstrats (100) vorgesehenen Trennbereichen (140) angeordnet. Das Verfahren umfasst des Weiteren ein Ausbilden einer metallischen Schicht (130) auf der Seite (102) des Ausgangssubstrats (100) mit den Vertiefungen (160) und Wandungen (161), und ein Durchführen eines weiteren Ätzprozesses zum Durchtrennen des Ausgangssubstrats (100) in den Trennbereichen (140) und Bilden der vereinzelten Halbleiterbauelemente (191, 192).
Abstract:
Eine Halbleiterdiode weist eine ersten Halbleiterschicht (102) eines ersten Leitungstyps und eine zweite Halbleiterschicht eines zweiten Leitungstyps mit einer Dotierung auf. Die zweite Halbleiterschicht weist einen Durchkontaktierungsbereich (106) auf, in der die Dotierung derart verändert ist, dass der Durchkontaktierungsbereich (106) den ersten Leitungstyp aufweist. Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Halbleiterdiode beschrieben.
Abstract:
Production of an electronic component encapsulated in barrier layers involves (a) applying first barrier layer(s) (3) to a functional layer of a substrate (1) by plasma-less atomic layer deposition (PLALD) and (b) applying second barrier layer(s) (4) to the functional layer by plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD). An independent claim is included for an organic opto-electronic component obtained by the process.
Abstract:
The invention describes a method for producing a reflective layer system and a reflective layer system for application to a III/V compound semiconductor material, wherein a first layer, containing phosphosilicate glass, is applied directly to the semiconductor substrate Disposed thereon is a second layer, containing silicon nitride. A metallic layer is then applied thereto.
Abstract:
Radiation-emitting and/or -receiving semiconductor chip (1) has a radiation coupling and/or decoupling microstructure arranged in a material layer of the semiconductor chip using a mask material which dampens the material layer so that it forms a number of partially cross-linked islands (280) separated from each other.