VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTOELEKTRONISCHEN BAUTEILS UND OPTOELEKTRONISCHES BAUTEIL

    公开(公告)号:DE102019100521A1

    公开(公告)日:2020-07-16

    申请号:DE102019100521

    申请日:2019-01-10

    Inventor: PLÖSSL ANDREAS

    Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Bauteils (1) angegeben, mit den Schritten:- Bereitstellen eines Halbleiterwafers (2) mit einer funktionellen Halbleiterschicht (3), die elektronische Steuerelemente (4) aufweist, und einer Aufwachsschicht (5),- Erzeugen einer Vielzahl von Ausnehmungen (6) in dem Halbleiterwafer (2), die die Aufwachsschicht (5) stellenweise freilegt, und- epitaktisches Aufwachsen einer Vielzahl von Halbleiterschichtenstapeln (7) auf die freigelegte Aufwachsschicht (6).Weiterhin wird ein optoelektronisches Bauteil (1) angegeben.

    Bauteilverbund, Bauteil und Verfahren zur Herstellung von Bauteilen

    公开(公告)号:DE102017126338A1

    公开(公告)日:2019-05-16

    申请号:DE102017126338

    申请日:2017-11-10

    Abstract: Es wird ein Bauteilverbund (100) mit einem Zwischenträger (90), einer Mehrzahl von darauf angeordneten Bauteilen (10) und einer Mehrzahl von Halteelementen (3, 3A, 3B), bei dem die Bauteile jeweils zumindest zwei elektrische Bauelemente (1, 1A, 1B) und eine Isolierungsschicht (2) aufweisen, wobei mindestens eines der elektrischen Bauelemente des Bauteils ein optoelektronischer Halbleiterchip (1, 1A) ist. Die Isolierungsschicht ist bereichsweise zwischen den elektrischen Bauelementen desselben Bauteils angeordnet, wobei die zumindest zwei elektrischen Bauelemente desselben Bauteils nebeneinander angeordnet und jeweils von der Isolierungsschicht lateral umschlossen sind, sodass die zumindest zwei elektrischen Bauelemente und die Isolierungsschicht desselben Bauteils als integrale Bestandteile einer selbsttragenden und mechanisch stabilen Einheit ausgeführt sind. Die Halteelemente fixieren die Positionen der Bauteile auf dem Zwischenträger, wobei die Bauteile als selbsttragende und mechanisch stabile Einheiten vom Zwischenträger ablösbar ausgeführt sind und die Halteelemente beim Abnehmen der Bauteile diese unter mechanischer Belastung freigeben.Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteilverbunds angegeben.

    Bauteil mit Pufferschicht und Verfahren zur Herstellung eines Bauteils

    公开(公告)号:DE102017119346A1

    公开(公告)日:2019-02-28

    申请号:DE102017119346

    申请日:2017-08-24

    Abstract: Es wird ein Bauteil (100) mit einem Halbleiterchip (10), einer Pufferschicht (3), einer Verbindungsschicht (4) und einem metallischen Träger (9) angegeben. Der Halbleiterchip umfasst ein Substrat (1) und einen darauf angeordneten Halbleiterkörper (2). Der metallische Träger weist einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten auf, der mindestens 1,5-mal so groß ist wie ein thermischer Ausdehnungskoeffizient des Substrats oder des Halbleiterchips, oder umgekehrt. Der Halbleiterchip ist mittels der Verbindungsschicht auf dem metallischen Träger derart befestigt, dass die Pufferschicht zwischen dem Halbleiterchip und der Verbindungsschicht angeordnet ist, wobei der Halbleiterchip an die Pufferschicht angrenzt. Bevorzugt weist die Pufferschicht eine Fließspannung auf, die mindestens 10 MPa ist und höchstens 300 MPa beträgt.Des Weiteren wird ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils angegeben.

    Verfahren zum Befestigen eines Halbleiterchips auf einem Substrat und elektronisches Bauelement

    公开(公告)号:DE102017112866A1

    公开(公告)日:2018-12-13

    申请号:DE102017112866

    申请日:2017-06-12

    Abstract: Es wird ein Verfahren zum Befestigen eines Halbleiterchips (1) auf einem Substrat (3) angegeben. Das Verfahren umfasst die Verfahrensschritte:A) Bereitstellen eines Halbleiterchips (1),B) Aufbringen einer Lotmetall-Schichtenfolge (2) auf den Halbleiterchip (1),C) Bereitstellen eines Substrats (3),D) Aufbringen einer Metallisierungs-Schichtenfolge (4) auf das Substrat (3),E) Aufbringen des Halbleiterchips (1) über die Lotmetall-Schichtenfolge (2) und die Metallisierungs-Schichtenfolge (4) auf das Substrat (3),F) Heizen der unter E) erzeugten Anordnung zur Befestigung des Halbleiterchips (1) auf dem Substrat (3),wobei die Lotmetall-Schichtenfolge (2)- eine erste metallische Schicht (2a) umfassend eine Indium-Zinn-Legierung,- eine über der ersten metallischen Schicht (2a) angeordnete Barrierenschicht (2b) und- eine zwischen der Barrierenschicht (2b) und dem Halbleiterchip (1) angeordnete zweite metallische Schicht (2c) umfassend Gold umfasst, wobei die Stoffmenge des Golds in der zweiten metallischen Schicht größer ist als die Stoffmenge des Zinns in der ersten metallischen Schicht.

    Optoelektronisches Halbleiterbauelement und Vorrichtung mit einem optoelektronischen Halbleiterbauelement

    公开(公告)号:DE102014116512A1

    公开(公告)日:2016-05-12

    申请号:DE102014116512

    申请日:2014-11-12

    Abstract: Es wird ein optoelektronisches Halbleiterbauelement (1) mit einem Emissionsbereich (3), der eine Halbleiterschichtenfolge (2) mit einer ersten Halbleiterschicht (21), einer zweiten Halbleiterschicht (22) und einem zwischen der ersten Halbleiterschicht und der zweiten Halbleiterschicht angeordneten zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20) aufweist, und mit einem Schutzdiodenbereich (4) angegeben, wobei – das Halbleiterbauelement einen Kontakt (6) zur externen elektrischen Kontaktierung des Halbleiterbauelements (1) aufweist; – der Kontakt einen ersten Kontaktbereich (61) aufweist, der mit dem Emissionsbereich elektrisch leitend verbunden ist; – der Kontakt einen zweiten Kontaktbereich (62) aufweist, der von dem ersten Kontaktbereich beabstandet ist und mit dem Schutzdiodenbereich elektrisch leitend verbunden ist; und – der erste Kontaktbereich und der zweite Kontaktbereich mittels eines gemeinsamen Endes (95) einer Verbindungsleitung (9) extern elektrisch kontaktierbar sind. Weiterhin wird eine Vorrichtung mit einem optoelektronischen Halbleiterbauelement angegeben.

    Strahlungsemittierender Halbleiterchip und Verfahren zur Herstellung von strahlungsemittierenden Halbleiterchips

    公开(公告)号:DE102013110853A1

    公开(公告)日:2015-04-02

    申请号:DE102013110853

    申请日:2013-10-01

    Abstract: Es wird ein strahlungsemittierender Halbleiterchip (1) mit einem Halbleiterkörper (2), der eine Halbleiterschichtenfolge (200) mit einem zur Erzeugung von Strahlung vorgesehenen aktiven Bereich (20), eine erste Halbleiterschicht (21) eines ersten Leitungstyps und eine zweite Halbleiterschicht (22) eines vom ersten Leitungstyp verschiedenen zweiten Leitungstyps aufweist, und mit einem Träger (5), auf dem der Halbleiterkörper angeordnet ist, angegeben, wobei – im Träger ein pn-Übergang (55) ausgebildet ist; – der Träger auf einer dem Halbleiterkörper abgewandten Rückseite (501) einen ersten Kontakt (61) und einen zweiten Kontakt (62) aufweist; und – der aktive Bereich und der pn-Übergang über den ersten Kontakt und den zweiten Kontakt bezüglich der Durchlassrichtung antiparallel zueinander verschaltet sind. Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung von strahlungsemittierenden Halbleiterchips angegeben.

    Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von optoelektronischen Halbleiterchips und optoelektronischer Halbleiterchip

    公开(公告)号:DE102013109316A1

    公开(公告)日:2014-12-04

    申请号:DE102013109316

    申请日:2013-08-28

    Abstract: Ein optoelektronische Halbleiterchip (1) umfasst einen Halbleiterkörper (2), der eine Halbleiterschichtenfolge (24) sowie mindestens eine Ausnehmung (6) aufweist, die sich durch eine zweite Halbleiterschicht (22) in eine erste Halbleiterschicht (21) hinein erstreckt, einen Träger (5), wobei der Träger (5) mindestens eine Aussparung (9) aufweist, eine metallische Verbindungsschicht (4) zwischen dem Halbleiterkörper (2) und dem Träger (5), wobei die metallische Verbindungsschicht (4) einen ersten Bereich (41) und einen zweiten Bereich (42) umfasst und wobei der erste Bereich (41) durch die Ausnehmung (6) hindurch elektrisch leitend mit der ersten Halbleiterschicht (21) und der zweite Bereich (42) elektrisch leitend mit der zweiten Halbleiterschicht (22) verbunden ist, und einen ersten Kontakt (81) und einen zweiten Kontakt (82), wobei der erste Kontakt (81) durch die Aussparung (9) hindurch elektrisch leitend mit dem ersten Bereich (41) oder der zweite Kontakt (82) durch die Aussparung (9) hindurch elektrisch leitend mit dem zweiten Bereich (42) verbunden ist.

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