公开(公告)号：CN1489704A

公开(公告)日：2004-04-14

申请号：CN02804285.9

申请日：2002-01-30

Applicant: 滨松光子学株式会社

Inventor： 近藤稔 ,  永井俊光 ,  木船淳

IPC: G01T1/20 ,  H01J37/244 ,  H01J49/02 ,  H01J43/24

CPC classification number: H01J49/025 ,  H01J29/385 ,  H01J37/244 ,  H01J43/04 ,  H01J2237/28

Abstract: 在电子束检测器中，通过光波导将化合物半导体基片的荧光出射表面与光检测器的光入射面光学耦合，并将化合物半导体基片与光检测器物理连接，从而将化合物半导体基片与光检测器连为一体。将入射到化合物半导体基片的电子变换为荧光时，光波导将该荧光导向光检测器，通过光检测器检测荧光来检测入射的电子束。

公开(公告)号：CN103681190B

公开(公告)日：2018-06-05

申请号：CN201310404108.2

申请日：2013-09-06

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.斯特劳 ,  M.埃默森

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/3045 ,  G21K5/00 ,  G21K5/08 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/28

Abstract: 一种用于将激光束对准成与带电粒子束重合的方法和装置。所述发明提供了一种用于对准激光束穿过物镜的中心并最终瞄准多束系统的共心点的方法。该装置利用了定位于带电粒子系统的真空室内或外的激光束对准系统的部件。

公开(公告)号：CN107966464A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201710946654.7

申请日：2017-10-12

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： J.米特彻斯 ,  T.韦伊斯塔维 ,  M.卡福雷克

IPC: G01N23/2202 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/261 ,  G01N1/42 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/317 ,  G01N23/2202

Abstract: 一种使用带电粒子显微镜执行低温试样的表面改性的方法，其包括：-真空室；-试样保持器；-粒子-光柱，该方法包括以下步骤：-将试样引入真空室中，将其提供在试样保持器上并将其保持在低温温度；-采用至少一个真空泵以将真空室抽空；-激活所述束并将其引导到所述试样的一部分上以便对其表面进行改性，另外包括以下步骤：-在真空室中提供薄膜监测器，并且至少将其检测表面保持在低温温度；-使用所述监测器来测量所述室中的冷冻冷凝物的沉淀速率值，并且使用该值作为触发器来执行以下动作中的至少一个：当所述值下降到第一预定阈值以下时，启动所述表面改性；如果所述值上升到第二预定阈值以上，则中断表面改性。

公开(公告)号：CN104008943B

公开(公告)日：2018-02-16

申请号：CN201410066714.2

申请日：2014-02-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： M.马佐斯

IPC: H01J37/21 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/10

CPC classification number: H01J37/07 ,  H01J3/026 ,  H01J37/04 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1477 ,  H01J37/21 ,  H01J37/248 ,  H01J37/3056 ,  H01J37/3178 ,  H01J2237/0473 ,  H01J2237/04735 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1518 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子束系统，其中，聚焦离子束柱的中间段被偏置到高负电压，该电压允许该束在比该柱的那个区段内的最终束能量更高的电势下移动。在低kV电势下，减少了色差和库仑相互作用，这使斑点尺寸产生显著改进。

公开(公告)号：CN103367086B

公开(公告)日：2017-08-15

申请号：CN201310219270.7

申请日：2013-04-01

Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司

Inventor： M·克纳皮奇

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H02P8/40

CPC classification number: G21K5/10 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/28 ,  H02P8/40

Abstract: 本发明涉及一种用于调整安置在粒子射线设备内的支架元件的位置的方法，其中，所述支架元件设计用于支承物体，所述粒子射线设备具有至少一个用于粒子射线的射线发生器和至少一个用于聚焦粒子射线的物镜，并且其中支架元件设计借助至少一个第一步进电动机可运动。所述方法具有如下步骤：通过以作为交流电的第一电动机电流控制操纵所述第一步进电动机，使所述支架元件开始运动；将所述第一电动机电流调节至第一频率和第一振幅；通过减小所述第一电动机电流的第一频率和第一振幅，对所述支架元件的运动进行制动，其中，将第一频率在第一可预设时间区间内减小至零，并且其中，将第一振幅在第一可预设时间区间内减小至可预设的第一保持电流的振幅。

公开(公告)号：CN103890559B

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201280052945.7

申请日：2012-10-25

Applicant: FEI公司

Inventor： M.巴雷特 ,  M.D.史密斯 ,  M.格里克 ,  P.斯卡内蒂 ,  R.托维

IPC: G01N1/36 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N2223/307 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种样品支座总成包括样品托盘、基板、样品台底座、以及安装到样品台底座上的校准用基准。基板的底部上的三个配合结构与附接到SEM的样品台上的样品台底座上的相应结构紧密配合。任选的接触导体在样品台底座与基板之间提供电接触从而使得电子束在样品上生成的电荷可以离开样品通过样品导电层到达样品托盘、基板、样品台底座、以及通过接地样品台。

公开(公告)号：CN102901471B

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201110209908.X

申请日：2011-07-26

Applicant: 中国科学院物理研究所 ,  北京汇德信科技有限公司

Inventor： 韩秀峰 ,  马勤礼 ,  于国强 ,  刘厚方 ,  余天 ,  周向前 ,  艾金虎 ,  孙晓玉

IPC: G01B15/04 ,  G01R29/08

CPC classification number: H01J37/26 ,  G01R31/2822 ,  G01R31/315 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/24564 ,  H01J2237/28 ,  H01L22/12

Abstract: 一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

公开(公告)号：CN104584182A

公开(公告)日：2015-04-29

申请号：CN201380043429.2

申请日：2013-08-09

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 今村伸 ,  大岛卓 ,  小濑洋一 ,  平根贤一

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在具备闪烁器(7)和光导件(8)的电子显微镜中，闪烁器(7)具有比光导件(8)的折射率大的折射率，与光导件(8)接合的端面(72)由向外侧呈凸状的曲面形成。并且，闪烁器(7)由用组成式(Ln1－xCex)3M5O12表示的Y－Al－O系陶瓷烧结体形成，其中，Ln表示选自Y、Gd、La及Lu中的至少一种元素，M表示选自Al及Ga中的至少一种元素。

公开(公告)号：CN104335321A

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201380029172.5

申请日：2013-05-30

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 幸山和弘 ,  赤津昌弘

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2801

Abstract: 本发明提供一种能够进行基于减速法的截面样品的良好的观察的样品保持件。该样品保持件具有：样品装载部(17)，其将第1固定部件(121)、作为观察用样品的截面样品(7)和第2固定部件(122)以各自紧贴的状态进行装载，并且被插入电子显微镜的电子光学镜筒的内部；和电压导入单元，其对样品装载部导入电压，样品装载部具有：定位部，其将第1固定部件、截面样品和第2固定部件定位在装载位置上，定位部(201)将与截面样品的观察面(401)分别相邻配置的第1固定部件的第1平面(402A)以及第2固定部件的第2平面(402B)定位在相对于观察面平行且距观察面等距离的位置上。

公开(公告)号：CN104040677A

公开(公告)日：2014-09-10

申请号：CN201280066028.4

申请日：2012-12-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 金子朝子 ,  高须久幸 ,  武藤宏史

IPC: H01J37/305 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/3053 ,  C23C8/40 ,  C23C14/505 ,  C23C16/4586 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/3151 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。