公开(公告)号：CN107240540A

公开(公告)日：2017-10-10

申请号：CN201710481841.2

申请日：2017-06-22

Applicant: 聚束科技(北京)有限公司

Inventor： 何伟 ,  李帅 ,  王瑞平

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/263

Abstract: 本发明实施例提供了一种观察非导电或导电不均匀样品的方法和SEM，所述方法包括：采用第一束流的电子束对非导电或导电不均匀的样品进行充电，使样品表面均匀地积累预设数量的电子；采用第二束流的电子束对非导电或导电不均匀的样品进行扫描，得到对比度均匀的高分辨率图像；其中，所述第一束流大于所述第二束流。本发明实施例可有效解决扫描电子显微镜观察非导电或导电不均匀样品时图像亮度、对比度不均匀问题，操作简单，不会对样品造成伤害。

公开(公告)号：CN104272426B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201380021994.9

申请日：2013-03-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小柏刚 ,  佐藤贡 ,  今野充

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  H01J37/295

CPC classification number: H01J37/222 ,  H01J37/21 ,  H01J37/263 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2804 ,  H01J2237/2805 ,  H01J2237/2826

Abstract: 在现有技术中，通用的扫描电子显微镜中，可设定的最大加速电压低，因此在通常的高分辨率观察条件下可观察的晶体薄膜样本仅限于晶格面间隔大的样本。因此，没有高精度地进行倍率校正的手段。作为解决手段，本发明的特征在于，具备：电子源，其产生电子束；偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；检测器，其检测透过了所述样本的散射电子以及非散射电子；和光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述散射电子以及所述非散射电子的检测角进行控制；所述电子束以规定的开角入射至样本，以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。

公开(公告)号：CN103703537B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201280035812.9

申请日：2012-07-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 稻田博实 ,  中村邦康

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/263 ,  G01N23/2206 ,  H01J37/153 ,  H01J37/21 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/225 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的扫描透过电子显微镜为了能够实现0.1nm原子尺寸结构的三维观察而具有球面像差系数小的电子透镜系统。再有，本发明的扫描透过电子显微镜具有：能够变更照射角的光圈、能够变更电子射线探针的探针尺寸及照射角度的照射电子透镜系统、二次电子检测器、透过电子检测器、前方散射电子射线检测器、焦点可变装置、识别图像的对比度的图像运算装置、对图像清晰度进行运算的图像运算装置、进行图像的三维构筑的运算装置、及对二次电子信号与样本前方散射电子信号进行混合的混频器。

公开(公告)号：CN104681383A

公开(公告)日：2015-06-03

申请号：CN201410660475.3

申请日：2014-11-19

Applicant: FEI公司

Inventor： P.库斯 ,  S.帕特泰 ,  J.万塞

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/153

CPC classification number: H01J37/263 ,  B08B7/00 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/2614 ,  H01J37/153 ,  H01J37/261

Abstract: 本发明涉及一种用于清洁用于透射式电子显微镜的相位板（1）的方法，其中，在第一次在TEM中照射之前对所述相位板进行蚀刻，并且然后保持在超高纯保持气氛中直至TEM中的照射为止。

公开(公告)号：CN104267426A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201410449770.4

申请日：2014-09-04

Applicant: 北京大学 ,  北京大学软件与微电子学院无锡产学研合作教育基地

Inventor： 刘鹏 ,  张大成 ,  王玮 ,  田大宇 ,  杨芳 ,  罗葵 ,  戴小涛 ,  李婷 ,  王颖 ,  李静 ,  时广轶

IPC: G01T1/29 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/24521

Abstract: 本发明提出了一种电子束斑的测量方法和设备。所述测量方法包括：准备第一基片，在所述第一基片上形成悬置的光刻胶层，并且在第一基片与光刻胶层相对的另一侧上形成检测窗口；准备第二基片，在所述第二基片上形成背腔结构；将第二基片的背腔结构入口一侧与第一基片的光刻胶一侧固定，并且将检测窗口与背腔结构入口对准；将待测电子束以一定的路径角θ单次扫过检测窗口，对光刻胶层进行背向曝光，其中所述路径角是电子束扫描方向与检测窗口长度方向的夹角；以及对光刻胶进行显影，并且测量光刻胶沿扫描方向的图形长度L，利用下式计算电子束束斑直径d：d＝L·tanθ-W/cosθ。

公开(公告)号：CN103681187A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310385591.4

申请日：2013-08-30

Applicant: FEI公司 ,  马克斯·普朗克索赔科学公司

Inventor： B.布伊斯塞 ,  M.H.P.莫尔斯 ,  R.S.达内夫

IPC: H01J37/26

CPC classification number: H01J31/283 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明涉及在配备有相位板的透镜电子显微镜中形成样本的图像的方法。这种相位板的现有技术使用会引入环形波纹和光晕形式的伪像。这些伪像由于衍射平面中的相位板的锐边引起的傅立叶域的急剧变化造成。通过在记录图像的同时相对非衍射射束(衍射图案)移动相位板，使傅立叶域中的突然转变改变成更渐进式转变，从而导致较少伪像。

公开(公告)号：CN103620728A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280031593.7

申请日：2012-05-22

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 玉置央和 ,  高桥由夫 ,  葛西裕人 ,  小林弘幸

IPC: H01J37/295 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/09 ,  H01J37/26 ,  H01J37/263 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/2614

Abstract: 本发明提供一种减少电子射线的阻断所导致的像信息的丢失的问题，并且改善了电位分布成为各向异性的问题的、用于电子显微镜的相位板。其具有连为一体的开口部(23)，在开口部配置从开口部的外廓部朝向开口部中心的多个电极(11)。各个电极(11)的剖面，采用隔着绝缘层(25)用由导体或者半导体构成的屏蔽层(26)覆盖由导体或者半导体构成的电压施加层(24)的构造。由此，构成能够减少电极(11)所导致的电子射线阻断，并且能够改善电位分布成为各向异性的问题的相位板。

公开(公告)号：CN103560067A

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201310194422.2

申请日：2013-05-23

Applicant: FEI公司

Inventor： B.布伊塞

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J2237/2614 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及供电子显微镜中使用的相位板，更具体来说涉及泽尔尼克类型相位板。这种相位板包括中心孔以及引起经过所述膜的电子的相移的薄膜。这个相移使CTF从正弦状函数改变成余弦状函数。这个现有技术类型相位板的一个缺点在于，许多电子通过相位板从射束散射。这个现有技术相位板的另一个缺点在于，对于其中余弦状函数呈现最小数的频率范围，相位板的使用实际上使CTF降级，因为正弦状函数呈现最大数。因此，按照本发明的相位板配备有采取由薄得多的膜(30)所承载的环带(32)形式的膜。因此，仅在小空间频率范围(对于低频率)，改变相位(并且因此改变CTF)，以及对于其它空间频率，相移是可忽略的，并且因而CTF300保持不变。由于承载膜30的小得多的厚度，散射也是可忽略的。

公开(公告)号：CN1639830A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN02822953.3

申请日：2002-10-04

Applicant: 应用材料以色列有限公司

Inventor： 德洛·希米什

IPC: H01J37/147 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/263 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/216 ,  H01J2237/221

Abstract: 本发明提供了用于自动对准带电颗粒束与孔的方法。从而，束被偏转向孔的两个边缘。从获得消光所需的信号计算一校正偏转场。进而，提供了用于自动对准带电颗粒束与光轴的方法。从而引入散焦，且基于引入的图象移动计算的一信号施加到偏转单元。进而，提供了散光校正的方法。从而在改变到象散校正装置的信号时，对于测量的帧的一个顺序估计清晰度。

公开(公告)号：CN106057619B

公开(公告)日：2018-05-08

申请号：CN201610215069.5

申请日：2016-04-08

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： R.M.特罗姆普

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/263 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2809 ,  H01J2237/2826

Abstract: 实施例针对一种用于生成样品的校正图像的信息处理系统。该系统包括：探测器；存储器，该存储器可通信地耦合到探测器；以及后探测图像处理器，该后探测图像处理器可通信地耦合到存储器和探测器。配置该探测器，以探测多个运动粒子的数据，其中多个运动粒子的数据对应于样品的未校正图像，并且其中未校正图像包括散焦、像散和球面像差。配置后探测图像处理器，以至少部分地根据对多个运动粒子的探测数据的处理，生成样品的校正图像。