公开(公告)号：CN1820347A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200480019446.3

申请日：2004-05-26

Applicant: 成像科学仪器公司

Inventor： 泰伊·特拉维斯·格里布

IPC: H01J37/285 ,  G01N25/00

CPC classification number: H01J37/285 ,  B82Y15/00 ,  H01J37/05 ,  H01J37/10 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/244

Abstract: 一种原子探针包括处于其本地电极以及其探测器之间的一个或多个中间电极，其中中间电极被充电到某个电势，使得它们过滤假离子并阻止它们到达探测器，和/或调节(聚焦)离子的飞行圆锥体以具有更窄或更宽的角度，从而调节原子探针所提供的图像的放大倍数和视场。优选配置在于同时提供过滤电极和聚焦电极，它们可相对于彼此活动并且可以套管式集成，以便某个范围的过滤和聚焦效应。

公开(公告)号：CN105493225B

公开(公告)日：2017-11-17

申请号：CN201480046171.6

申请日：2014-05-19

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长久保康平 ,  长冲功 ,  松本弘昭 ,  佐藤岳志

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/22 ,  G01N23/2204 ,  H01J37/18 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2806 ,  H01M8/04671

Abstract: 本发明的目的为将试样附近保持为大气压、且高效地检测二次电子。在带电粒子装置的试样室中，试样支架(4)具备用于将试样(20)附近控制为大气压环境的气体导入导管与气体排出用导管，在试样(20)的上部共用能检测带电粒子通路孔(18)与能检测从试样(20)产生的二次电子(15)的微小孔口(18)，具有通过使孔径比试样(20)上部的微小孔口(18)大，积极地进行气体导入时的排气的带电粒子通路孔(19)。

公开(公告)号：CN107003282A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201480083353.0

申请日：2014-12-08

Applicant: 株式会社日立制作所

Inventor： 中山丈嗣 ,  高口雅成

IPC: G01N27/62 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32

CPC classification number: G01N27/62 ,  G01N1/286 ,  G01N1/44 ,  G01N33/20 ,  G01N2001/282 ,  G01N2001/2873 ,  G01N2001/2893 ,  G01Q10/00 ,  H01J37/285

Abstract: 在烧结、热处理或晶界扩散前的金属材料中，人工导入同位素比率不同的区域，对烧结、热处理或晶界扩散前后的原子探针分析结果进行比较，由此评价同位素分布的时间变化。

公开(公告)号：CN105308712A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201480034491.X

申请日：2014-06-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 野间口恒典 ,  扬村寿英 ,  祖利胡默·亚森吉安

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/145

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/141 ,  H01J37/145 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/22 ,  H01J37/226 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14

Abstract: 在带电粒子束装置中，在尽可能地接近物镜内部的样品的位置高效地取得从样品释放的带电粒子。具备：带电粒子受光面(105)，其具有通过带电粒子而发光的闪烁器；光电探测器(107)，其对从闪烁器释放的光进行检测；反射镜(108)，其将从闪烁器释放的光引导至光电探测器(107)；以及物镜(100)，其用于将带电粒子束集束于样品，带电粒子受光面(105)与反射镜(108)的距离Lsm比光电探测器(107)与反射镜(108)的距离Lpm长，带电粒子受光面(105)、反射镜(108)以及光电探测器(107)被收纳在物镜(100)内部。

公开(公告)号：CN105280463A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510384825.2

申请日：2015-06-30

Applicant: FEI公司

Inventor： P.波托塞克 ,  F.博格霍贝尔 ,  B.H.里奇 ,  M.兰格霍斯特

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  G02B21/002 ,  G02B21/008 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/226

Abstract: 一种使用扫描类型显微镜积累标本的图像的方法，其中考虑在标本内的给定点pi，所述方法包括下面的步骤：-在第一探查期中，采用第一射束配置B1以关联的第一点扩散函数F1照射点pi，由此所述射束配置不同于所述测量参数；-在至少第二探查期中，采用第二射束配置B2以关联的第二点扩散函数F2照射点pi，由此：？ F2在点pi所在的公共交叠区Oi中部分地与F1交叠；？ F1和F2具有在Oi之外的各自的非交叠区F1’和F2’，-在所述计算机处理设备中使用源分离算法在与所述非交叠区F1’和F2’分开地考虑的所述交叠区Oi中执行图像重构。

公开(公告)号：CN103137418A

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201210595867.7

申请日：2012-11-29

Applicant: FEI公司

Inventor： B·R·小劳思

IPC: H01J49/12 ,  G01N23/22

CPC classification number: H01J37/285 ,  G01T1/28 ,  H01J27/16 ,  H01J37/05 ,  H01J37/077 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/265 ,  H01J37/30 ,  H01J37/304 ,  H01J37/305 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/0817 ,  H01J2237/24415 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源。一种具有用户可选择配置的单镜筒感应耦合等离子体源操作在用于FIB操作的离子模式或用于SEM操作的电子模式下。装备有x射线探测器，能量色散x射线光谱分析是可能的。用户能够选择性地配置ICP以在离子模式或FIB模式下制备样品，接着实质上扳动选择电子模式或SEM模式的开关并且使用EDS或其它类型的分析来分析样品。

公开(公告)号：CN102066898B

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN200980122376.7

申请日：2009-06-24

Applicant: 新日铁住金株式会社

Inventor： 高桥淳 ,  川上和人 ,  大森治男

IPC: G01N1/28 ,  G01N23/225

CPC classification number: G01N23/2255 ,  H01J37/20 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/2001

Abstract: 充气容器、原子探针装置及材料中氢位置分析方法。该充气容器具有：试料保持器，保持针状材料；重氢气供给机构，将重氢气向该试料保持器所保持的上述针状材料进行充气；以及加热机构，对上述试料保持器所保持的上述针状材料进行加热，在通过上述加热机构对上述针状材料进行了加热之后，通过遮断基于该加热机构的加热，由此对上述针状材料进行冷却。

公开(公告)号：CN101088137A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200580044221.8

申请日：2005-12-20

Applicant: 埃美格科学仪器公司

Inventor： 约瑟夫·H·本托恩 ,  托马斯·F·凯利 ,  丹尼尔·R·愣次 ,  斯科特·A·维纳

IPC: H01J37/285 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01J49/164 ,  B82Y35/00 ,  H01J37/285 ,  H01J49/0004 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/2813

Abstract: 原子探针包括可以保持待分析试样的试样底座。检测器与试样底座间隔开。位于试样底座和检测器之间的是具有孔的局部电极。激光器取向为以相对于孔平面的非零度角向试样底座发射激光束，所述孔平面取向为与在试样底座和检测器之间通过孔而限定的离子传播路径垂直。

公开(公告)号：CN107342205B

公开(公告)日：2019-07-23

申请号：CN201610285009.0

申请日：2016-05-03

Applicant: 睿励科学仪器(上海)有限公司

Inventor： 罗浒 ,  张旭

IPC: H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/18 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2449 ,  H01J2237/2803 ,  H01J2237/2813

Abstract: 本发明提供了一种带电粒子的探测装置，该带电粒子探测装置包括：网格电极，用于吸引带电粒子；转换电极，用于会聚带电粒子，以及当所述带电粒子为二次离子时，将所述二次离子转换为二次电子，其中，所述转换电极的粒子入口的面积小于粒子出口的面积；电子探测单元，用于吸收二次电子并将探测信号放大输出；屏蔽外壳。根据本发明的带电粒子探测装置，能够大大提高对来自样品的二次离子和二次电子的探测效率，且结构简单，易于实现，能够大大降低制作难度和成本。

公开(公告)号：CN105280463B

公开(公告)日：2018-06-22

申请号：CN201510384825.2

申请日：2015-06-30

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： P.波托塞克 ,  F.博格霍贝尔 ,  B.H.里奇 ,  M.兰格霍斯特

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  G02B21/002 ,  G02B21/008 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J2237/226

Abstract: 一种使用扫描类型显微镜积累标本的图像的方法，其中考虑在标本内的给定点pi，所述方法包括下面的步骤：在第一探查期中，采用第一射束配置B1以关联的第一点扩散函数F1照射点pi，由此所述射束配置不同于所述测量参数；在至少第二探查期中，采用第二射束配置B2以关联的第二点扩散函数F2照射点pi，由此：F2在点pi所在的公共交叠区Oi中部分地与F1交叠；F1和F2具有在Oi之外的各自的非交叠区F1’和F2’，在所述计算机处理设备中使用源分离算法在与所述非交叠区F1’和F2’分开地考虑的所述交叠区Oi中执行图像重构。