公开(公告)号：JP2007129214A

公开(公告)日：2007-05-24

申请号：JP2006286486

申请日：2006-10-20

Applicant: Fei Co ,  エフ イー アイ カンパニFei Company

Inventor： TAPPEL HENDRIK GEZINUS ,  HEES VAN IAN JOHANNES BERNARDU ,  LANKERS DANNY ,  VAN VEEN GERARD NICOLAAS ANNE ,  YOUNG RICHARD ,  GIANNUZZI LUCILLE ANN

IPC: H01L21/683 ,  G01N1/28 ,  H01J37/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/68 ,  G01R31/2898 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3005 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20242 ,  H01L21/68764

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a stage assembly that allows a sample to be more uniformly treated in a dual-beam particle optical apparatus. SOLUTION: The stage assembly includes a first source for generating a first irradiating beam E along a first axis A1; a second source for generating a second irradiating beam I along a second axis A2 that intersects the first axis at a beam intersection point; a sample table 21 on which a sample can be mounted; and a set of actuators arranged to effect translation of the sample table along directions substantially parallel to an X-axis that is perpendicular to a reference plane, a Y-axis parallel to the reference plane, and a Z-axis parallel to the reference plane. The set of actuators is further arranged to effect rotation of the sample table 21 about a rotation axis RA substantially parallel to the Z-axis and rotation of the sample table about a flip axis FA substantially perpendicular to the Z-axis. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种允许在双光束粒子光学装置中更均匀地处理样品的载物台组件。 解决方案：舞台组件包括用于沿着第一轴线A1产生第一照射光束E的第一光源; 第二源，沿着与光束交叉点处的第一轴相交的第二轴线A2产生第二照射光束I; 其上可以安装样品的样品台21; 以及一组致动器，其被布置成沿着基本上平行于垂直于参考平面的X轴，平行于参考平面的Y轴和平行于参考平面的Z轴的方向来实现样本台的平移 。 该组致动器进一步布置成使样本台21围绕基本上平行于Z轴的旋转轴线RA和基本上垂直于Z轴的翻转轴FA的样本台的旋转来进行旋转。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2015204296A

公开(公告)日：2015-11-16

申请号：JP2015080464

申请日：2015-04-09

Applicant: エフ・イ−・アイ・カンパニー

Inventor： ブライアン・ロバーツ・ルース・ジュニア ,  ヴァレリー・ブローデン ,  マイケル・シュミット

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/305 ,  G01N1/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N1/44 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/31745

Abstract: 【課題】透過電子顕微鏡法で使用される、一度に多数の試料を取り付けできるTEMグリッドと、このTEMグリッドへの試料の取り付け法を提供する。 【解決手段】TEMグリッド402は本体404に形成される段418を有する柱414を提供し、複数の段418は、グリッド402に取り付けることができる試料の数を増加させる。それぞれの柱414が、片側に段418がある構成を含む。基板から複数の試料を抜き取り、グリッド402に固定する方法は、基板から試料を抜き取ることと、柱414上の異なる段418に試料を取り付けることの繰り返しを含む。 【選択図】図4A

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于透射电子显微镜方法的TEM栅格，可以同时附着多个样品，以及将样品附着到TEM网格上的方法。解决方案：TEM格栅402提供具有 在主体404中形成的步骤418，步骤418增加可以附接到网格402的样本的数量。每个柱414包括单面步骤418配置。 从衬底提取多个样品并将样品固定到网格402的方法包括从衬底提取样品并将样品附接到柱414上的不同步骤418的重复。

公开(公告)号：JP5613837B2

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：JP2013525555

申请日：2012-06-29

Applicant: パナソニック株式会社

Inventor： 尚吾 置田 ,  尚吾 置田 ,  渡邉　彰三 ,  彰三 渡邉

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L31/18 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32724 ,  H01J2237/201 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

公开(公告)号：JP2013522825A

公开(公告)日：2013-06-13

申请号：JP2012557178

申请日：2011-03-08

Applicant: マイクロスコピー イノベーションズ, エルエルシーMicroscopy Innovations, Llc

Inventor： グッドマン，スティーブン，エル． ,  ラシー，ジャック ,  ネルソン，マーク，ティー．

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201

Abstract: A device for holding a specimen holder, the device including a body with a slot formed therein. The slot includes an interior for receiving the specimen holder which may be a flat disk with edges and a pair of opposing sides. The disk may be made of a resilient deformable material. The slot may be sized to receive the specimen holder through an open top end and may taper from top bottom, such that the bottom end of the slot is smaller than the specimen holder. The slot further configured to contact the specimen holder along edges of the specimen holder and to allow some sideways deformation of the specimen holder without either side of the specimen holder distant from the edges coming into contact with the interior of the slot.

公开(公告)号：JP2012532416A

公开(公告)日：2012-12-13

申请号：JP2012517612

申请日：2010-06-18

Applicant: トゥイン・クリークス・テクノロジーズ・インコーポレイテッドTwin Creeks Technologies, Inc.

Inventor： ライディング，ジェフリー ,  スミック，セオドア・エイチ ,  パーサー，ケネス ,  ジレスピー，ジョセフ・ディー ,  グラビッシュ，ヒルトン

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202

Abstract: シリコンウエハからシリコンを剥離するための水素イオン注入装置は、その外周の周囲で５０以上のウエハを運搬し、軸を中心に回転する、大型の走査ホイール（１４）を使用する。 一実施形態において、ホイールの回転の軸は、固定され、水素イオンのリボンビーム（１０１）は、ホイールの外周縁上で下向きに方向付けられる。 リボンビームは、ホイール上でウエハの放射状幅全体に延在する。 ビームは、少なくとも１００ｍｍの断面外径を有する抽出リボンビームを提供する、イオン源（１６）によって生成される。 イオン源は、イオン源のプラズマを閉じ込めて均一フィールドを提供するように、コアレスの鞍型コイル（１１２、１１２ａ〜ｃ）を使用する場合がある。 リボンビームは、リボンの平面内でビームを屈曲する９０偏向電磁石（１７）を通過する場合がある。

公开(公告)号：JP5020547B2

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：JP2006155306

申请日：2006-06-02

Applicant: 株式会社Sen

Inventor： 貴典 八木田 ,  光国 月原 ,  寿樹 泉谷 ,  隆之 黒田

IPC: H01L21/265 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  Y10S359/90

公开(公告)号：JP2010541210A

公开(公告)日：2010-12-24

申请号：JP2010525965

申请日：2008-09-18

Applicant: バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド

Inventor： エローヒン、ユリ ,  サリバン、ポール ,  ヌナン、ピーター ,  ワルター、スティーブン、アール．

IPC: H01L21/02 ,  B23K15/00 ,  B23K15/06 ,  B23K20/00 ,  B23K20/14 ,  B23K20/24 ,  H01L21/265 ,  H01L27/12

CPC classification number: H01L21/76251 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202 ,  H01L21/26506 ,  H01L21/6835 ,  H01L2221/68359 ,  H01L2924/30105

Abstract: 【解決手段】 イオン注入によって活性化された２つの基板を接合するウェハ接合方法を開示する。 インサイチュイオン接合チャンバによって、イオン活性化および接合を、製造処理ラインで利用されている既存の処理ツールで、実行することができるようになっている。 基板のうち少なくとも一方の基板のイオン活性化を低い注入エネルギーで行って、薄い表面層よりも下方のウェハ材料がイオン活性化によって影響をうけないようにする。
【選択図】 図８

公开(公告)号：JP2010529008A

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：JP2010509879

申请日：2008-04-23

Applicant: アイシス・イノヴェイション・リミテッド

Inventor： ジョン， チャールズ シンクレア， ,  マーティン， エドワード， マンタイラ ノーブル，

IPC: C07K19/00 ,  C07K14/00 ,  C07K14/11 ,  C07K14/24 ,  C07K14/47 ,  C12N1/15 ,  C12N1/19 ,  C12N1/21 ,  C12N5/10 ,  C12N15/09 ,  H01J37/20

CPC classification number: C07K14/001 ,  C07K14/24 ,  C07K14/47 ,  C07K19/00 ,  C07K2319/00 ,  H01J37/20 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/201

Abstract: 二次元で規則的に反復するタンパク質層（１）は、それぞれが、遺伝学的に融合して一緒になっている少なくとも２つの単量体（５）、（６）を含むタンパク質プロトマー（２）を含む。 単量体（５）、（６）は、それぞれのオリゴマー集合体（３）、（４）の単量体であり、単量体が集合してオリゴマー集合体を構築して、タンパク質層の集合体を構築する。 第１のオリゴマー集合体（３）は、Ｏが（３）、（４）又は（６）と等しい、位数Ｏの二面体点群に属し、１セットの位数（２）のＯ本の回転対称軸を有する。 第２のオリゴマー集合体（４）は、位数（２）の回転対称軸を有する。 オリゴマー集合体（３）、（４）の対称性により、第２のオリゴマー集合体（４）それぞれの回転対称軸は、第１のオリゴマー集合体（３）の前記１セットのＯ本の回転対称軸の１つと一線上に整列されており、（２）のプロトマーが、その周りに対称的に配置されている。 したがって、オリゴマー集合体（３）と（４）との間で２方面の融合体が生成され、オリゴマー集合体（３）、（４）の回転対称軸の配置により、タンパク質層が規則的に反復する。 タンパク質層は多くの用途を有し、例えばバイオセンシング、Ｘ線結晶解析又は電子顕微鏡観察用の分子的実体を支持する。
【選択図】図１

公开(公告)号：JP2009158222A

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：JP2007333483

申请日：2007-12-26

Applicant: Jeol Ltd ,  日本電子株式会社

Inventor： SUGA MITSUO ,  NISHIYAMA HIDETOSHI

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2005 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/204 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/262 ,  H01J2237/28

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To observe and inspect with higher resolution in SEM (scanning electron microscopy) or TEM (transmission electron microscopy).
SOLUTION: The sample holder 150 has a frame-like member 150a provided with an opening 150b that is covered with a film 150c. The film 150c has a first surface on which a sample 315 is held. A thickness D of the film 150c and a peripheral length L of a portion of the film 150c which covers the opening 150b in the frame-like member 150a satisfy a relationship given by L/D

Abstract translation: 要解决的问题：在SEM（扫描电子显微镜）或TEM（透射电子显微镜）中以更高分辨率观察和检查。 解决方案：样品架150具有框架状构件150a，该框架构件150a设置有被膜150c覆盖的开口150b。 薄膜150c具有保持样品315的第一表面。 膜150c的厚度D和覆盖框架状构件150a中的开口150b的膜150c的一部分的周长L满足L / D <200,000的关系。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008305794A

公开(公告)日：2008-12-18

申请号：JP2008147292

申请日：2008-06-04

Applicant: Carl Zeiss Nts Gmbh ,  カール・ツァイス・エヌティーエス・ゲーエムベーハーCarl Zeiss NTS GmbH

Inventor： ZEILE ULRIKE ,  SCHERTEL ANDREAS

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a particle beam device and a method of pretreating a sample and/or inspecting the sample capable of being applied for the particle beam device. SOLUTION: The particle beam device (1) is provided with two receiving members (6, 7) each for receiving one sample, fitted in free attachment and detachment to and from a support member (5). COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种粒子束装置和一种预处理样品和/或检查能够应用于粒子束装置的样品的方法。 解决方案：粒子束装置（1）设置有两个接收构件（6,7），每个接收构件用于接收一个样品，其自由地附接和从支撑构件（5）拆卸。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT