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公开(公告)号：KR101232456B1
公开(公告)日：2013-02-12
申请号：KR1020110081845
申请日：2011-08-17
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01L21/683 , H01L21/60 , H01L23/48
Abstract: PURPOSE: A jig for filling a via hole, a via hole filling device, and a via hole filling method are provided to improve a process speed by mounting a first substrate and a second substrate on the upper and lower sides of a receiving space. CONSTITUTION: A body(110) includes a first receiving groove and a second receiving groove. A peripheral side of a first substrate(10) is received in the inner sidewall of the first receiving groove. The first substrate includes a via hole. A peripheral side of a second substrate(20) and the first receiving groove are received in the inner sidewall of a second receiving groove. A paste supply unit(120) supplies metal paste to the receiving space.
Abstract translation: 目的：提供用于填充通孔的夹具，通孔填充装置和通孔填充方法，以通过将第一基板和第二基板安装在接纳空间的上侧和下侧来提高加工速度。 构成：主体（110）包括第一接收槽和第二接收槽。 第一基板（10）的周边被容纳在第一接收槽的内侧壁中。 第一基板包括通孔。 第二基板（20）的外周侧和第一接收槽被容纳在第二接收槽的内侧壁中。 糊剂供给单元（120）将金属糊料供给到容纳空间。
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公开(公告)号：KR101073485B1
公开(公告)日：2011-10-17
申请号：KR1020090022927
申请日：2009-03-18
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H01L2224/11472 , H01L2224/11906 , H01L2224/131 , H01L2224/45 , H01L2224/45147 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01014 , H01L2924/01029 , H01L2924/0103 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/01083 , H01L2924/014 , H01L2924/10253 , H01L2224/48 , H01L2924/00012
Abstract: 본발명은인쇄회로기판또는실리콘웨이퍼등과같은기판에형성되는무연솔더범프의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로기판에형성된구리포스트의전면을캡핑할수 있도록솔더를형성함으로써기계적신뢰성을향상시킬수 있는무연솔더범프의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 目的：提高机械可靠性的自由铅焊料凸块的制造方法是在基板上形成形成铜柱的前侧的焊料为封盖。 关于剪切应力的阻力增加。 构成：在基板（1）上形成铜线（2）。 光致抗蚀剂层（3）形成在铜线上。 根据光致抗蚀剂层的图案，铜柱（5）形成在铜线上。 形成光致抗蚀剂层（4）以具有与铜柱的底部的直径相同直径的图案。 焊料（10）被形成为使得铜柱的上部的正面被盖住。
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公开(公告)号：KR100987106B1
公开(公告)日：2010-10-11
申请号：KR1020080072338
申请日：2008-07-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 멀티레이어 기판을 제조하는 방법에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 재료의 제한 없이 멀티레이어 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 중간층 형성을 통한 선택적 도금을 이용한 멀티레이어 기판 제조방법은, 기재의 표면에 금속층을 형성하는 1단계; 상기 금속층의 표면에 제1보호피막 패턴을 형성하는 2단계; 상기 금속층을 상기 제1보호피막 패턴에 의해 선택적으로 양극산화시킨 뒤에 상기 제1보호피막을 제거하는 3단계; 상기 3단계에서 제1보호피막을 제거한 표면에 중간층을 형성하는 4단계; 상기 중간층의 표면에 제2보호피막 패턴을 형성하는 5단계; 상기 중간층을 상기 제2보호피막 패턴에 의해 선택적으로 에칭하는 6단계; 및 상기 제2보호피막을 제거하고 에칭 뒤에 남은 중간층에 도금을 실시하는 7단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 도금이 쉬운 중간층을 형성하여 선택적 도금방법으로 도금층을 형성함으로써, 간단한 공정으로 멀티레이어 기판을 제조할 수 있으며, 도금이 어려운 재료를 이용하여 멀티레이어 기판을 제조할 수 있는 효과가 있다.
멀티레이어 기판, 양극산화, 알루미늄, 중간층-
公开(公告)号：KR100939273B1
公开(公告)日：2010-01-29
申请号：KR1020080029778
申请日：2008-03-31
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 반도체 패키징 또는 디스플레이 분야 등에 이용되는 멀티레이어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 보다 간단한 공정 내지 적은 비용으로 멀티레이어를 제조할 수 있는, 양극산화를 이용한 멀티레이어 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 멀티레이어 제조방법은, 기판의 표면에 제1금속층을 형성하는 제1단계; 상기 제1금속층을 부분적으로 양극산화시킴으로써 제1부분산화영역 및 제1금속배선을 가지는 제1회로를 형성하는 제2단계; 상기 제1금속층 및 제1부분산화영역을 전면적으로 양극산화시킴으로써 층간절연층을 형성하는 제3단계; 상기 층간절연층을 부분적으로 에칭함으로써 하나 이상의 관통홀을 형성하는 제4단계; 상기 층간절연층의 표면 및 관통홀 내에 제2금속층을 형성하는 제5단계; 및 상기 제2금속층의 표면을 부분적으로 양극산화시킴으로서 제2부분산화영역 및 제2금속배선을 가지는 제2회로를 형성하는 제6단계를 포함한다.
양극산화, 멀티레이어, 관통홀, 층간절연층-
公开(公告)号：KR1020090105746A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：KR1020080031380
申请日：2008-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a perpendicular magnetic recording medium is provided to reduce the noise and improve the signal to noise ratio of the medium by magnetically separating the particles in the recording layer. CONSTITUTION: A method for manufacturing a perpendicular magnetic recording medium includes a step of laminating a soft-magnetic layer, a non magnetic middle layer, and a recording layer successively on the surface of a substrate(S1~S3), and a step of wet-etching the recording layer in order to separate the particles in it(S4). The recording layer is made of Co-Pt alloy, and nitric acid solution is used for wet-etching.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造垂直磁记录介质的方法，以通过磁记录层中的颗粒的磁分离来降低噪声并提高介质的信噪比。 构成：垂直磁记录介质的制造方法包括在基板表面上依次层叠软磁性层，非磁性中间层和记录层的工序（S1〜S3），以及湿式工序 - 记录层，以分离其中的颗粒（S4）。 记录层由Co-Pt合金制成，硝酸溶液用于湿蚀刻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020090103535A
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：KR1020080029203
申请日：2008-03-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: H05K9/0086 , H01J11/44 , H01J2211/446 , H05K9/0096
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing an electrode for selective plating, a method for manufacturing an EMI shielding filter using the same, and an EMI shielding filter structure are provided to improve transparency and EMI shielding filtering effect by minimizing contamination, damage, or deterioration in a process. CONSTITUTION: A base substrate(100) with a mesh recess is formed in an upper part. The base substrate has an insulated transparent material. A first conductive layer is formed by depositing a first conductive material in the upper part of the base substrate. A dry etching process is performed while rotating the inclined base substrate. The first conductive layer of the remaining part except the bottom or the side of the recess is removed. An electroplating process is performed to fill a second conductive material in the recess using the first conductive layer remaining in the bottom of the recess as a seed layer.
Abstract translation: 目的：制造用于选择性电镀的电极的方法，使用其的EMI屏蔽滤波器的制造方法和EMI屏蔽滤波器结构，以通过最小化污染，损坏或劣化来提高透明度和EMI屏蔽滤波效果 处理。 构成：在上部形成具有网孔的基底基板（100）。 基底具有绝缘的透明材料。 第一导电层通过在基底衬底的上部中沉积第一导电材料而形成。 在旋转倾斜的基底基板的同时进行干蚀刻处理。 除了凹部的底部或侧面之外的剩余部分的第一导电层被去除。 执行电镀工艺以使用残留在凹槽的底部中的第一导电层作为种子层填充凹部中的第二导电材料。
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公开(公告)号：KR1020090030786A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：KR1020070096331
申请日：2007-09-21
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: A method for manufacturing a perpendicular magnetic recording medium is provided to improve the thermal stability of recording layer by depositing a soft-magnetic layer on the substrate surface with applying a magnetic field in the horizontal direction. A method for manufacturing a perpendicular magnetic recording medium comprises a soft-magnetic layer(2), a non-magnetic intermediate layer, and a recording layer which are deposited in sequence on the surface of a substrate(1). The soft-magnetic layer is deposited by sputtering at the state that a magnetic field parallel to the horizontal plane of the substrate is applied from the opposite side of the deposition plane.
Abstract translation: 提供一种用于制造垂直磁记录介质的方法，通过在水平方向上施加磁场而在基板表面上沉积软磁层来提高记录层的热稳定性。 一种用于制造垂直磁记录介质的方法包括依次沉积在基板（1）的表面上的软磁层（2），非磁性中间层和记录层。 在从沉积平面的相对侧施加平行于衬底的水平面的磁场的状态下，通过溅射沉积软磁性层。
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公开(公告)号：KR1020150047002A
公开(公告)日：2015-05-04
申请号：KR1020130126698
申请日：2013-10-23
Applicant: (주)창성 , 성균관대학교산학협력단
IPC: B32B15/08
CPC classification number: B32B15/08 , B32B15/04 , H05K1/0313 , H05K1/0353
Abstract: 본원발명은제 1 기판의일면을표면처리하는단계, 상기표면처리된제 1 기판의일면상에금속박막을형성하는단계, 상기금속박막상에접착성캐리어필름을부착하는단계, 상기접착성캐리어필름에물리적인힘을인가하여상기금속박막(120)을상기제 1 기판(110)으로부터분리하는단계를포함하여금속박막을포함하는캐리어필름을제조하는것이가능할것이다. 또한, 상기표면처리된제 1 기판의일면상에금속박막을형성하는단계, 상기금속박막상에접착성캐리어필름을부착하는단계사이에상기금속박막표면에드라이필름레지스트(Dry Film Resist, DFR)를코팅하는단계, 상기드라이필름레지스트(DFR)를패터닝하는단계, 상기패터닝된드라이필름레지스트(DFR)를이용하여하부의상기금속박막을가공하는단계, 상기드라이필름레지스트(DFR)를제거하는단계를더 포함하는것도가능할것이다. 이를통해젖음성이좋지않은기판에금속박막을형성시킬수 있고, 기판으로부터금속박막을손상없이용이하게분리할수 있다. 또한, 금속박막이부착된캐리어필름은유연한재질이기때문에, 롤투롤공정을사용하여저렴한비용으로기판에금속박막을형성시킬수 있다. 마지막으로드라이필름레지스트(DFR)을패터닝하는방법을이용하여금속박막을패터닝하는것이가능하다.
Abstract translation: 本发明能够制造具有金属薄膜的载体膜的方法，包括：对第一板坯的一个表面进行表面处理的步骤; 在所述第一板的处理表面上形成所述金属薄膜的工序; 将粘合剂载体膜附着在金属薄膜上的步骤; 以及通过对粘合剂载体膜施加物理力而将金属薄板（120）与第一板坯（110）分离的步骤。 此外，本发明使得能够通过附加地包括以下步骤来制造具有金属薄膜的载体膜的方法：在金属薄膜的表面上涂覆干膜抗蚀剂（DFR）的步骤; 图案化DFR的步骤; 使用图案化的DFR处理金属薄膜的步骤; 以及在第一板坯的被处理面上形成金属薄膜的工序和将粘合剂载体膜贴合在金属薄膜上的工序。 因此，本发明能够在具有低润湿性的板坯上形成金属薄膜，并且容易地将金属薄膜与板坯分离而不损坏。 此外，本发明能够通过卷对卷方法以低成本在板坯上形成金属薄膜，因为附着有金属薄膜的载体膜由柔性材料形成。 最后，可以利用用于图案化DFR的方法图案化金属薄膜。
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公开(公告)号：KR101465460B1
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：KR1020130143665
申请日：2013-11-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G06F12/0246 , G06F2212/7201 , G06F2212/7205
Abstract: 데이터 관리 장치(500)는 섹터의 비트맵 정보를 포함하는 트림 명령을 생성하는 호스트 장치(510), 비트맵 정보를 이용하여 논리적 섹터 중 무효화 대상인 섹터만을 무효화하는 저장 장치(520) 및 호스트 장치로부터 트림 명령을 저장 장치에 전달하는 인터페이스 장치(530)를 포함한다.
Abstract translation: 数据管理装置（500）包括：主机装置（510），其生成包括扇区的位图信息的修剪命令;存储装置（520），其使用所述存储装置（520）使逻辑扇区中的无效对象的扇区无效 位图信息，以及将修剪命令从主机设备发送到存储设备的接口设备（530）。
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公开(公告)号：KR1020140069659A
公开(公告)日：2014-06-10
申请号：KR1020120137201
申请日：2012-11-29
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G06F17/30091 , G06F17/30218
Abstract: A memory system according to the present invention includes: a memory which has a predetermined information storage space; a general data block in the information storage space of the memory storing general data; and a metadata block in the information storage space of the memory storing the metadata related to the general data. The metadata corresponding to at least a part of the general data is groped and stored in the metadata block.
Abstract translation: 根据本发明的存储器系统包括：具有预定信息存储空间的存储器; 存储通用数据的存储器的信息存储空间中的通用数据块; 以及存储与一般数据相关的元数据的存储器的信息存储空间中的元数据块。 对应于一般数据的至少一部分的元数据被挖掘并存储在元数据块中。
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