公开(公告)号：JP2011187447A

公开(公告)日：2011-09-22

申请号：JP2011073485

申请日：2011-03-10

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/06 ,  H01J37/063

CPC classification number: H01J37/147 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1514 ,  H01J2237/153 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device capable of reducing an introduced aberration and increasing a throughput. SOLUTION: A column (1) of the charged particle beam device is disclosed. The column includes a charged particle beam emitter (2) for emitting primary charged particle beams as one source of the primary charged particle beams; a biprism (6) adapted for acting on the primary charge particle beams so as to generate two virtual sources; and a charged particle beam optical system (10) adapted to simultaneously focus the charged particle beams on two positions of a specimen (8) corresponding to images of two virtual sources. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够减少引入的像差并增加生产量的带电粒子束装置。 解决方案：公开了带电粒子束装置的柱（1）。 该柱包括用于将初级带电粒子束作为主要带电粒子束的一个源发射的带电粒子束发射器（2） 适于作用于所述主充电粒子束以产生两个虚拟源的双棱镜（6）; 以及适于将带电粒子束同时聚焦在与两个虚拟源的图像相对应的样本（8）的两个位置上的带电粒子束光学系统（10）。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2011091036A

公开(公告)日：2011-05-06

申请号：JP2010213762

申请日：2010-09-24

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： SCHOENECKER GERALD ,  LANIO STEFAN DR

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device capable of getting sufficient resolution even at large current or with a large-diameter beam by correcting chromatic aberration of a beam separator. SOLUTION: An achromatic beam separator device separating a primary charged particle beam from another charged particle beam and providing the primary charged particle beam on an optical axis 142 includes a primary charged particle beam inlet, a primary charged particle beam outlet encompassing the optical axis, a magnetic deflection element 163 adapted to generate a magnetic field, and an electrostatic deflection element 165 adapted to generate an electric field overlapping the magnetic field. At least one element chosen from the electrostatic deflection element and the magnetic deflection element is arranged and/or can be arranged to compensate octo-pole influence. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种即使在大电流下或通过校正光束分离器的色差也可以利用大直径光束获得足够分辨率的带电粒子束装置。 解决方案：将初级带电粒子束与另一带电粒子束分离并在光轴142上提供初级带电粒子束的消色差束分离器装置包括初级带电粒子束入口，包含光学器件的初级带电粒子束出口 适于产生磁场的磁偏转元件163和适于产生与磁场重叠的电场的静电偏转元件165。 选自静电偏转元件和磁偏转元件中的至少一个元件被布置和/或可被布置成补偿八极影响。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2010092859A

公开(公告)日：2010-04-22

申请号：JP2009233392

申请日：2009-10-07

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/05

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device and a method for simultaneously detecting particles negatively and positively charged. SOLUTION: A detection device for use in a charged particle beam device includes a separation field generation section 220 for generating a separation field which separates positively and negatively charged secondary particles, a first detector 212 for detecting positively charged particles, and a second detector 214 for detecting negatively charged particles. The positively charged secondary particles are detected by the first detector, and further, the negatively charged secondary particles are simultaneously detected by the second detector. The method for simultaneously detecting the positively and negatively charged particles includes preparing a separation field, preparing the first and second detectors, separating the negatively charged particles in the separation field from the positively charged particles, and simultaneously detecting the positively charged particles by the first detector, and the negatively charged particles by the second detector. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种同时检测负极和带正电的颗粒的装置和方法。 解决方案：用于带电粒子束装置的检测装置包括：分离场产生部分220，用于产生分离带正电荷和带负电荷的二次粒子的分离场;第一检测器212，用于检测带正电的粒子;以及第二 用于检测带负电粒子的检测器214。 带正电的二次粒子由第一检测器检测，另外，由第二检测器同时检测带负电荷的二次粒子。 用于同时检测带正电荷和带负电粒子的方法包括制备分离场，制备第一和第二检测器，将分离场中的带负电荷的颗粒与带正电荷的颗粒分离，同时通过第一检测器检测带正电的颗粒 ，第二检测器带负电粒子。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009187950A

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：JP2009027512

申请日：2009-02-09

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN

IPC: H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J37/241 ,  H01J37/243 ,  H01J2237/002 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0827 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/317

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a focused ion beam device with a simpler structure and its operation method. SOLUTION: The focused ion beam device includes an ion beam column including a case for housing a gas electric field ion source emitter with an emitter area for generating ions, an electrode for extracting ions from the gas electric field ion source emitter, one or more gas inlets adapted to introduce a first gas and a second gas to the emitter area, an objective lens for focusing the ion beam generated from the first gas or the second gas, a voltage supply for supplying a voltage between the electrode and the gas electric field ion source emitter, and a controller for switching between a first voltage and a second voltage of the voltage supply for generating an ion beam of ions of the first gas or an ion beam of ions of the second gas. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有更简单结构的聚焦离子束装置及其操作方法。 解决方案：聚焦离子束装置包括离子束柱，其包括用于容纳具有用于产生离子的发射极区域的气体电场离子源发射器的壳体，用于从气体电场离子源发射器提取离子的电极， 或更多的气体入口适于将第一气体和第二气体引入到发射器区域，用于聚焦从第一气体或第二气体产生的离子束的物镜，用于在电极和气体之间提供电压的电压源 电场离子源发射器和用于在电压源的第一电压和第二电压之间切换的控制器，用于产生第一气体的离子离子束或第二气体的离子离子束。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009187949A

公开(公告)日：2009-08-20

申请号：JP2009027373

申请日：2009-02-09

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： ADAMEC PAVEL ,  ZHOU FANG

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24507 ,  H01J2237/2826

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device and method, capable of providing high-speed and frequent beam current measurement.
SOLUTION: A charged particle beam device is described. The charged particle beam device includes an emitter adapted for emitting a primary charged particle beam, a specimen location adapted for holding a specimen, from which secondary and/or backscattered charged particles are released on impingement of the primary charged particle beam, a detection unit adapted for detecting the secondary particles and/or backscattered charged particles, and a beam guiding unit adapted for guiding the primary charged particle beam to the detection unit for impingement of a primary charged particle beam on the detection unit.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够提供高速和频繁的束电流测量的带电粒子束装置和方法。 解决方案：描述带电粒子束装置。 带电粒子束装置包括适于发射初级带电粒子束的发射器，适于保持试样的试样位置，从而从初级带电粒子束的冲击中释放辅助和/或反向散射的带电粒子，检测单元适于 用于检测二次粒子和/或反向散射带电粒子，以及光束引导单元，其适于将初级带电粒子束引导到检测单元，以将初级带电粒子束撞击在检测单元上。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008192596A

公开(公告)日：2008-08-21

申请号：JP2007278898

申请日：2007-10-26

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN ,  BANZHOF HELMUT

IPC: H01J37/05 ,  H01J27/26 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J49/288 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ion beam device having a liquid-metal alloy ion source (LMAIS) and achromatic mass separator.
SOLUTION: The ion beam device includes an ion beam source 110 for generating an ion beam 170 emitted along a first axis 142, an aperture unit adapted to shape the ion beam, and an achromatic deflection unit 162 adapted to deflect ions on the ion beam with a predetermined mass at a deflecting angle. The achromatic deflection unit includes an electric field generating component for generating an electric field, and a magnetic field generating component for generating a magnetic field substantially orthogonal to the electric field. The ion beam device also includes a mass separation aperture 154 adapted to block the ions with a mass different from the predetermined mass and to make the ions with the predetermined mass invade into the inside, and an objective lens 124 having a second optical axis inclined to the first axis.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供具有液体 - 金属合金离子源（LMAIS）和消色差质量分离器的离子束装置。 解决方案：离子束装置包括用于产生沿着第一轴线142发射的离子束170的离子束源110，适于使离子束成形的孔单元，以及适于使离子束偏转的无色偏转单元162 具有预定质量的离子束以偏转角度。 无彩色偏转单元包括用于产生电场的电场产生部件和用于产生与电场基本正交的磁场的磁场产生部件。 离子束装置还包括质量分离孔154，其适于用不同于预定质量块的质量阻挡离子，并使具有预定质量的离子侵入到内部;以及物镜124，其具有倾斜到 第一轴。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008153199A

公开(公告)日：2008-07-03

申请号：JP2007279203

申请日：2007-10-26

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN ,  WINKLER DIETER

IPC: H01J37/317 ,  H01J27/26 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J27/26 ,  H01J37/08 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/0807 ,  H01J2237/0827 ,  H01J2237/244 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device for irradiation of a test piece, in particular, for inspection and structurization of it, and a focused ion beam device and an operating method of the focused ion beam device. SOLUTION: The device is provided with an ion beam column including a closed space for housing an emitter having an emitter region for ion generation, a first gas inlet adapted for introducing a first gas into the emitter region, a second gas inlet adapted for introducing a second gas different from the first gas into the emitter region, and a switching unit adapted for switching over introduction of the first gas and the introduction of the second gas. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于照射试样的带电粒子束装置，特别是用于其检查和结构化，以及聚焦离子束装置和聚焦离子束装置的操作方法。 解决方案：设备设置有离子束柱，其包括用于容纳具有用于离子产生的发射极区域的发射器的封闭空间，适于将第一气体引入发射极区域的第一气体入口，适于 用于将不同于所述第一气体的第二气体引入所述发射极区域;以及切换单元，其适于切换所述第一气体的引入和所述第二气体的引入。 版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2008047523A

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：JP2007192498

申请日：2007-07-24

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： ADAMEC PAVEL ,  DROR SHEMESH

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/147 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J37/1472 ,  H01J37/1478 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1506 ,  H01J2237/2811 ,  H01J2237/2814

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved charged particle beam device used for inspecting an oblique angle part of a specimen, an edge part thereof or a part of a bottom surface thereof.
SOLUTION: This charged particle beam device includes: a first objective lens 104 defining an optical axis 102 and focusing a primary charged particle beam; a specimen stage 110 defining a specimen arrangement area; and a deflection unit 132 for deflecting the primary charged particle beam between the first objective lens and the specimen arrangement area, towards a beam path for impingement on the specimen; wherein the deflection unit is movable with respect to the optical axis 102.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于检查试样的斜角部分，其边缘部分或其底面的一部分的改进的带电粒子束装置。 解决方案：该带电粒子束装置包括：限定光轴102并聚焦初级带电粒子束的第一物镜104; 限定样本排列区域的样本台110; 以及偏转单元132，用于将第一物镜和样本布置区域之间的初级带电粒子束朝向用于冲击样本的光束路径偏转; 其中偏转单元可相对于光轴102移动。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2007073521A

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：JP2006240568

申请日：2006-09-05

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： ZHOU FAN ,  ADAMEC PAVEL ,  FROSIEN JUERGEN ,  VISHNIPOLSKY JIMMY

IPC: H01J9/44 ,  H01J1/304 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/06325

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for operating an electrically-charged particle beam irradiation device including a cold cathode field emitter with an emitter face, especially an electronic beam irradiation device. SOLUTION: A cold cathode field emitter is located in vacuum which provides high initial irradiation current and low stabilized average irradiation current under a given extraction electric field (a). The extraction electric field is applied to the cold cathode field emitter in order to irradiate an electron from the emitter face, and the irradiation current of the cold cathode field emitter is made higher than the stabilized average irradiation current (b). A cleaning process is performed by heating the emitter face up to the predetermined temperature through application of at least one heating pulse, and such a process is carried out before the irradiation current of the cold cathode field emitter drops to the low stabilized average irradiation current (c). The cleaning process (c) is repeated to ensure that the irradiation current of the cold cathode field emitter continuously exceeds the stabilized average irradiation current (d). COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 解决问题的方案：提供一种包括具有发射极面的冷阴极场发射体，特别是电子束照射装置的带电粒子束照射装置的方法。 解决方案：冷阴极场发射器位于真空中，其在给定的提取电场（a）下提供高初始照射电流和低稳定的平均照射电流。 提取电场被施加到冷阴极场发射器，以便从发射极面照射电子，使得冷阴极场发射体的照射电流高于稳定的平均照射电流（b）。 通过施加至少一个加热脉冲将发射极面加热到预定温度来进行清洁处理，并且在冷阴极场致发射体的照射电流下降到低稳定平均照射电流之前进行这种处理（ C）。 重复清洁过程（c）以确保冷阴极场发射体的照射电流连续超过稳定的平均照射电流（d）。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2007073520A

公开(公告)日：2007-03-22

申请号：JP2006239981

申请日：2006-09-05

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： ZHOU FAN ,  FROSIEN JUERGEN

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/15

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrically-charged particle apparatus and its method using the electrically-charged particle emitter with a discontinuous emission pattern. SOLUTION: The electrically-charged particle apparatus includes an emitter (102) having an emission pattern containing at least two emission peaks, gun lenses (119, 519 and 919), and a diaphragm (120). The gun lens contains a deflector unit (110) which directs one emission peak of at least two emission peaks towards an opening area of the diaphragm, thereby selecting one emission peak from at least two emission patterns. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种带有不连续发射图案的带电粒子发射器的带电粒子装置及其方法。 解决方案：带电粒子装置包括具有包含至少两个发射峰的发射图案的发射器（102），枪式透镜（119,519和919）以及隔膜（120）。 喷枪透镜包含偏转器单元（110），其将至少两个发射峰值的一个发射峰值引导到光阑的开口区域，从而从至少两个发射图案中选择一个发射峰值。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT