公开(公告)号：KR1020090051422A

公开(公告)日：2009-05-22

申请号：KR1020070117809

申请日：2007-11-19

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  오현석 ,  전정우 ,  이동연 ,  정순녕 ,  강도현

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/162 ,  B05D1/005 ,  G03F7/707 ,  G03F7/70758

Abstract: 본 발명은 원통형 기판을 회전시키면서 발생하는 원심력으로 얇고 균일한 두께의 코팅막을 표면에 형성하는 원통형 기판용 스핀 코터 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 기판에 균일한 코팅막을 형성하는 스핀 코터에 있어서,
제어부에 의해 회전속도가 조절되는 모터의 모터축과 연결되는 회전판; 상기 회전판의 길이방향 가장자리에 마련되는 복수의 고정대와 이 고정대로부터 일정 간격 이격된 회전판의 내측에 구성되는 복수의 수평이동대; 상기 고정대와 수평이동대에 설치되어 원통형 기판의 중심축에 연결되는 지지축;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 원통형 기판용 스핀 코터를 제공한다.
그리고, 상기 고정대는 높이조절을 위한 높이조절장치가 더 포함되어 설치된다.
원통, 기판, 모터, 회전, 원심력, 중력, 기어, 감광제

公开(公告)号：KR100420214B1

公开(公告)日：2004-03-04

申请号：KR1020010054539

申请日：2001-09-05

Applicant: 한국전기연구원 ,  국방과학연구소 ,  주식회사 동진전기

Inventor： 전정우 ,  이기창 ,  황돈하 ,  박도영 ,  김용주 ,  최낙윤 ,  고한영 ,  이종훈 ,  하덕주 ,  이수태

IPC: B64C25/42

Abstract: PURPOSE: A brake system is provided to exhibit improved braking efficiency on the slippery road surface, by controlling the braking force to be optimum during the landing braking operation of the aircraft. CONSTITUTION: A brake system comprises an amplifier(401c) for receiving a braking command signal from a pilot during landing of an aircraft, amplifying the received signal and outputting the amplified signal; a proportional electronic valve for receiving signals from the amplifier and controlling the hydraulic pressure being supplied to a brake cylinder(403); the brake cylinder for applying a braking force to wheels of the aircraft in accordance with the operation of the proportional electronic valve; a skid prevention control unit(401a) arranged at an input terminal of the amplifier, which receives the braking command and speed information for each wheel, judges skid of wheels, and outputs signals corresponding to the judgment; and a subtractor(401b) for receiving signals output from the skid prevention control unit and the braking command from the pilot, and outputting, to the amplifier, the value obtained from the adding or subtracting operation between the two signals.

Abstract translation: 目的：通过在飞机的着陆制动操作期间将制动力控制为最佳，制动系统被提供用于在湿滑路面上展现改善的制动效率。 构成：制动系统包括放大器（401c），用于在飞行器着陆期间接收来自飞行员的制动命令信号，放大接收到的信号并输出​​放大后的信号; 比例电子阀，用于接收来自放大器的信号并控制供给制动缸（403）的液压; 根据比例电子阀的操作将制动力施加到飞机的车轮的制动缸; 设置在放大器的输入端处的防滑控制单元（401a），其接收每个车轮的制动命令和速度信息，判断车轮的打滑，并输出与判断相对应的信号; 以及减法器（401b），用于接收从防滑控制单元输出的信号和来自飞行员的制动命令，并将从两个信号之间的相加或相减操作获得的值输出给放大器。

公开(公告)号：KR100392308B1

公开(公告)日：2003-07-23

申请号：KR1020000086054

申请日：2000-12-29

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 강도현 ,  전영환 ,  전정우

IPC: H02P25/06

CPC classification number: H02K41/03 ,  H02J5/005 ,  H02J50/10 ,  H02K19/16

Abstract: 본 발명은 양측식 영구자석 선형 동기 전동기 추진시스템을 그대로 이용하면서 이동자에 비접촉의 전원공급을 행할 수 있도록 한 영구자석 여자 동기형 전동기와 비접촉 전원공급기의 결합장치에 관한 것으로, 선형 추진력을 발생시키는 양측식 영구자석 여자 동기형 전동기; 및 상기 양측식 영구자석 여자 동기형 전동기로부터의 전기에너지를 기계적 접촉없이 제공받는 비접촉 전원공급수단을 구비하고, 상기 양측식 영구자석 여자 동기형 전동기는, 공극이 형성되고 고주파수의 전원이 인가되는 고정자 철심; 상기 고정자 철심에 이동자계를 발생시키는 고정자 전동기 권선; 상기 고정자 철심의 양측을 각각 길이방향으로 감싸는 고정자 변압기 권선; 및 상기 고정자 철심의 공극을 따라 길이방향으로 이동하는 전동기 이동자를 구비하며, 상기 비접촉 전원공급수단은, 변압기 2차 철심에 해당되는 철심; 및 그 철심을 일정회수 감고 있는 변압기 2차 권선에 해당되는 권선을 구비하여, 종래의 영구자석 여자 선형 동기 전동기의 구조를 그대로 이용하면서 고정자 변압기 권선과 간단히 이동자의 한 부분에 길이가 긴 철심을 설치하고 거기에 권선을 감는 것만으로도 비접촉 전원공급이 가능하기 때문에 비용이 적게 든다.

Abstract translation: 本发明涉及为了产生直线驱动力而无接触地供给电力而将双方的永磁体励磁同步电动机部和非接触供电部组合而成的一体化系统。 本发明的集成系统包括用于产生线性驱动力的双侧永磁励磁同步电动机; 以及非接触式供电装置，用于在没有来自双侧永磁励磁同步电动机的任何机械接触的情况下接收电力，其中，所述双侧永磁励磁同步电动机由定子铁芯构成，所述定子铁芯在一侧形成有长气隙 ，定子电动机绕组在定子铁芯中引起运动磁场，定子变压器导线缠绕定子铁芯的两个侧面，以及沿着气隙纵向滑动的电动机导向器，并且其中非接触供电设备由 次级铁芯和次级铁芯缠绕次级铁芯。 本发明通过简单地将长铁芯安装在转轮的一部分上以及围绕长铁心和定子变压器的绕组线上来实现非接触式供电，因此，该非接触式供电方式降低了系统制造的成本并且提供了 非常干净的运输系统。

公开(公告)号：KR101416625B1

公开(公告)日：2014-07-08

申请号：KR1020120062344

申请日：2012-06-11

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 정성일 ,  김판겸 ,  권영우 ,  오현석 ,  전정우 ,  이지웅 ,  최찬규

IPC: B29C59/02 ,  B29C33/42

Abstract: 본 발명은 PDMS나 자외선 경화 수지를 사용하여 제조한 종래의 고분자 몰드가 가지는 문제점을 해결할 수 있는 새로운 재질의 고분자 몰드 및 그 제조 방법을 제공하는데 주된 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판에 전사하고자 할 나노 또는 마이크로 패턴이 형성된 마스터 몰드를 제공하는 공정; 상기 패턴이 형성된 마스터 몰드의 표면에 PVA 수용액을 도포한 후 경화시켜 PVA 몰드층을 형성하는 공정; 상기 PVA 몰드층에 접합층을 개재한 상태로 몰드 베이스층을 적층 형성하는 공정; 및 상기 마스터 몰드를 분리하여 PVA 몰드층 및 접합층, 몰드 베이스층으로 이루어진 일체의 고분자 몰드를 완성하는 공정;을 포함하는 미세 패턴 형성용 고분자 몰드의 제조 방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR101410743B1

公开(公告)日：2014-06-24

申请号：KR1020120142435

申请日：2012-12-10

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김판겸 ,  오현석 ,  정성일 ,  니키브로프 ,  김종문 ,  전정우

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/317 ,  H01L21/302

Abstract: 본 발명은 플라즈마 잠입 이온을 이용한 나노패턴 가공 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 가속 이온을 이용한 저온 플라즈마 잠입 이온으로 시편의 표면에 다양한 형태의 나노패턴을 형성하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
이에 본 발명은, 전기적으로 절연되며, 플라즈마가 채워지는 진공 챔버; 가공물이 놓여지는 부분으로서, 진공 챔버의 내부에 설치되어 가공물과 함께 회전가능한 받침대; 상기 가공물 및 받침대의 회전을 위한 회전수단; 전도성을 가지면서 가공물을 둘러싸서 가공물을 플라즈마로부터 분리시키며, 전기적으로 가공물과 연결되는 덮개; 적어도 상기 덮개의 한 면 이상에 회전가능하게 구비되고, 가공물의 표면을 따라 배치되는 슬롯;을 포함하며, 상기 슬롯을 회전시켜 형성하고자 하는 나노패턴의 형상에 따라 소정의 각도로 세팅함으로써, 플라즈마로부터 나온 이온이 슬롯을 통해 덮개와 가공물 사이의 공간으로 이끌리게 되어 가공물의 표면에 충돌하게 될 때, 상기 슬롯의 각도에 따라 가공물의 표면에 원하는 나노패턴을 형성할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 플라즈마 잠입 이온을 이용한 나노패턴 가공 장치를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020140074464A

公开(公告)日：2014-06-18

申请号：KR1020120142435

申请日：2012-12-10

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김판겸 ,  오현석 ,  정성일 ,  니키브로프 ,  김종문 ,  전정우

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/317 ,  H01L21/302

Abstract: The present invention relates to a device and a method for processing nanopatterns using plasma immersion ions and, more specifically, to a device and a method for forming nanopatterns of various types on the surface of a sample by low temperature plasma immersion ions by using acceleration ions. The device for processing nanopatterns using plasma immersion ions comprises: a vacuum chamber which is electrically insulated and is filled with plasma; a rack which is installed in the vacuum chamber to receive a processed article and is rotatable along with the processed article; a rotating means to rotate the processed article and the rack; a cover which has conductivity, covers the processed article to separate the processed article from the plasma, and is electrically connected to the processed article; and a slot which is included to be rotated in at least one or more surfaces of the cover and is arranged along the surface of the processed article. The desired nanopatterns are formed on the surface of the processed article according to an angle of the slot by rotating the slot to be set at a certain angle according to the shape of nanopatterns to be formed when the ions extracted from the plasma are led to the space between the cover and the processed article through the slot and the ions collide with the surface of the processed article.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用等离子体浸没离子处理纳米图案的装置和方法，更具体地涉及通过使用加速离子通过低温等离子体浸入离子在样品表面上形成各种类型的纳米图案的装置和方法 。 使用等离子体浸没离子处理纳米图案的装置包括：电绝缘并填充有等离子体的真空室; 安装在真空室中以容纳处理物品并与处理物品一起旋转的搁架; 用于旋转经处理的物品和搁架的旋转装置; 具有导电性的覆盖物覆盖加工制品以将处理的物品与等离子体分离，并与处理物品电连接; 以及包括在所述盖的至少一个或多个表面中旋转并沿着所述处理物品的表面布置的槽。 根据当从等离子体提取的离子被引导到所形成的纳米图案的形状时，根据槽的角度将所需的纳米图案的形状转换成一定角度，形成所需的纳米图案。 通过狭槽，盖子和被处理物品之间的空间和离子与处理物品的表面碰撞。

公开(公告)号：KR101264224B1

公开(公告)日：2013-05-14

申请号：KR1020100138525

申请日：2010-12-30

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 전정우 ,  오현석 ,  김종문 ,  김현택 ,  미티카카라이아니 ,  이창린 ,  정성일

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027

CPC classification number: H02K7/09 ,  H02K16/00 ,  H02K21/12 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/15 ,  H02K2201/18

Abstract: 본발명은원통형자기부상스테이지에관한것으로서, 원통의부상이이루어지는수직방향(상하방향), 직선이송방향이되는축방향, 그리고원통의회전방향과더불어, 원통단면상좌우방향이되는수평방향으로도원통의위치를정밀하게제어할수 있는원통형자기부상스테이지를제공하는데주된목적이있는것이다. 상기한목적을달성하기위해, 원통금형에일체로장착되고영구자석배열체를구비하여영구자석배열체와하기베이스부의전자석배열체간 상호작용에의한자기부상력, 자기회전력, 자기이송력에의해부상하여비접촉식으로회전및 직선이송이가능한원통이동부와; 전자석배열체를구비하고상기원통이동부의하측으로배치되어비접촉으로원통이동부를회전및 직선이송가능하게지지하는베이스부와; 상기원통이동부의측방으로배치되고전자석배열체를구비하여상기전자석배열체와원통이동부의영구자석배열체간 상호작용에의해발생하는수평이송력으로원통이동부및 원통금형의수평방향위치를제어하는수평자기부상보조부;를포함하여구성되는원통형자기부상스테이지가개시된다.

公开(公告)号：KR101243182B1

公开(公告)日：2013-03-14

申请号：KR1020100126316

申请日：2010-12-10

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김판겸 ,  오현석 ,  정성일 ,  김종문 ,  김현택 ,  전정우

IPC: B29C59/04 ,  B82B3/00

Abstract: 본 발명은 지문 상의 인체 분비물에 의하여 필름 표면이 오염되는 것을 방지하기 위하여 지문 생성을 억제하는 내지문 기능을 갖는 내지문 필름 및 이러한 내지문 필름의 제조 방법에 관한 것이다.
이와 관련하여, 본 발명에서는 인체 분비물이 필름의 기재의 표면에 머무르는 것을 저해할 수 있도록 간단한 제조 공정에 의하여 내지문 기능을 수행하기 위한 나노 패턴이 형성된 내지문 필름의 제조 방법 및 이러한 방법에 의하여 제조된 내지문 필름을 제공하고자 한다.
이를 위해, 본 발명에서는 내지문 필름의 제조 방법에 있어서, 나노 구조물이 형성된 원통형 금형을 이용하여 UV 임프린트 롤 투 롤 공정을 수행함에 따라, 필름 표면 상에 상기 나노 구조물에 대응되는 나노 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 패턴이 형성된 내지문 필름의 제조 방법을 제공한다.
또한, 본 발명에서는 이러한 나노 패턴이 형성된 내지문 필름의 제조 방법을 구현함에 있어서, 상기 원통형 금형은 진공 챔버 내에서 플라즈마 처리를 수행함에 따라 형성된 표면의 나노 구조물을 갖도록 구성하는 한편, 상기 UV 임프린트 롤 투 롤 공정에서는 필름 표면에 UV 경화성 수지를 도포한 다음, 원통형 금형에 밀착하여 나노 구조물을 전사시킨 후, UV를 조사하여 경화시키는 공정으로 구현함으로써 간단한 공정을 통하여 대량 생산이 가능한 내지문 필름의 제조 방법 및 이러한 방법을 통하여 제작된 나노 패턴이 형성된 내지문 필름을 제공한다.

公开(公告)号：KR101087583B1

公开(公告)日：2011-11-29

申请号：KR1020090117520

申请日：2009-12-01

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 김종문 ,  오현석 ,  김현택 ,  전정우 ,  정성일

IPC: H01L21/027

CPC classification number: H02K7/09 ,  G03F7/70716 ,  H02K21/12 ,  H02K41/031 ,  H02K2201/15 ,  H02K2201/18

Abstract: PURPOSE: An electromagnetic holder device for an exposing device is provided to improve processing performance by decreasing the length of a mover by removing the chuck part of a magnetic levitation stage mover. CONSTITUTION: A rotating side electromagnet holder(16) is arranged on the upper side of a rotating side mover(11). A rotating side mover includes a rotating side permanent magnet(10). The rotating side electromagnet holder is comprised of a core(14a) and a coil(15a). The rotating side electromagnet holder controls the current to lift the rotating side mover and the transferring side mover up and down. The rotating side electromagnet holder includes a bracket(18a) which connects a core to a transfer stage.

公开(公告)号：KR1020080049386A

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：KR1020060119873

申请日：2006-11-30

Applicant: 한국전기연구원

Inventor： 오현석 ,  전정우 ,  미티카카라이아니 ,  정연호 ,  강도현

IPC: G03F7/20

Abstract: A large area and high precision roll exposure apparatus is provided to manufacture a roll mold having a large area of several hundreds of millimeters and a line width of high precision of several decades of nanometers or less. A large area and high precision roll exposure apparatus comprises a rotation roll(10) which is arranged in horizontal direction; the first and second fixing chucks(11) which supports the both end parts of the rotation roll with placing the rotation roll between them; a roll support(13) which supports the fixing chucks and the rotation roll; a beam source(17) which irradiates beam in the direction perpendicular to the rotation roll; a roll rotation unit which is installed at the first and/or second fixing chucks to rotate the rotation roll; and a linear transfer part which supports the lower end part of the roll support and moves right and left the roll support linearly.

Abstract translation: 提供了一种大面积和高精度的辊式曝光装置来制造具有几百毫米的大面积和几十纳米或更小的高精度的线宽的辊模。 大面积，高精度的卷筒曝光装置包括沿水平方向布置的旋转辊（10） 第一和第二固定卡盘（11），其通过在其间放置旋转辊来支撑旋转辊的两个端部; 支撑固定卡盘和旋转辊的辊支撑件（13）; 沿垂直于旋转辊的方向照射光束的光束源（17）; 辊旋转单元，其安装在第一和/或第二固定卡盘处以旋转旋转辊; 以及线性传递部件，其支撑辊支撑件的下端部分，并且使辊支架线性地左右移动。