公开(公告)号：CN108666194A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810244900.9

申请日：2018-03-23

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 岩堀敏行

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/26

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  H01J37/261

Abstract: 本发明提供试样保持器具、部件安装用器具以及带电粒子束装置，其能够在确保用于在多个不同的带电粒子束装置之间移置试样的通用性的同时防止装置结构所需的费用增加。带电粒子束装置(10)具有：支架(13)，其可拆下地固定保持试样(S)的试样保持器具(12)；以及试样台(14)，其将支架(13)固定在试样室(11)的内部。试样保持器具(12)具有：试样保持部件，其保持试样(S)；支承台，其支承试样保持部件；以及夹具，其安装在支承台上配置有试样保持部件的位置。

公开(公告)号：CN104067368B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201280067960.9

申请日：2012-12-03

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 寺田尚平 ,  谷口佳史 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明的目的是提供一种能够配置多个试样台且至少一个试样台能够移动，并且能够利用聚焦离子束装置制作多个透射型电子显微镜用试样的电子显微镜用试样支架。在试样支架(1)的前端部设有支架前端开口部(9)。并且，在试样支架(1)的后端部具有按钮(5)、旋转机构(6)、粗调机构(7)以及连接器(8)。通过按压按钮(5)而使旋转机构(6)的固定被解除，从而从旋转机构(6)至后端部、以及试样支架的前端部进行旋转。利用本旋转机构，能够使利用透射型电子显微镜进行观察的情况和利用聚焦离子束装置制作透射型电子显微镜用试样的情况的试样的配置进行旋转。并且，能够利用粗调机构(7)及微调机构使试样台移动。

公开(公告)号：CN103718284B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201280037016.9

申请日：2012-06-29

Applicant: 松下知识产权经营株式会社

Inventor： 置田尚吾 ,  渡边彰三

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/18 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32724 ,  H01J2237/201 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: 干法蚀刻装置(1)具备搬运基板(5)的托架(3)。在托架(3)设有可收容(3)枚基板(5)的作为贯通孔的基板收容孔(4A～4C)。基板(5)被从基板收容孔(4A～4C)的孔壁突出的基板支撑部(11)支撑。在产生等离子体的腔室(2)内设有平台(21)。平台(21)具备基板载置部(27A～27C)，该基板载置部(27A～27C)从托架(3)的下面插入基板收容孔(4A～4C)、并且在作为其上端面的基板载置面(28)载置从基板支撑部(11)交付的基板(5)的下面。能够抑制装置的大型化同时，实现针对方形基板的高的形状控制性和良好的生产性。

公开(公告)号：CN102804328B

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201080028969.X

申请日：2010-06-18

Applicant: 特温克里克技术公司

Inventor： G.里丁 ,  T.H.斯米克 ,  K.珀泽 ,  J.D.吉莱斯皮 ,  H.格拉维什

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J37/317 ,  F16J15/00 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/082 ,  H01J2237/166 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2006 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/202

Abstract: 一种用于使硅从硅晶片剥落的氢离子植入器使用大的扫描轮(14)，所述扫描轮在其周缘周围承载50+个晶片并且绕着轴线旋转。在一个实施方式中，轮的旋转轴线固定，并且氢离子的带状束(101)在轮的周缘上指向下方。带状束在轮上的晶片的整个径向宽度上方延伸。束是由离子源(16)生成的，离子源提供具有至少100mm主截面直径的提取带状束。离子源可以使用无芯鞍形类型的线圈(112、112a-c)，以便提供约束离子源中的等离子体的均匀场。带状束可以穿过90度弯曲的磁体(17)，所述磁体在带状平面中弯曲所述束。

公开(公告)号：CN104049097A

公开(公告)日：2014-09-17

申请号：CN201410094387.1

申请日：2014-03-14

Applicant: FEI公司

Inventor： M.施米德特 ,  S.斯通 ,  C.塞诺维奇

IPC: G01N35/10

CPC classification number: H01J37/3023 ,  G01N1/286 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明公开了一种提取和处理多个样品用于S/TEM分析的改进的方法。本发明的优选实施例利用一种在堆叠形成中一次附接多个样品的显微操纵器和一种将每个样品放置到TEM栅格上的方法。通过使用一种允许加工多个样品的方法，样品制备的生产能力得到显著提高。

公开(公告)号：CN103890559A

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201280052945.7

申请日：2012-10-25

Applicant: FEI公司

Inventor： M.巴雷特 ,  M.D.史密斯 ,  M.格里克 ,  P.斯卡内蒂 ,  R.托维

IPC: G01N1/36 ,  G01N23/225

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N2223/307 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/2826

Abstract: 一种样品支座总成包括样品托盘、基板、样品台底座、以及安装到样品台底座上的校准用基准。基板的底部上的三个配合结构与附接到SEM的样品台上的样品台底座上的相应结构紧密配合。任选的接触导体在样品台底座与基板之间提供电接触从而使得电子束在样品上生成的电荷可以离开样品通过样品导电层到达样品托盘、基板、样品台底座、以及通过接地样品台。

公开(公告)号：CN103718284A

公开(公告)日：2014-04-09

申请号：CN201280037016.9

申请日：2012-06-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 置田尚吾 ,  渡边彰三

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/3065 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L31/18 ,  H01J37/32715 ,  H01J37/32724 ,  H01J2237/201 ,  H01L21/67069 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68785

Abstract: 干法蚀刻装置(1)具备搬运基板(5)的托架(3)。在托架(3)设有可收容(3)枚基板(5)的作为贯通孔的基板收容孔(4A～4C)。基板(5)被从基板收容孔(4A～4C)的孔壁突出的基板支撑部(11)支撑。在产生等离子体的腔室(2)内设有平台(21)。平台(21)具备基板载置部(27A～27C)，该基板载置部(27A～27C)从托架(3)的下面插入基板收容孔(4A～4C)、并且在作为其上端面的基板载置面(28)载置从基板支撑部(11)交付的基板(5)的下面。能够抑制装置的大型化同时，实现针对方形基板的高的形状控制性和良好的生产性。

公开(公告)号：CN101988874B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200910108864.4

申请日：2009-07-31

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 姜开利 ,  张丽娜 ,  张昊旭 ,  范守善

IPC: G01N1/28 ,  H01J9/00 ,  G01N23/04

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N1/38 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/31745

Abstract: 本发明涉及一种透射电镜试样制备方法，其包括以下步骤：将一定量待测纳米颗粒及一定量石墨烯片分散于一溶剂中，形成一待测样品分散液；提供一具有部分悬空设置的碳纳米管膜结构的透射电镜微栅；将该待测样品分散液浸润该透射电镜微栅的碳纳米管膜结构；以及干燥该待测样品分散液，从而形成一透射电镜试样。

公开(公告)号：WO2010014252A3

公开(公告)日：2010-04-01

申请号：PCT/US2009004426

申请日：2009-07-31

Applicant: OMNIPROBE INC ,  HAMMER MATTHEW ,  AMADOR GONZALO

Inventor： HAMMER MATTHEW ,  AMADOR GONZALO

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: A grid holder (100) for STEM analysis in a charged-particle instrument has a base jaw (120) and a pivoting jaw (130). Both jaws (120, 130) have a substantially congruent inclined portion (127, 135). The base jaw (120) has a flat portion (125) for mounting the holder on the sample carousel (220) of a charged-particle instrument, such as a dual beam FIB. The inclined portion of the jaws (127, 135) is inclined to the flat portion (125) of the holder (100) at an angle A approximately equal to the difference between 90 degrees and the angle between the electron beam (260) and the ion beam (240) in the charged-particle instrument. The inclined portion (127, 135) of the jaws (120, 130) has a pocket (200) for receiving and holding a sample grid (110). When a sample is mounted on the grid (110) and the grid (1 10) is held by the grid holder (100), the sample will be correctly oriented for ion-beam thinning when the sample carousel (220) is horizontal. The thinned sample may then be placed perpendicular to the electron beam (260) for STEM analysis by tilting the sample carousel (220) by the same angle A.

Abstract translation: 用于带电粒子仪器中的STEM分析的栅格支架（100）具有基部颚部（120）和枢转颚部（130）。 两个夹爪（120,130）都具有基本上一致的倾斜部分（127,135）。 基部夹爪（120）具有用于将保持器安装在带电粒子仪器（例如双光束FIB）的样本转盘（220）上的平坦部分（125）。 钳口（127,135）的倾斜部分以大约等于90度和电子束（260）与电子束（260）之间的角度之间的角度的角度A相对于保持器（100）的平坦部分 离子束（240）在带电粒子仪器中。 钳口（120,130）的倾斜部分（127,135）具有用于接收和保持样品格栅（110）的袋（200）。 当样品安装在格栅110上并且格栅110由格栅固定器100保持时，当样品转盘220水平时，样品将被正确地定向用于离子束变薄。 然后通过使样品转盘（220）倾斜相同的角度A，可以将变薄的样品垂直于用于STEM分析的电子束（260）放置。

公开(公告)号：WO2010014252A2

公开(公告)日：2010-02-04

申请号：PCT/US2009/004426

申请日：2009-07-31

Applicant: OMNIPROBE, INC. ,  HAMMER, Matthew ,  AMADOR, Gonzalo

Inventor： HAMMER, Matthew ,  AMADOR, Gonzalo

IPC: H01J37/20 ,  G01N1/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/201 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/206 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

Abstract: A grid holder (100) for STEM analysis in a charged-particle instrument has a base jaw (120) and a pivoting jaw (130). Both jaws (120, 130) have a substantially congruent inclined portion (127, 135). The base jaw (120) has a flat portion (125) for mounting the holder on the sample carousel (220) of a charged-particle instrument, such as a dual beam FIB. The inclined portion of the jaws (127, 135) is inclined to the flat portion (125) of the holder (100) at an angle A approximately equal to the difference between 90 degrees and the angle between the electron beam (260) and the ion beam (240) in the charged-particle instrument. The inclined portion (127, 135) of the jaws (120, 130) has a pocket (200) for receiving and holding a sample grid (110). When a sample is mounted on the grid (110) and the grid (1 10) is held by the grid holder (100), the sample will be correctly oriented for ion-beam thinning when the sample carousel (220) is horizontal. The thinned sample may then be placed perpendicular to the electron beam (260) for STEM analysis by tilting the sample carousel (220) by the same angle A.

Abstract translation: 用于带电粒子仪器中的STEM分析的栅格保持器（100）具有基底钳口（120）和枢转钳口（130）。 两个夹爪（120,130）具有基本上一致的倾斜部分（127,135）。 基座钳口（120）具有用于将支架安装在诸如双梁FIB的带电粒子仪器的样品转盘（220）上的平坦部分（125）。 夹爪（127,135）的倾斜部分以保持器（100）的平坦部分（125）的角度A倾斜约90度与电子束（260）和 离子束（240）在带电粒子仪器中。 夹爪（120,130）的倾斜部分（127,135）具有用于接收和保持样品网格（110）的口袋（200）。 当样品安装在栅格（110）上并且栅格（110）被栅格保持器（100）保持时，当样品转盘（220）是水平的时，样品将被正确定向以用于离子束变薄。 然后可以将样品转盘垂直于电子束（260）放置以进行STEM分析，将样品转盘（220）倾斜相同的角度A.