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公开(公告)号：JP6416809B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2016031701
申请日：2016-02-23
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： エルヴェ−ウィリアム レミジー
IPC: H01J37/20 , G01N23/2202 , G01N23/2204 , G01N1/28
CPC classification number: G01N1/2813 , G01N1/42 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/002 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/201 , H01J2237/208
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公开(公告)号：JP6400283B2
公开(公告)日：2018-10-03
申请号：JP2013214316
申请日：2013-10-15
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： ルボミール トウマ , ヨーゼフ セスターク
IPC: H01J37/244 , H01J37/141 , H01J37/20 , H01J37/317 , H01J37/28
CPC classification number: G21K5/08 , H01J37/1413 , H01J37/20 , H01J37/265 , H01J2237/1035 , H01J2237/1415 , H01J2237/2802 , H01J2237/2813
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公开(公告)号：JP6347594B2
公开(公告)日：2018-06-27
申请号：JP2013242518
申请日：2013-11-25
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： パベル ポトツェク , マルチヌス ペトルス マリア ビエルホフ , トマース ヴィスタベール , ルカース ドライブチャーク
CPC classification number: H04N7/18 , G01N23/2251 , H01J37/265 , H01J37/28
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公开(公告)号：JP2017212194A
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：JP2016246128
申请日：2016-12-20
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： ミッチェルズ,ジョン , シャンパーズ,ルート , ハロウゼク,ミハル , ガルデルカ,トマーシュ
IPC: H01J37/20
CPC classification number: H01J37/3405 , C23C14/35 , H01J37/06 , H01J37/08 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/32623 , H01J37/3464 , H01J2237/3137
Abstract: 【課題】現在利用可能なものよりも多くの用途に適用できる荷電粒子顕微鏡を提供する。 【解決手段】真空チャンバを含む荷電粒子顕微鏡であって、前記真空チャンバには、照射位置で被検査物を保持する試料ホルダと、荷電粒子ビームを生成し、それを前記被検査物に照射するために方向づける粒子光学カラムと、前記ビームによる照射に応答して前記被検査物から放出される放射流を検出器と、が設けられており、前記真空チャンバは、ターゲット材料のベーパー流を生成するためのマグネトロンスパッタ源を有する現位置マグネトロンスパッタ堆積モジュールを備え、ステージは、前記照射位置と前記堆積モジュールと別個の堆積位置との間で、前記被検査物の少なくとも一部を含む試料を移動するように構成されており、前記堆積モジュールは、前記堆積位置に保持されるときの前記試料上に前記ターゲット材料の層を堆積するように構成されている。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6239322B2
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：JP2013185068
申请日：2013-09-06
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： ペーター シタール , ペーター ラヴェンカ , ルボミール トウマ
IPC: H01J37/244 , H01J37/145 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/14 , H01J37/145 , H01J37/28 , H01J2237/1035 , H01J2237/24475 , H01J2237/24485 , H01J2237/248
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP6202870B2
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：JP2013087150
申请日：2013-04-18
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： コルネリス サンダー クージマン , ヘンドリック ヤン デ フォス
IPC: G01T1/24 , G01N23/225 , G01N23/223 , G01N23/04 , G01T1/36
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公开(公告)号：JP6192682B2
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：JP2015117931
申请日：2015-06-11
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： パベル ポトツェク , コーネリス サンダー コーユマン , ヘンドリック ニコラース スリンヘルランデ , ヘラルド ニコラース アンネ ファン フィーン , フェイサル ボウクホルベル
CPC classification number: H01J37/222 , G02B21/0048 , G02B21/008 , H01J37/226 , H01J37/28 , G02B21/0024 , H01J2237/226 , H01J2237/28 , H01J2237/2811
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公开(公告)号：JP6192618B2
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：JP2014160010
申请日：2014-08-06
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： ピーター クリスチャン ティエメイエール , スタン ヨハン ピーテル コーニングス , アレクサンデル ヘンストゥラ
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/147 , H01J37/22 , H01J37/26 , H01J37/263 , H01J2237/006 , H01J2237/2605 , H01J2237/262
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公开(公告)号：JP2017123320A
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：JP2016003067
申请日：2016-01-08
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： マルコ ヒューゴ ペトルス モアズ , アルバート ヴィッセル
IPC: H01J37/147 , H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/09
Abstract: 【課題】改善された撮像結果を得るための荷電粒子顕微鏡の使用方法を提供する。 【解決手段】荷電粒子顕微鏡を用いる方法は、試料ホルダH上に試料を供する段階、試料へ照射するようにビーム源から照射体を介するように荷電粒子ビームCを案内する段階、照射に応じて試料から放出される放射線束を検出するために検出器を用いる段階、を有する。特に、顕微鏡に気圧センサBを供する段階、気圧センサBからの圧力測定信号を自動制御装置へ供する段階、制御装置に制御処理への入力として信号を用いさせることで、信号に基づいてビームC及び試料ホルダHの相対的な位置の誤差を補償する段階、を有する。 【選択図】図4B
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公开(公告)号：JP6151395B2
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：JP2016031711
申请日：2016-02-23
Applicant: エフ イー アイ カンパニ , FEI COMPANY
Inventor： ヨハネス ヤコブ ランベルトス ムルダー , ペトルス ヒュベルタス フランシスカス トロンペナールス , プラウン ドナ
IPC: H01L21/285 , C23C16/455
CPC classification number: C23C14/221 , B05B1/005 , B05B1/14 , B05B7/24 , H01J37/30 , H01J2237/006 , H01J2237/31732 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
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