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公开(公告)号：KR1020150100088A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：KR1020140021441
申请日：2014-02-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L21/324 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/324 , H01L21/28008
Abstract: 본 발명은 산화물 반도체 형성방법을 제공한다. 이 산화물 반도체 형성방법은 반응기 내에 용매를 채우는 것, 상기 반응기에 산화물반도체막이 형성된 기판을 넣는 것, 및 상기 반응기를 가열하여 상기 산화물반도체막을 용매열처리하는 것을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种形成氧化物半导体的方法。 形成氧化物半导体的方法可以包括以下步骤：用溶剂填充反应器; 将具有氧化物半导体层的衬底插入反应器中; 并通过加热反应器对氧化物半导体层进行溶剂热处理。
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公开(公告)号：KR1020150089299A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：KR1020140009757
申请日：2014-01-27
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H01L27/088 , H01L27/092 , H01L27/105 , H01L29/786
CPC classification number: H01L27/1225 , H01L27/12 , H01L27/1214 , H01L27/1222 , H01L27/124 , H01L27/1259 , H01L27/127 , H01L27/14 , H01L27/14609 , H01L27/14689 , H01L27/32 , H01L27/3241 , H01L27/3244 , H01L29/66757
Abstract: 디스플레이소자, 그제조방법, 및이미지센서소자의제조방법이제공된다. 본발명의개념에따른디스플레이소자의제조는셀 어레이영역및 주변회로영역을갖는기판을제공하는것; 상기기판의주변회로영역상에실리콘층을형성하는것; 상기기판의상기셀 어레이영역및 상기주변회로영역상에금속산화물층들을각각형성하는것; 상기실리콘층들및 상기금속산화물층들상에각각게이트전극들을형성하되, 상기게이트전극들은상기실리콘층의양단및 상기각각의금속산화물층들의양단을노출시키는것; 그리고상기실리콘층의양단, 및상기금속산화물층들의양단에도펀트를동시에주입시키는것을포함할수 있다.
Abstract translation: 提供一种显示装置及其制造方法以及图像传感器装置的制造方法。 根据本发明的概念的显示装置的制造可以包括提供具有单元阵列区域和外围电路区域的基板; 在所述基板的外围电路区域上形成硅层; 分别在所述电池阵列区域和所述基板的外围电路区域上形成金属氧化物层; 在金属氧化物层和硅层上形成栅电极，并将栅电极暴露于硅层的两端和金属氧化物层的两端; 并且在金属氧化物层的两端和硅层的两端注入掺杂剂。
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公开(公告)号：KR1020150066852A
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：KR1020130152419
申请日：2013-12-09
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G09F9/30
CPC classification number: G02F1/133553 , G02F1/133555 , G02F2001/133541 , G02F2201/44
Abstract: 표시장치및 이를제조하는방법을제공한다. 표시장치는, 서로마주하는제1 캐소드전극및 제1 애노드전극과, 그들사이를충진하는액정층을포함하는반사형표시부와, 반사형표시부와이격되며, 서로마주하는제2 캐소드전극및 제2 애노드전극과, 그들사이에배치되는발광막을포함하는발광형표시부와, 반사형표시부및 상기발광형표시부사이에배치되고, 제1 및제2 애노드전극들과전기적으로연결되는박막트랜지스터를포함한다. 발광형표시부는제2 애노드전극및 발광막사이에서, 제2 애노드전극의일 측에배치되는뱅크(bank)를더 포함한다.
Abstract translation: 提供一种显示装置及其制造方法。 显示装置包括：第一阴极电极和第一阳极电极，其彼此面对，反射型显示部分，其包括填充在其间的液晶层，第二阴极电极和第二阳极电极，其与反射型显示器分离 其中，发光型显示部分包括布置在它们之间的发光层，以及薄膜晶体管，其布置在反射型显示部分和发光型显示部分之间并且电连接到第一和第二阳极 电极。 发光型显示部还包括布置在第二阳极电极的一侧上的第二阳极电极和发光层之间的堤。
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公开(公告)号：KR1020120061530A
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：KR1020100122868
申请日：2010-12-03
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01N21/6454 , G01N21/01 , G01N2021/0106
Abstract: PURPOSE: A biosensor chip and a reader thereof are provided to simplify manufacturing process and to reduce chip area. CONSTITUTION: A biosensor chip(100) comprises: unit cells which are connected to a plurality of word lines and bit lines and each comprises biosensors; a word line control circuit(110) for selecting one of word lines; and a bit line control circuit(120) for selecting one of bit lines. The word line control circuit and bit line control circuit are controlled by light source. The word line control circuit comprises a plurality of photo stitches connected to each word line. The photo switches transfers word line voltage to each word line in case of irradiating with light source.
Abstract translation: 目的：提供生物传感器芯片及其阅读器，以简化制造过程并减少芯片面积。 构成：生物传感器芯片（100）包括：连接到多条字线和位线的单元电池，每个单元包括生物传感器; 用于选择字线之一的字线控制电路（110）; 以及用于选择位线之一的位线控制电路（120）。 字线控制电路和位线控制电路由光源控制。 字线控制电路包括连接到每个字线的多个照片针迹。 在照射光源的情况下，照片开关将字线电压传送到每个字线。
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公开(公告)号：KR1020120060937A
公开(公告)日：2012-06-12
申请号：KR1020110008837
申请日：2011-01-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/414 , G01N27/26 , B82B3/00
CPC classification number: G01N33/54373 , G01N21/658 , G01N27/3278 , G01N27/414 , G01N27/4145 , G01N27/4146 , G01N33/53 , G01N33/54346 , G01N33/553 , G01N33/585 , G01N33/587 , B82B3/009 , G01N27/26
Abstract: PURPOSE: A microanalysis method and system using a filed effect transistor is provided to detect a small amount of materials through a simple process. CONSTITUTION: A microanalysis method comprises: a step of preparing a field effect transistor(FET) having a receptor molecule-fixed channel region; a step of supplying a test sample and nanoparticular conjugate to the FET to form the nanoparticular conjugate on the channel region; a step of growing a probe material on the channel region; and a step of measuring current in the channel region.
Abstract translation: 目的：提供一种使用场效应晶体管的微量分析方法和系统，以通过简单的过程检测少量的材料。 构成：微量分析方法包括：制备具有受体分子固定通道区域的场效应晶体管（FET）的步骤; 向所述FET供应测试样品和纳米颗粒缀合物以在所述通道区上形成所述纳米颗粒缀合物的步骤; 在通道区域上生长探针材料的步骤; 以及测量通道区域中的电流的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110034533A
公开(公告)日：2011-04-05
申请号：KR1020100024235
申请日：2010-03-18
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A biosensor and a manufacturing method thereof are provided to limit the flow of current using an insulating layer channel including a silicon nano dot instead of a silicon nano wire. CONSTITUTION: A biosensor(300) comprises a source(120), a drain(130), an insulating layer channel, and a probe molecule(160). The source and the drain are formed on the upper part of the substrate. The insulating layer channel is formed between the source and the drain. The insulating layer channel comprises a nano dot. The probe molecule is fixed to the insulating layer channel. The probe molecule reacts on target molecule injected from the outside. The probe molecule is fixed to the nano dot.
Abstract translation: 目的：提供生物传感器及其制造方法，以使用包含硅纳米点而不是硅纳米线的绝缘层通道来限制电流的流动。 构成：生物传感器（300）包括源（120），漏极（130），绝缘层通道和探针分子（160）。 源极和漏极形成在衬底的上部。 在源极和漏极之间形成绝缘层沟道。 绝缘层通道包括纳米点。 探针分子固定在绝缘层通道上。 探针分子与从外部注入的靶分子发生反应。 探针分子固定在纳米点上。
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公开(公告)号：KR1020100061604A
公开(公告)日：2010-06-08
申请号：KR1020080120189
申请日：2008-11-29
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: PURPOSE: A bio-sensor is provided to reduce production cost and to simply detect a target material without using a syringe pump. CONSTITUTION: A bio-sensor comprises: a sensor body for detecting a target material by interaction of the target material and sensing material; and a upper housing(110) providing a fluidic material containing the target material. The upper housing comprises: a filter(116) for filtering the filtered fluidic material; an inlet(114) of upper solution for providing the fluidic material by capillary phenomena; a flow channel(113) for providing flow of the fluidic material from the filter; an outlet(115) of upper solution for discharging the fluidic material; and a storing container(117) for storing the fluidic material through the outlet.
Abstract translation: 目的：提供生物传感器以降低生产成本，并且在不使用注射泵的情况下简单地检测目标材料。 构成：生物传感器包括：传感器体，用于通过目标材料和传感材料的相互作用来检测目标材料; 以及提供含有目标材料的流体材料的上壳体（110）。 上壳体包括：用于过滤流体过滤材料的过滤器（116）; 上部溶液的入口（114），用于通过毛细管现象提供流体材料; 用于从过滤器提供流体材料流动的流动通道（113） 用于排出流体材料的上部溶液的出口（115）; 以及用于通过出口存储流体材料的储存容器（117）。
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公开(公告)号：KR1020100038961A
公开(公告)日：2010-04-15
申请号：KR1020080098141
申请日：2008-10-07
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N33/53 , G01N33/48 , G01N27/26 , G01N27/327
CPC classification number: G01N27/4145 , G01N27/4146
Abstract: PURPOSE: An element for detecting a specific functional group in fluid is provided to widen surface are of a conductive cubic structure and to maximize voltage variation. CONSTITUTION: A detection element comprises a detection capacitor which contains a first and second electrodes and having the first electrode at the lower portion of reaction layer; and an electric field effect transistor containing a gate electrode(240). The second electrode is conductively connected to a source electrode of the electric field effect transistor and is formed with a higher conductive material than the electric field transistor substrate(200). The electric field transistor comprises a source/drain electrode(220), gate insulating layer(230), and gate electrode.
Abstract translation: 目的：提供用于检测流体中特定官能团的元件，以使表面具有导电立方结构并使电压变化最大化。 构成：检测元件包括检测电容器，其包含第一电极和第二电极，并且在反应层的下部具有第一电极; 和含有栅电极（240）的电场效应晶体管。 第二电极导电地连接到电场效应晶体管的源极，并且形成有比电场晶体管衬底（200）更高的导电材料。 电场晶体管包括源极/漏极（220），栅极绝缘层（230）和栅电极。
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公开(公告)号：KR100943707B1
公开(公告)日：2010-02-23
申请号：KR1020070100350
申请日：2007-10-05
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01J49/4205 , B81B7/0025 , B81B2201/0214 , B81B2201/0271 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G01N2291/0257 , H01J49/0018 , H01L29/0673 , H01L29/7613 , H01L29/775 , H03H2009/02314
Abstract: 본 발명은 3차원 나노 구조물을 이용한 3차원 나노 소자에 관한 것으로, 본 3차원 나노 소자는 기판 상부에 부양된 진동부와 상기 진동부의 길이 방향의 양단부를 지지하는 지지부를 구비하는 하나이상의 나노 구조물; 상기 나노 구조물의 지지부를 지지하기 위해 상기 기판 상에 형성되는 지지대; 상기 나노 구조물의 진동부 하부에 상기 나노 구조물과 교차되도록 형성되어 상기 나노 구조물을 제어하는 하나이상의 제어부; 및 상기 진동부 상에 형성되어 외부에서 유입 및 흡착되는 물질을 감지하는 감지부를 포함한다.
이에 따라, 일반적인 평면 구조에서 나노 소자와 기판 사이에 발생하는 불순물 형성을 줄일 수 있으며, 평면 구조에서 발생하지 않는 기계적 떨림 현상을 형성 시킬 수 있다. 특히, 3차원 나노구조물을 형성함으로써 기계적 전기적 특성을 가지게 하여 나노 전기적 기계특성(nanomechanical system; nems)으로부터 새로운 형태의 나노 구조물을 포함한 3차원 나노 소자를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 평면 구조에서 형성하기 어려웠던 단전자 소자, 스핀 소자, 단전자 소자와 전계효과 트랜지스터와의 결합 등을 용이하게 형성할 수 있다.
3차원 나노 구조물, 진동부, 질량 분석 소자, 전자 소자-
公开(公告)号：KR100906154B1
公开(公告)日：2009-07-03
申请号：KR1020070125679
申请日：2007-12-05
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L29/0665 , B82Y10/00 , B82Y15/00 , H01L29/0673 , H01L29/78696
Abstract: 본 발명은 바이오 센서 소자의 제조 방법에 관한 것으로, 통상적인 포토리소그래피 공정을 이용하여 수 내지 수십 나노미터 선폭의 실리콘 나노선 채널을 형성하고 이를 이용하여 반도체 나노선 센서 소자를 제작하는 방법을 제공한다.
이를 위하여, 본 발명의 일실시 예에 따른 반도체 나노선 센서 소자 제조 방법은, (a) SOI(Silicon On Insulator) 기판의 최상부층인 제 1 도전형 단결정 실리콘층을 식각하여 제 1 도전형 단결정 실리콘 선 패턴을 형성하는 단계; (b) 상기 제 1 도전형 단결정 실리콘 선 패턴의 양쪽 측벽을 상기 제 1 도전형과 반대 타입인 제 2 도전형으로 도핑함으로써 제 2 도전형 채널을 형성하는 단계; (c) 상기 제 1 도전형 단결정 실리콘 선 패턴의 양단에 전극 형성을 위한 제 2 도전형 패드를 형성하는 단계; (d) 상기 제 1 도전형 단결정 실리콘 선 패턴의 미도핑 영역에 상기 제 1 도전형 단결정 실리콘 선 패턴과 상기 2 도전형 채널부가 접합 절연되도록 역방향 바이어스 전압을 인가하기 위한 제 1 전극을 형성하는 단계; 및 (e) 상기 제 2 도전형 패드 상에 상기 제 2 도전형 채널 양단에 바이어스 전압을 인가하기 위한 제 2 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
나노선, 바이오 센서, 포토리소그래피
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