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公开(公告)号：CN101042977B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200610060018.6
申请日：2006-03-22
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J37/073 , H01J37/26 , H01J2201/30411 , H01J2201/30434 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管场发射电子源，其包括：一导电基体、一碳纳米管和一导电金属层，该导电基体具有一锥形顶部，该碳纳米管一端通过范德华力附着于导电基体顶部的表面，另一端沿该导电基体顶部向外延伸，该导电金属层形成于该碳纳米管表面与该导电基体顶部表面。本发明还涉及上述碳纳米管场发射电子源的制造方法。
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公开(公告)号：CN102064074A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN201010550058.5
申请日：2010-11-18
Applicant: FEI公司
Inventor： A·亨斯特拉
IPC: H01J37/153
CPC classification number: H01J37/153 , H01J37/26 , H01J2237/1534 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于粒子光学透镜的轴向像差的校正器。市售高分辨率透射电子显微镜（HR-TEM）和扫描透射电子显微镜（HR-STEM）现在装配有用于校正所谓的物镜的轴向球面像差Cs的校正器。不可避免地，其它像差变成限制性的像差。对于也称为Rose校正器的六极型校正器或其变体而言，由校正器引入的也称为A5的六重轴向像散和也称为D6的第六阶三叶像差被已知变成限制性的像差。本发明表明，通过在六极之间的交叉点上添加弱六极（126），可以制成无A5或D6的类似于Rose的校正器或类似于Crewe的校正器，或者通过添加弱六极和十二极两者，可以制成无A5和D6两者的校正器。
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公开(公告)号：CN101243531A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200680029989.2
申请日：2006-08-18
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/147
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/063 , H01J2237/06375 , H01J2237/1205 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及一种有效改变产生电子束的电子柱中的电子束的能量的方法。该方法包括以下步骤：向电极额外地施加电压，使得所述电子束最终具有所期望的能量，从而当所述电子束到达样本时，能够自由地控制所述能量。
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公开(公告)号：CN101042977A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200610060018.6
申请日：2006-03-22
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
CPC classification number: H01J1/3044 , H01J37/073 , H01J37/26 , H01J2201/30411 , H01J2201/30434 , H01J2201/30469 , H01J2237/06341 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及一种碳纳米管场发射电子源，其包括：一导电基体、一碳纳米管和一导电金属层，该导电基体具有一顶部，该碳纳米管一端与该导电基体顶部电性连接，另一端沿该导电基体顶部向外延伸，该导电金属层形成于该碳纳米管表面与该导电基体顶部表面。本发明还涉及上述碳纳米管场发射电子源的制造方法。
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公开(公告)号：CN108335961A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034839.5
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
CPC classification number: H01J37/20 , G01N1/286 , G01N2001/2873 , H01J37/28 , H01J37/285 , H01J37/3056 , H01J2237/208 , H01J2237/221 , H01J2237/28 , H01J2237/31745 , H01J2237/31749 , H01J37/3007
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105261544B
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201510403896.2
申请日：2015-07-10
Applicant: FEI 公司
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817 , H01J2237/2826
Abstract: 一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，显微镜能够被操作于：非扫描模式，在此模式，射束相对较粗并且检测器在不调用扫描装置的情况下形成图像；或扫描模式，在此模式，所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像，方法包括下面的步骤：在标本支架上提供校准标本；在非扫描模式下，使用成像系统的给定配置，使用所述检测器形成校准标本的校准图像；使用所述校准标本的已知尺度并且将它与所述校准图像中的对应尺度进行比较以校准所述检测器的视场的特性尺度；在扫描模式下，在所述检测器的经校准的视场中记录所述射束的射束图案，并且检查所记录的射束图案以获得其几何方面。
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公开(公告)号：CN104040677B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201280066028.4
申请日：2012-12-25
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: H01J37/305 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/3053 , C23C8/40 , C23C14/505 , C23C16/4586 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J2237/002 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/28 , H01J2237/3151 , H01J2237/31749
Abstract: 本发明的目的在于提供利用比较简单的结构来实现试料或试料台的冷却的带电粒子线照射装置。作为达到上述目的的一方案，带电粒子线照射装置具备带电粒子源、试料台、及具有传递用于使该试料台移动的驱动力的传递机构的驱动机构，其中，该带电粒子线照射装置具有配置于真空室内且能收容离子液体(12)的容器，该容器设置于在收容有所述离子液体(12)时使所述传递机构的至少一部分浸渍于离子液体(12)中的位置。
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公开(公告)号：CN102914554B
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201210274899.7
申请日：2012-08-03
Applicant: FEI公司
Inventor： S.J.P.科宁斯 , S.库贾瓦 , P.H.F.特龙佩纳尔斯
CPC classification number: G01Q30/12 , B82Y35/00 , H01J37/20 , H01J37/26 , H01J2237/2001 , H01J2237/2002 , H01J2237/2003 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及在环境透射电子显微镜（ETEM）中的活性气氛中研究样品的方法。这样的研究被用于研究样品与气体的反应（化学的或物理的）。特别所关心的是气体和催化剂的化学反应，以及例如源自在固体上生长的气相的晶须的生长的物理变化（相变）。现有技术研究涉及将所述样品引入到ETEM的样品室内的侧面进入样品支持器上、将所述样品加热到所需的温度、等待所述样品安定到无漂移位置并且随后将所述样品暴露于经加热的活性气体的例如10 mbar的压力。因为所述样品支持器的温度分布随气体的温度和压力而变，当将所述样品支持器暴露于所述气体时，所述样品支持器之上的温度分布将轻微地改变，作为其结果，所述样品将漂移。为了避免所述漂移，或者至少最小化所述漂移，本发明涉及在将所述惰性气体交换为所述活性气体之前在所期望的温度下暴露到惰性气体。本发明也可应用于光学显微镜、X-射线显微镜或扫描探测显微镜。
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公开(公告)号：CN102543638B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201110462520.0
申请日：2011-11-03
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/222 , G02B21/367 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J2237/047 , H01J2237/22 , H01J2237/221 , H01J2237/225 , H01J2237/2482 , H01J2237/28
Abstract: 本发明提供操作带电粒子显微镜的方法以及显微镜系统。该方法包括：使用第一设置下的带电粒子显微镜记录物体的第一区域的第一图像；使用第二设置下的带电粒子显微镜记录物体的第二区域的第二图像；第二设置与第一设置在用于成像的一次带电粒子的动能、探测器设置、一次带电粒子的束电流和测量室内的压强中的至少一个上不同；读取物体的第三区域的第三图像，第一和第二区域至少部分地包含在第三区域中；显示第三图像的至少一部分；在第三图像中至少部分地显示第一图像的图示，第一图像的图示包括指示第一设置的第一指示体；在第三图像中至少部分地显示第二图像的图示，第二图像的图示包括指示第二设置的第二指示体，第二指示体不同于第一指示体。
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公开(公告)号：CN105261544A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510403896.2
申请日：2015-07-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J2237/28 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817 , H01J2237/2826
Abstract: 一种校准扫描透射带电粒子显微镜的方法，显微镜能够被操作于：非扫描模式，在此模式，射束相对较粗并且检测器在不调用扫描装置的情况下形成图像；或扫描模式，在此模式，所述射束相对较细并且所述检测器积累作为所述射束的扫描位置的函数的图像，方法包括下面的步骤：在标本支架上提供校准标本；在非扫描模式下，使用成像系统的给定配置，使用所述检测器形成校准标本的校准图像；使用所述校准标本的已知尺度并且将它与所述校准图像中的对应尺度进行比较以校准所述检测器的视场的特性尺度；在扫描模式下，在所述检测器的经校准的视场中记录所述射束的射束图案，并且检查所记录的射束图案以获得其几何方面。
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