公开(公告)号：CN106531591A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610881946.2

申请日：2016-10-09

Applicant: 上海空间推进研究所

Inventor： 乔彩霞 ,  康小录 ,  薛伟华 ,  杭观荣 ,  张岩 ,  余水淋 ,  梁爽

IPC: H01J3/02

CPC classification number: H01J3/025 ,  H01J3/027

Abstract: 本发明公开了一种大电流多通道金属空心阴极，包括阴极管、多根金属发射体和气路接口，阴极管为细长的难熔金属管，一端平行排列多根难熔金属发射体，金属发射体之间、金属发射体与阴极管内壁之间的表面相切，阴极管另一端与气路接口气密性焊接连接。本发明采用多根低逸出功高电子发射能力的金属棒材或管材，形成多发射通道，在有限尺寸条件下增大发射面积，提高了发射电流能力，无需外部加热器，内部通入一定流量的气体工质，外部施加一定的高电压，可直接点火发射100～500A的电子电流；单位面积的发射电流密度不超过10A/cm2，从而大大降低发射体表面温度和材料烧蚀率，有利于延长空心阴极和推力器的寿命。

公开(公告)号：CN103620726A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201280029981.1

申请日：2012-06-27

Applicant: 利乐拉瓦尔集团及财务有限公司

Inventor： 沃纳·哈格 ,  多米尼克·克罗埃塔 ,  乌尔斯·霍斯泰特勒 ,  本诺·齐格利戈 ,  托妮·瓦贝尔

IPC: H01J33/02 ,  H01J3/02 ,  H01J7/18 ,  G21K5/04 ,  A61L2/08

CPC classification number: H01J7/18 ,  A61L2/087 ,  H01J3/027 ,  H01J7/186 ,  H01J9/24 ,  H01J33/02

Abstract: 本发明涉及具有设置有出射窗的主体的电子束装置，所述主体形成或至少部分地形成真空室，所述真空室包括在其中的阴极外壳（112）和至少一个电子产生丝状体（120）。至少一种吸气器片（124）布置在阴极外壳（112）和所述丝状体（120）之间。本发明还包括用于在电子束装置中的吸气器片（124），以及制造包括该至少一个吸气器片的电子束装置的方法。

公开(公告)号：CN103426708A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310176238.5

申请日：2013-05-14

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山田修嗣

IPC: H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J9/00

CPC classification number: H01J1/02 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J1/46 ,  H01J3/027 ,  H01J3/18 ,  H01J9/02 ,  H01J9/14 ,  H01J37/12 ,  H01J37/317 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/032 ,  H01J2237/1205

Abstract: 本发明涉及静电透镜的电极及其制造方法。提供一种用于静电透镜的电极，其中，该电极至少包含：具有第一贯通孔的第一基板和具有第二贯通孔的第二基板；第一基板具有比第二基板小的厚度；第一贯通孔具有比第二贯通孔小的直径，第二基板具有比第一基板小的电阻率，其中，第一基板和第二基板被叠置，使得第一贯通孔和第二贯通孔相互对准。可以减少在干蚀刻处理中在贯通孔中的任一个附近出现的开槽，由此可以精确地形成贯通孔。

公开(公告)号：CN101499391A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200810066038.3

申请日：2008-02-01

Applicant: 清华大学 ,  鸿富锦精密工业(深圳)有限公司

Inventor： 肖林 ,  刘亮 ,  姜开利 ,  范守善

IPC: H01J1/46 ,  H01J1/48 ,  H01J1/13 ,  H01J1/30 ,  H01J29/02 ,  H01J31/12

CPC classification number: H01J31/127 ,  H01J3/021 ,  H01J3/027 ,  H01J29/467 ,  H01J2203/0232 ,  H01J2329/463

Abstract: 一种电子发射装置，包括一阴极装置及一栅极，该栅极与该阴极装置间隔设置并与该阴极装置电绝缘，其中，所述栅极为一碳纳米管层。一种采用上述电子发射装置的显示装置，包括一阴极装置，一与阴极装置相对设置的阳极装置，一栅极设置在该阴极装置与该栅极装置之间，并与该阴极装置和该阳极装置间隔，其中，所述栅极包括一碳纳米管层。

公开(公告)号：WO2016191542A1

公开(公告)日：2016-12-01

申请号：PCT/US2016/034297

申请日：2016-05-26

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： SCHULTZ, William ,  DELGADO, Gildardo ,  ROSE, Garry

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J3/027 ,  H01J7/18 ,  H01J37/065 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/182

Abstract: An electron extractor of an electron source capable of absorbing contaminant materials from a cavity proximate to the extractor is disclosed. The electron extractor includes a body. The body of the electron extractor is formed from one or more non-evaporable getter materials. The one or more non-evaporable getter materials absorb one or more contaminants contained within a region proximate to the body of the electron extractor. The body of the electron extractor is further configured to extract electrons from one or more emitters posited proximate to the body of the electron extractor.

Abstract translation: 公开了能够从靠近提取器的空腔吸收污染物质的电子源的电子提取器。 电子提取器包括一个主体。 电子提取器的主体由一种或多种不可蒸发的吸气剂材料形成。 所述一种或多种不可蒸发的吸气剂材料吸收包含在靠近电子提取器主体的区域内的一种或多种污染物。 电子提取器的主体还被配置为从靠近电子提取器的主体定位的一个或多个发射器提取电子。

公开(公告)号：WO2015101538A4

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：PCT/EP2014078995

申请日：2014-12-22

Applicant: MAPPER LITHOGRAPHY IP BV

Inventor： DINU-GÜRTLER LAURA ,  HOGERVORST ERIC PETRUS

IPC: H01J3/02 ,  H01J1/28 ,  H01J1/46 ,  H01J37/07

CPC classification number: H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

Abstract: The invention relates to a cathode arrangement (20) comprising: • - a thermionic cathode comprising an emission portion (30) provided with an emission surface for emitting electrons, and a reservoir (38) for holding a material, wherein the material, when heated, releases work function lowering particles that diffuse towards the emission portion and emanate at the emission surface at a first evaporation rate; • - a focusing electrode (40) comprising a focusing surface for focusing the electrons emitted from the emission surface of the cathode; and • - an adjustable heat source (50) configured for keeping the focusing surface at a temperature at which accumulation of work function lowering particles on the focusing surface is prevented.

Abstract translation: 本发明涉及一种阴极装置（20），包括： - 一个热离子阴极，包括一个设有发射电子的发射表面的发射部分（30）和一个用于保持材料的储存器（38），其中该材料在被加热时 释放功能降低颗粒，其朝向发射部分扩散并以第一蒸发速率发射在发射表面; •聚焦电极（40），包括用于聚焦从阴极的发射表面发射的电子的聚焦表面; 和 - 可调热源（50），其被配置用于将聚焦表面保持在降低聚焦表面上的颗粒的功函数累积的温度。

公开(公告)号：WO2012014370A1

公开(公告)日：2012-02-02

申请号：PCT/JP2011/003394

申请日：2011-06-15

Applicant: 株式会社 日立ハイテクノロジーズ ,  渡辺 俊一 ,  大西 崇 ,  金田 実 ,  村越 久弥

Inventor： 渡辺　俊一 ,  大西　崇 ,  金田　実 ,  村越　久弥

IPC: H01J37/065 ,  H01J37/07

CPC classification number: H01J29/484 ,  H01J3/02 ,  H01J3/027 ,  H01J3/40 ,  H01J29/488 ,  H01J37/026 ,  H01J37/073 ,  H01J37/248 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/06341 ,  H01J2237/0802

Abstract: 　導電性碍子を使用する加速管において、表面のドーパント濃度が不均一となるため、導電性碍子の表面抵抗が不均一になることがあるが、この場合でも、内面垂直方向の電位分布を円周方向によらず一定に保つことが課題である。　導電性碍子加速管の内面に円周状の溝を数段設け、溝の内部に沿って金属をメタライズする。加速管表面の特定の部分の抵抗が周囲と違う場合でも、加速管内面のメタライズ領域の電位は一定になるので、加速管内面の垂直方向電位分布を、円周方向によらずほぼ同一に保つことができる。この結果、中心軸上を通過する電子線に横方向の力が働かないとともに、電位勾配もほぼ一定に保つことができ収差を小さくすることが可能である。

Abstract translation: 在使用导电绝缘体的加速管中，表面上的掺杂剂密度变得不均匀，这可能使导电绝缘体的表面电阻不均匀。 本发明的问题在于，即使在这种情况下，也可以在垂直方向上保持内表面上的电位分布不受圆周方向的影响。 在导电性绝缘子加速管的内表面上设置有多个圆形槽，沿着槽的内侧金属化。 由于加速管的内表面的特定部分的电阻与周围表面不同，因此加速管的内表面上的金属化区域的电位是均匀的，因此垂直方向上的电位分布 加速管的内表面可以保持在大致相同的电位而不考虑圆周方向。 结果，没有作用在通过中心轴的电子束上的水平力，电位梯度也保持几乎恒定，并且可以实现像差减小。

公开(公告)号：WO2011096875A1

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：PCT/SE2011/050103

申请日：2011-02-01

Applicant: TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A. ,  LINNÉ, Ulrika ,  ÅBERG, Andreas ,  HOSTETTLER, Urs

Inventor： LINNÉ, Ulrika ,  ÅBERG, Andreas ,  HOSTETTLER, Urs

IPC: H01J33/04 ,  G21K5/04 ,  H01J5/18

CPC classification number: H01J33/04 ,  B65B55/08 ,  G21K5/02 ,  H01J3/027 ,  H01J5/18 ,  H01J33/00 ,  H01J33/02 ,  H01J2237/00 ,  H01J2237/164 ,  Y10T29/49002

Abstract: The present invention refers to an assembly of a support plate (22) and an exit window foil (20) for use in an electron beam device, said support plate (22) being designed to reduce wrinkles in said foil (20), which wrinkles may arise due to surplus foil arising in the assembly process. The foil (20) is being bonded to the support plate (22) along a closed bonding line (26) bounding a substantially circular area in which the support plate (22) is provided with apertures and foil support portions and in which area the foil is adapted to serve as a portion of a wall of a vacuum tight housing of the electron beam device. The invention also refers to a method for using the assembly in a filling machine, as well as a method of reducing wrinkles.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于电子束装置的支撑板（22）和出口窗帘（20）的组件，所述支撑板（22）设计成减少所述箔（20）中的皱纹，所述皱纹 可能由于在组装过程中产生的剩余箔而产生。 箔（20）沿着包围基本上圆形的区域的封闭结合线（26）结合到支撑板（22），其中支撑板（22）设置有孔和箔支撑部分，并且在该区域中箔 适于充当电子束装置的真空密封壳体的壁的一部分。 本发明还涉及一种在灌装机中使用组件的方法以及减少皱纹的方法。

公开(公告)号：WO2016201391A1

公开(公告)日：2016-12-15

申请号：PCT/US2016/037112

申请日：2016-06-12

Applicant: ALTAIR TECHNOLOGIES, INC.

Inventor： ALLEN, Curtis, G. ,  FERRARI, Christopher, P. ,  MITCHELL, Adam, J.

IPC: H01J29/58 ,  H01J29/70 ,  H01J29/56

CPC classification number: H01J29/485 ,  H01J3/027 ,  H01J23/06 ,  H01J29/04 ,  H01J29/484 ,  H01J29/488 ,  H01J29/56 ,  H01J29/58

Abstract: The present invention generally relates to systems and methods for generating controllable beam of electrons using a hollow-cathode triode electron gun that substantially mitigate impact of back-streaming electrons. In one embodiment, a triode hollow-cathode electron gun is configured to provide electrons and substantially mitigates the impact of back- streaming electrons. The triode hollow-cathode electron gun includes a hollow cathode, a heating filament, an anode, a control grid, a shadow grid and a sleeve mechanically coupled to the hollow-cathode. The sleeve is substantially centered on the axis of the triode hollow- cathode electron gun and configured to maintain shape and trajectory of emitted beams of electrons.

Abstract translation: 本发明一般涉及使用中空 - 阴极三极管电子枪产生可控的电子束的系统和方法，其基本上减轻了反向流动电子的影响。 在一个实施例中，三极管中空阴极电子枪被配置为提供电子并且基本上减轻了逆流电子的影响。 三极管中空阴极电子枪包括中空阴极，加热丝，阳极，控制栅格，阴影栅格和机械耦合到中空阴极的套管。 套管基本上位于三极管空心阴极电子枪的轴线上，并被配置为保持发射的电子束的形状和轨迹。

公开(公告)号：WO2010040453A1

公开(公告)日：2010-04-15

申请号：PCT/EP2009/006941

申请日：2009-09-25

Applicant: TETRA LAVAL HOLDINGS & FINANCE S.A. ,  CLOETTA, Dominique ,  HAAG, Werner ,  HOLM, Kurt

Inventor： CLOETTA, Dominique ,  HAAG, Werner ,  HOLM, Kurt

IPC: G21K5/04 ,  H01J3/02 ,  B65B55/08 ,  H01J33/00

CPC classification number: G21K5/04 ,  A61L2/087 ,  A61L2202/11 ,  B65B55/08 ,  H01J3/027 ,  H01J33/02

Abstract: An electron beam sterilizing device comprises; an electron-generating filament (110), a grid (114a-b) connected to a voltage source, a beam shaper (128), and an output window (118). A high voltage source generates a high voltage potential between the electron-generating filament and the output window, for acceleration of electrons. The usability of the device is enhanced in that the electron-generating filament and/or the grid electrode comprises at least two operational portions for variation of the current and form of an output electron beam.

Abstract translation: 电子束消毒装置包括： 电子发生灯丝（110），连接到电压源的电网（114a-b），光束整形器（128）和输出窗口（118）。 高电压源在电子发生丝和输出窗之间产生高电压电位，用于加速电子。 增强了器件的可用性，因为电子发生丝和/或栅格电极包括用于变化电流和形式的输出电子束的至少两个操作部分。