公开(公告)号：CN111707250A

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：CN202010493576.1

申请日：2020-06-03

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 刘飞 ,  刘晓智 ,  王汝弢 ,  张菁华 ,  盛洁 ,  苏翼 ,  王登顺 ,  王永胜

IPC: G01C19/5607 ,  G01C19/5621 ,  F16F15/04 ,  F16F15/02

Abstract: 本发明涉及一种石英音叉陀螺减振装置，石英音叉(103)、组合梁(301)、膜状结构(302)以及管壳(303)。组合梁(301)包含四个呈空间S形分布弹性梁(311)，外侧与膜状结构(302)固定，内侧与石英音叉中心锚点(104)相连，膜状结构(302)的下部为用于提供稳定封闭环境的管壳(303)。膜状结构(302)整体呈长方形，在与驱动叉指(105)和所述检测叉指(106)对应处开有豁口(320)。在不增大体积的条件下，能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，抑制应力。

公开(公告)号：CN107063224B

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201611139815.3

申请日：2016-12-12

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  杨军 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  窦茂莲 ,  苏翼 ,  夏春晓 ,  刘韧 ,  王登顺 ,  崔健 ,  林梦娜 ,  刘凯

IPC: G01C19/5691 ,  G01C19/56 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，涉及一种微半球陀螺，具体涉及一种SOI微半球陀螺敏感结构，该结构包括中心半球谐振子、环形电极、电极绝缘层、离散电极和底座；中心半球谐振子为中心对称结构，包括半球壳体和底部支撑柱；底部支撑柱设置在半球壳体正下方，并与底座固定连接；环形电极和离散电极设置在中心半球谐振子的外侧圆周，并与中心半球谐振子之间形成间隙，环形电极设置在离散电极上，并与离散电极之间通过电极绝缘层实现隔离，离散电极设置在底座上；中心半球谐振子的半球壳体上部自由端至少与环形电极上端面保持齐平。本发明可实现角度(速率积分)工作模式，该工作模式避免了角速率的积分误差等环节，可确保高线性度和大动态测量范围。

公开(公告)号：CN106153026B

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201510144495.X

申请日：2015-03-30

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  杨军 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  崔健 ,  王登顺 ,  林梦娜

IPC: G01C19/5621

Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体涉及一种微机电陀螺。一种音叉型微机电陀螺，其中，包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分，在布局上呈左右对称布置，并且左部分或右部分呈上下对称布置，左部分或右部分均包括驱动部分、检测部分、驱动检测转接部分和双质量块耦合部分。本发明的效果是：能够抑制耦合误差，减小能量损失、获取高灵敏度，解决无耦合和低耦合引起的相差、频差难题，提高陀螺的环境适应能力。

公开(公告)号：CN109781097A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201711128909.5

申请日：2017-11-15

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  苏翼 ,  夏春晓 ,  王登顺 ,  刘凯 ,  崔健 ,  林梦娜

IPC: G01C21/16 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明属于定位导航授时(PNT)领域，具体涉及一种集成化微PNT单元；包括中心微时钟模块和外侧微惯性模块；中心微时钟模块的锚点位于中心，锚点的外部分布有若干圆环，圆环与圆环之间均匀分布有径向短梁，外电极分布在最外围，工作时，通过静电力作用和闭环反馈实现稳定控制，对外提供稳定的频率信息；微惯性模块的环形锚点位于中心，圆环位于外侧，圆环与环形锚点之间均匀分布有组合梁，圆环的内、外侧均匀分布有平面外电极和平面内电极、圆环上下表面分布有离面电极，实现X、Y、Z三轴向加速度输入和X、Y、Z三轴向角运动输入的敏感。本发明整体可通过MEMS平面工艺实现，不涉及微观层面的多层堆叠和精密组装，实现工艺较为简单。

公开(公告)号：CN105712283A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201410720844.3

申请日：2014-12-02

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨军 ,  郭中洋 ,  刘飞 ,  王登顺 ,  盛洁 ,  胡兴雷 ,  窦茂莲

IPC: B81B7/00

Abstract: 本发明属于封装领域，具体涉及一种LCC封装应力释放结构。一种LCC封装应力释放结构，包括与芯片外形匹配的应力释放结构，应力释放结构上设置锚点和支撑点，锚点和支撑点之间通过连接梁连接。本发明的效果是：1)在不改变原有LCC壳体材料、增大工艺成本的前提下，通过应力释放结构能够有效降低因材料热膨胀系数不匹配导致的热应力。2)在不显著增大体积的前提下，通过位于LCC壳体内部的应力释放结构能够有效隔离和衰减外界振动、冲击等力学输入，降低机械应力、防护芯片，提升系统的力学环境适应性。

公开(公告)号：CN105424020A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510727774.9

申请日：2015-10-30

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 郭中洋 ,  杨军 ,  刘飞 ,  盛洁 ,  窦茂莲 ,  胡兴雷 ,  崔健 ,  林梦娜 ,  刘凯

IPC: G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5747

Abstract: 本发明属于敏感结构，具体涉及一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构。一种带解耦功能的音叉型微机电陀螺敏感结构，呈左右对称分布，左右半边主体结构均由驱动框、驱动检测转接框、检测框三框组成，其中驱动框设置在最外侧，检测框在最内侧，驱动检测转接框设置在中间，左右半边主体通过驱动框和驱动检测转接框连接为一个整体；驱动检测转接框上设有正交耦合误差抑制结构。本发明的效果是：本发明采用对称式三框设计，即驱动框、驱动检测转接框、检测框，同时采用单自由度梁连接各框，进而限定各框和质量块的运动自由度，实现了驱动与检测之间的双向解耦，能够在很大程度上抑制耦合误差。

公开(公告)号：CN221124778U

公开(公告)日：2024-06-11

申请号：CN202322563891.9

申请日：2023-09-20

Applicant: 北京自动化控制设备研究所

Inventor： 杨亚杰 ,  刘飞 ,  姚远 ,  李陈征 ,  张菁华 ,  王汝弢 ,  王永胜

IPC: G01R31/28

Abstract: 本实用新型提供一种用于芯片中测的四自由度装置，该装置包括机架、十字运动平台、升降平台、微动转台、芯片固定模块、探针固定模块以及摄像模块，所述十字运动平台设置在所述机架上，用于实现待测芯片在XY方向平移运动；所述升降平台设置在所述十字运动平台上，用于实现待测芯片在Z向的平移升降运动；所述微动转台设置在所述升降平台上，用于实现待测芯片绕Z方向旋转运动；所述芯片固定模块设置在所述微动转台上，用于存放整个待测芯片；所述探针固定模块固定在所述机架上，用于固定探针测试电路；所述摄像模块固定在所述机架上，用于待测芯片的图像识别。该技术方案实现了敏感芯片的快速对准，大大提升了敏感结构缺陷的识别效率。