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公开(公告)号：KR101860019B1
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：KR1020150107955
申请日：2015-07-30
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: B32B37/025 , B05C3/09 , B05C3/10 , B05C3/109 , B05D1/206 , B32B37/0046 , B32B2264/108 , C01B32/184
Abstract: 일실시예에따른그래핀습식전사장치는둘 이상의수조를포함하는수조본체와, 수조의상부에위치되며, 격벽들에의해형성된하나이상의분리공간을포함하는격벽구조물, 및격벽구조물의하부에위치되며, 그래핀이전사되는타겟기판을수용하는하나이상의기판수용홈이형성된기판틀을포함할수 있다. 여기서, 수조의각각에는습식전사공정을위한용액이채워지고, 분리공간의각각에는그래핀의각각이용액에부유된상태로서로분리되어위치될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170130773A
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：KR1020160061398
申请日：2016-05-19
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: A61B5/0476 , A61B5/0488 , A61B5/00 , A61B5/024 , A61B5/0444
Abstract: 실시예들은임산부의뇌파신호를측정하는 EEG 측정부, 임산부의복부에부착되어, 임산부의자궁수축도를측정하는 EMG(Electromyography) 측정부, 및상기임산부의뇌파신호및 자궁수축도를기초로진단정보를생성하는진단정보처리부를포함하는 EEG 및 EMG 신호에기반한자궁수축도검사장치및 이를이용한검사방법에관련된다.
Abstract translation: 实施例EEG测量单元，用于测量孕妇的脑电波信号，连接到孕妇，EMG的腹部用于测量子宫收缩也孕妇（肌电图）测量单元，和脑电波信号的诊断，以及基于所述孕妇的子宫收缩程度 基于包括生成所述信息也涉及到使用相同的检查装置和检查方法的诊断过程EEG和EMG信号子宫收缩。
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公开(公告)号：KR101766376B1
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020150164611
申请日：2015-11-24
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 가스센싱장치는, 입력된가스에반응하여센서데이터를출력하도록구성된센서부; 하나이상의단일가스에대해상기센서부에서출력된센서데이터인제1 벡터를포함하는데이터베이스가저장된저장부; 및상기데이터베이스에기초하여, 하나이상의혼합가스에대응되는제2 벡터를포함하는확장데이터베이스를생성하고, 상기센서부의대상가스에대한센서데이터를상기확장데이터베이스와비교함으로써상기대상가스를검지하도록구성된검지부를포함한다. 상기가스센싱장치에의하면, 단일가스에대한데이터베이스만으로단일가스와혼합가스를모두인지하고분류할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170036891A
公开(公告)日：2017-04-04
申请号：KR1020150134860
申请日：2015-09-23
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N21/3581
CPC classification number: G01N21/3581 , G01N33/0098 , G01N33/02
Abstract: 본발명은테라헤르츠전자기파를이용한 (농약등의) 잔류량측정방법및 장치에관한것으로, 더욱상세하게는테라헤르츠전자기파영역에서작동하는메타부를가지는센싱칩을사용하여과일등의대상물체에분포하는미량의농약을매우높은민감도와선택성을가지고검출할수 있고, 특히측정대상농약의양에따라센싱칩을통과또는반사되어측정되는광의투과율또는주파수변화의증가폭의과소를기준으로대상농약의잔류량을판단하는정량분석에도이용할수 있는테라헤르츠전자기파를이용한고민감도잔류량검출방법및 이에사용되는디바이스에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是一个非常小的量使用利用太赫兹电磁波剩余量和装置，并且更具体地，感测芯片具有涉及一种测量方法（如农用化学品），其部分间的电磁波区域内工作分布在对象的太赫兹，如果 农药基于该非常高的灵敏度，并且可以与选择性，在特定的生长速率的光或频率变化的透射率下测量的是根据本主题农药的用于确定目标的农药的剩余量的量通过或反射到感测芯片中检测 苦恼使用的THz电磁波也可以用于定量分析灵敏度剩余量检测方法，以及其中使用的设备。
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公开(公告)号：KR101721976B1
公开(公告)日：2017-03-31
申请号：KR1020150143882
申请日：2015-10-15
Applicant: 서울시립대학교 산학협력단 , 한국과학기술연구원
IPC: G01N21/3581 , F25B21/02 , H01L23/38
Abstract: 본발명은샘플과접촉하여테라헤르츠전자기파의선택적민감도를높일수 있고, 샘플과의접촉여부를용이하게확인할수 있어서샘플에대한보다정확한측정을가능하게하고, 샘플에대한국소적냉각을통하여검출민감도를높일수 있고테라헤르츠전자기파의반사를이용하여측정하므로장치크기를최소화할수 있고샘플의크기의제한을최소화하는테라헤르츠검출장치에관한것이다.본발명에따르면테라헤르츠전자기파를출력하는테라헤르츠출력부; 샘플이배치되고, 상기테라헤르츠전자기파를상기샘플로진행시키고상기샘플로부터반사되는테라헤르츠전자기파를진행시키는샘플접촉구조체; 및상기샘플로부터상기샘플접촉구조체를통하여반사된테라헤르츠전자기파를검출하는테라헤르츠검출부;를포함하되, 상기샘플접촉구조체는, 기판; 상기기판상에부착되고, 테라헤르츠전자기파가민감하게반응하도록그 폭과길이및 깊이가결정된개구를포함하는민감도강화층; 및상기기판의전면또는후면에배치되고상기민감도강화층과샘플의접촉여부를감지하는접촉감지부를포함하는것이고, 상기테라헤르츠출력부로부터출력된상기테라헤르츠전자기파는상기기판및 상기개구를통하여상기샘플로진행하고, 상기샘플로부터반사되는상기테라헤르츠전자기파는상기개구및 상기기판을통하여상기테라헤르츠검출부로진행하는것인테라헤르츠검출장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明是在与样品nopilsu太赫兹电磁波的选择性灵敏度接触，可以容易地确定样本是否接触，并启用精确测量比对样品，通过样品的局部冷却的检测灵敏度 。nopilsu和太赫兹测量，所以最小化通过使用电磁波的反射装置的尺寸，并涉及一种太赫兹检测器，用于最小化样品的太赫兹输出单元的大小的限制，用于输出在根据本发明的太赫兹电磁波; 其中放置样本的样本接触结构，样本接触结构将太赫电磁波推进到样本并且推进来自样本的反射太赫兹电磁波; 以及太赫兹检测器，用于检测从所述样本反射穿过所述样本接触结构的太赫兹电磁波，所述样本接触结构包括：衬底; 一个附着在基片上的灵敏度增强层，该灵敏度增强层包括一个其宽度，长度和深度被确定为使得太赫兹电磁波敏感地起反应的孔; 并通过前或放置在背面，并且是包括触摸感测以检测接触是否在灵敏度增强层和所述样品，其中所述太赫兹电磁波是所述基板和所述开口是从所述基板的所述太赫兹输出输出在其上 并且从样本反射的太赫兹电磁波穿过开口和衬底到达太赫兹检测部分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101542333B1
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：KR1020140191162
申请日：2014-12-26
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H05G2/00
Abstract: 본발명은다중가스셀모듈을이용한극자외선빔 생성장치에관한것으로, 버퍼챔버의역할을하는보조가스셀을주 가스셀옆에추가하여진공챔버내에가스가직접유출되는것을막아서가스의확산속도를늦추어, 고진공을유지할수 있게함으로써보다고출력의연속적인극자외선(Extreme Ultra-Violet, EUV) 빔을생성할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用多气体单元模块产生极紫外光束的装置。 用作缓冲室的副气室放置在主气体单元旁边，以防止气体从真空室直接流出并降低气体的扩散速度。 因此，可以保持高真空状态，并且能够连续生成具有高功率的极紫外（EUV）。
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公开(公告)号：KR101528332B1
公开(公告)日：2015-06-15
申请号：KR1020140002963
申请日：2014-01-09
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G01J3/0297 , G01J3/28 , G03F7/70516 , G03F7/70575 , G03F7/70616
Abstract: 본발명은극자외선발생및 분광기캘리브레이션장치및 그방법에관한것으로, 극자외선노광기술, 마스크검사기술에이용되는극자외선광의스펙트럼의파장을정확하게측정할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于极紫外线发生和光谱仪校准的装置和方法，并且具有精确测量在极紫外曝光技术中使用的极紫外光的光谱波长和掩模检查技术的优点。 用于极紫外线生成和光谱仪校准的装置包括：用于产生极紫外光的装置; 极紫外线发生模块; 和极紫外光谱仪校准装置。
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公开(公告)号：KR1020200132578A
公开(公告)日：2020-11-25
申请号：KR1020190058324
申请日：2019-05-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G01N33/543 , G01N33/68 , G01N27/327
Abstract: 본발명은그래핀기반전극을이용한수용체의특성을분석하는방법에관한것으로, 구체적으로 i) 수용체를포함하는베지클을제조하는단계; ii) 그래핀기반전극표면에지질이중층을형성하는단계; 및 iii) 순환전압전류법으로측정하는단계;를포함하는것인수용체의감응성을측정하는방법, 및특정자극에대한반응성을나타낼것으로예상되는수용체후보군을스크리닝하는방법에관한것이다. 본발명은자극에대한수용체의반응을실시간으로확인할수 있으며, 샘플의손상없이다수의샘플을동시에, 간단하게실험할수 있으므로, 다양한수용체들의자극에대한반응과신호전달메커니즘을밝히고, 인공적으로제조한수용체의성능을파악하고분석하는데유용하게이용될수 있다.
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