公开(公告)号：JP2010118361A

公开(公告)日：2010-05-27

申请号：JP2010042672

申请日：2010-02-26

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： ZHOU FAN ,  FROSIEN JUERGEN

IPC: H01J37/073 ,  H01J37/04 ,  H01J37/09 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J2237/045 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/15

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle device and a method using a charged particle emitter having a discontinuous emission pattern. SOLUTION: The invention relates to the charged particle beam device and method. The device includes the emitter 102 having the emission pattern with at least two emission peaks, gun lenses 119, 519, 919 and a diaphragm 120. The gun lens includes a deflector unit 110. The deflector unit directs at least one of the two emission peaks to an opening in the diaphragm thereby to select the emission peak of the emission peaks from at least two emission patterns. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供带电粒子装置和使用具有不连续发射图案的带电粒子发射器的方法。 解决方案：本发明涉及带电粒子束装置和方法。 该装置包括具有至少两个发射峰的发射图案的发射器102，枪形透镜119,519,919和隔膜120.枪形透镜包括偏转器单元110.偏转器单元引导两个发射峰中的至少一个 到所述隔膜中的开口，从而从至少两个发射图案中选择发射峰的发射峰。 版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2007035644A

公开(公告)日：2007-02-08

申请号：JP2006227160

申请日：2006-07-27

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： PILZ WOLFGANG ,  BISCHOFF LOTHAR

IPC: H01J27/26 ,  H01J9/02 ,  H01J37/08 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J2237/0805 ,  H01J2237/31749

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved emitter suitable for a liquid metal ion source or a liquid alloy ion source.
SOLUTION: An emitter (100) for a liquid metal ion source is provided, the emitter comprising a wire (110), the wire comprising: a substantially curved portion (115) and a surface (120); wherein at least a portion (125) of the wire surface (120) is tapered at the substantially curved portion (115) to form an emitter tip. Furthermore, a manufacturing method for such an emitter is provided.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种适用于液态金属离子源或液体合金离子源的改进的发射极。 解决方案：提供了一种用于液体金属离子源的发射器​​（100），发射器包括线（110），该线包括：大致弯曲部分（115）和表面（120）; 其中所述线表面（120）的至少一部分（125）在所述基本弯曲部分（115）处是锥形的，以形成发射极尖端。 此外，提供了这种发射极的制造方法。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2007027136A

公开(公告)日：2007-02-01

申请号：JP2006216231

申请日：2006-07-11

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  イツェーテー インテグレイテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フュール ハルブライタープリュッフテヒニク ミット ベシュレンクテル ハフツング

Inventor： SALVESEN CARLO ,  DEGENHARDT RALF

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/141

CPC classification number: H01J37/153 ,  H01J37/1413 ,  H01J37/145 ,  H01J2237/10 ,  H01J2237/1508 ,  Y10T29/4902

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic field generating element and a plurality of multipole elements including the electromagnetic field generating element. SOLUTION: The electromagnetic field generating element 1 comprises a magnetic pole piece 10, a yoke 12 on which the magnetic pole piece 10 is mounted, at least one coil 20, a vacuum sealed container 21 storing at least one coil 20, and holders 40, 23 holding the vacuum sealed container 21 so that the vacuum sealed container 21 is separated from the magnetic pole piece 10 and the yoke 12. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供包括电磁场产生元件的电磁场产生元件和多个多极元件。 解决方案：电磁场产生元件1包括磁极片10，安装有磁极片10的磁轭12，至少一个线圈20，存储至少一个线圈20的真空密封容器21和 保持器40,23保持真空密封容器21，使得真空密封容器21与磁极片10和轭12分离。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2006261111A

公开(公告)日：2006-09-28

申请号：JP2006056845

申请日：2006-03-02

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN ,  LANIO STEFAN

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  G01R31/305 ,  H01J37/244 ,  H01J49/488 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/26

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an analysis system having an improved detection system and a charged particle beam device equipped with the system.
SOLUTION: The analysis system analyzing charged particle beams (2) includes: a divider (16) dividing the charged particle beams (2) into low-energy beams (18) and highenergy beams (19) in correspondence with their particle energy; a front detector (17) to detect the high-energy beams (19); and at least one back detector (15) to detect the low-energy beams (18). The divider is arranged between the front detector and at least one back detector, and the front detector (17) and/or at least one back detector (15) are divided into segments.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种具有改进的检测系统和装备有该系统的带电粒子束装置的分析系统。 解决方案：分析带电粒子束（2）的分析系统包括：将带电粒子束（2）分成低能束（18）和高能束（19）的分配器（16），与其粒子能量相对应 ; 用于检测高能束（19）的前检测器（17）; 和至少一个用于检测低能量束（18）的反向检测器（15）。 分配器布置在前检测器和至少一个后检测器之间，并且前检测器（17）和/或至少一个后检测器（15）被分成段。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2005276819A

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：JP2005042780

申请日：2005-02-18

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： ADAMEC PAVEL

IPC: G01Q70/10 ,  H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/1471 ,  H01J37/141 ,  H01J37/28

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an objective lens improved for a charged particle beam device.
SOLUTION: The objective lens includes a magnetic lens for generating a first magnetic field to focus a charged particle beam on a sample. In addition, a deflector is integrally formed with the magnetic lens by providing at least one additional coil device for generating a second magnetic field used to deflect the charged particle beam. Thus, the second magnetic field is guided through at least one of pole pieces of the magnetic lens.
COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种改进的带电粒子束装置的物镜。 解决方案：物镜包括用于产生第一磁场以将带电粒子束聚焦在样品上的磁透镜。 此外，通过提供至少一个用于产生用于偏转带电粒子束的第二磁场的附加线圈装置，偏转器与磁性透镜一体地形成。 因此，第二磁场被引导通过磁性透镜的至少一个极片。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：JP2014183045A

公开(公告)日：2014-09-29

申请号：JP2014048344

申请日：2014-03-12

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： ADAMEC PAVEL

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J1/304 ,  H01J37/063 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3174 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/06325

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron beam source device reducing an interaction between emitted electrons.SOLUTION: An electron beam source device 200 comprises a cold field or heat support type cold field emitter tip 201, an aperture opening 203, a suppressor electrode 204 and an extractor electrode 202 extracting an electron beam. An opening angle 102 of an electron beam is determined to be 2° or below the aperture angle being defined by a width of the aperture opening 203 and a distance ranged from 0.1 mm to 2 mm between the emitter tip 201 and the extractor electrode 202. The emitter tip 201 protrudes through the suppressor electrode 204.

Abstract translation: 要解决的问题：提供减少发射电子之间的相互作用的电子束源装置。解决方案：电子束源装置200包括冷场或热支持型冷场发射器尖端201，孔径开口203，抑制电极204 以及提取电极202的提取电极202。 电子束的开放角度102被确定为由开口203的宽度限定的孔径角为2°或者在发射极顶端201和提取器电极202之间的距离为0.1mm至2mm的距离。 发射极尖端201突出通过抑制电极204。

公开(公告)号：JP2014082211A

公开(公告)日：2014-05-08

申请号：JP2013214365

申请日：2013-10-15

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： ALEKSANDRA KRAMER ,  LANIO STEFAN DR

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/04

CPC classification number: G21K1/093 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/28

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To compensate for the mechanical, magnetic and/or electrostatic error of a scanning charged particle beam device.SOLUTION: A method of compensating for the mechanical, magnetic and/or electrostatic error of a scanning charged particle beam device includes an alignment procedure. In the alignment procedure, next step for compensating four-fold astigmatism by an element having at least 8 pole compensation capability is performed. In the alignment and compensation step of the alignment procedure, beam dimension of at least 50 μm is directed in two orthogonal directions, and acts on a charged particle beam while being aligned coaxially with the element having at least 8 pole compensation capability.

Abstract translation: 要解决的问题：为了补偿扫描带电粒子束装置的机械，磁和/或静电误差。解决方案：补偿扫描带电粒子束装置的机械，磁和/或静电误差的方法包括： 对齐程序。 在对准过程中，执行用于通过具有至少8极补偿能力的元件来补偿四折像散的下一步骤。 在对准过程的对准和补偿步骤中，至少50μm的光束尺寸指向两个正交方向，并且在与具有至少8极补偿能力的元件同轴对准的同时作用于带电粒子束。

公开(公告)号：JP2011238612A

公开(公告)日：2011-11-24

申请号：JP2011102799

申请日：2011-05-02

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： STEFAN LANIO ,  GERALD SCHOENECKER

IPC: H01J37/153 ,  H01J37/29

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/1471 ,  H01J37/153 ,  H01J2237/1523 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/244

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron beam apparatus with high electron beam intensity in order to achieve a high throughput in a desired signal-to-noise ratio.SOLUTION: An electron beam apparatus 100 comprises: a beam emitter 102 to emit a primary electron beam 101; an objective electron lens 125 to focus the primary electron beam 101 on a sample 130 and to define an optical axis 126; a beam separator 115 having a primary dispersion in order to separate a signal electron beam 135 from the primary electron beam 101; and dispersion compensation elements (104, 204). The dispersion compensation element 104 having a secondary dispersion is suitable for adjusting the secondary dispersion independently from the tilt angle of the primary beam 101 located downstream of the dispersion compensation element 104 so that the secondary dispersion fully compensates the primary dispersion, and is located upstream of the beam separator 115 along the primary electron beam 101.

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供具有高电子束强度的电子束装置，以便以期望的信噪比实现高吞吐量。 解决方案：电子束装置100包括：发射一次电子束101的射束发射器102; 将一次电子束101聚焦在样品130上并限定光轴126的物镜电子透镜125; 具有初级色散以便将信号电子束135与一次电子束101分离的光束分离器115; 和色散补偿元件（104,204）。 具有二次色散的色散补偿元件104适于独立于位于色散补偿元件104下游的主光束101的倾斜角独立地调节二次色散，使得二次色散完全补偿初级色散，并且位于 光束分离器115沿着初级电子束101。（C）2012，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2009016354A

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：JP2008175893

申请日：2008-07-04

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： WINKLER DIETER ,  JASINSKI THOMAS ,  WEIGEL UDO

IPC: H01J27/26 ,  H01J37/08

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/26 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/03 ,  H01J2237/0807

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas field ion source in which a maintenance work can be done easily.
SOLUTION: The gas field ion source containing a light emitting module is provided with a light emitting body holder, a light emitting structural body, an electric connection assembly to be connected with the light emitting module in a free removal, and a gas supply connection assembly to be connected with the light emitting module in free removal. The gas field ion source contains a supply module as well, and the supply module contains a conductive body for supplying a voltage and/or a current, a gas supplying conduit tube, a thermo-conductor, an electric connection assembly to be connected with the supply module in a free removal, and a gas supply connection assembly to be connected with the supply module in free removal. The light emitting module and the supply module can be connected in free removal by the connection assembly to be connected with the light emitting module in free removal and by the connection assembly to be connected with the supply module in free removal.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供可以容易地进行维护工作的气体离子源。 解决方案：包含发光模块的气体离子源设置有发光体保持器，发光结构体，在自由移除中与发光模块连接的电连接组件，以及气体 供电连接组件与发光模块连接，可自由拆卸。 气体离子源还包括供应模块，并且供应模块包含用于提供电压和/或电流的导电体，气体供应导管，热导体，与 供应模块，以及与供应模块连接的气体供应连接组件，可自由拆卸。 发光模块和供电模块可以通过连接组件自由移除，以便与自由移除的发光模块连接，并且可以通过连接组件自由移除，以在自由移除的情况下与供应模块连接。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

公开(公告)号：JP2006278329A

公开(公告)日：2006-10-12

申请号：JP2006075452

申请日：2006-03-17

Applicant: Ict Integrated Circuit Testing Ges Fuer Halbleiterprueftechnik Mbh ,  アイシーティー インテグレーテッド サーキット テスティング ゲゼルシャフト フィーア ハルプライタープリーフテヒニック エム ベー ハー

Inventor： FROSIEN JUERGEN

IPC: H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  H01J37/28 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2538 ,  H01J2237/28

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a charged particle beam device with a detecting method improved.
SOLUTION: The charged particle beam device is equipped with a charged particle source (1) providing a primary charged particle beam, a first unit (5) providing a potential, a second unit (7) providing a potential, and a central unit (6) positioned between the first unit (5) and the second unit (7). The central unit slows down primary charged particles to first low energy, and can provide a different potential from the first and the second unit potentials to accelerate the primary charged particles to second high energy. The first unit (5) and/or the second unit (7) are detectors to detect secondary electrons emitted from a sample (4).
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种改进的检测方法的带电粒子束装置。 带电粒子束装置配备有提供初级带电粒子束的带电粒子源（1），提供电势的第一单元（5）和提供电位的第二单元（7），以及中心 单元（6）位于第一单元（5）和第二单元（7）之间。 中央单元将初级带电粒子减慢到第一低能量，并且可以提供与第一和第二单位电位不同的电位，以将初级带电粒子加速到第二高能量。 第一单元（5）和/或第二单元（7）是检测从样品（4）发射的二次电子的检测器。 版权所有（C）2007，JPO＆INPIT