公开(公告)号：NL2009902A

公开(公告)日：2013-07-01

申请号：NL2009902

申请日：2012-11-29

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BUTLER HANS ,  BLEEKER ARNO ,  HENNUS PIETER ,  HOEKS MARTINUS ,  HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  SCHOOT HARMEN ,  SLAGHEKKE BERNARDUS ,  TINNEMANS PATRICIUS ,  WIJST MARC ,  ZAAL KOEN ,  CADEE THEODORUS PETRUS MARIA ,  BEERENS RUUD ,  FISCHER OLOF ,  AANGENENT WOUTER ,  BOSCH NIELS JOHANNES MARIA

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010804A

公开(公告)日：2014-01-14

申请号：NL2010804

申请日：2013-05-15

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BOON FIDELUS ,  HOL SVEN ANTOIN JOHAN ,  FISCHER OLOF

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683