公开(公告)号：NL2009555A

公开(公告)日：2013-04-08

申请号：NL2009555

申请日：2012-10-02

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： NGUYEN THANH ,  FINDERS JOZEF ,  KETELAARS WILHELMUS ,  WUISTER SANDER ,  HEIJDEN EDDY ,  MEESSEN HIERONYMUS ,  KOOLE ROELOF ,  PEETERS EMIEL ,  HEESCH CHRIS ,  BRIZARD AURELIE ,  BOOTS HENRI ,  DRUZHININA TAMARA ,  RUITER JESSICA

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2011228A

公开(公告)日：2014-02-10

申请号：NL2011228

申请日：2013-07-26

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： FINDERS JOZEF ,  WUISTER SANDER ,  PEETERS EMIEL ,  BOOTS HENRI ,  DRUZHININA TAMARA ,  HEESCH CHRIS ,  HEIJDEN EDDY

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2004897A

公开(公告)日：2010-12-27

申请号：NL2004897

申请日：2010-06-16

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： QUAEDACKERS JOHANNES ,  HINNEN PAUL ,  HEIJDEN EDDY ,  ROOY MICHEL ,  LEEWIS CHRISTIAN

IPC: G01N21/47 ,  G03F7/20 ,  H01L23/544