公开(公告)号：NL2008980A

公开(公告)日：2013-01-14

申请号：NL2008980

申请日：2012-06-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： CORTIE ROGIER ,  KATE NICOLAAS ,  ROSET NIEK ,  RIEPEN MICHEL ,  CASTELIJNS HENRICUS ,  ROPS CORNELIUS ,  OVERKAMP JIM

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010762A

公开(公告)日：2013-12-02

申请号：NL2010762

申请日：2013-05-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LAURENT THIBAULT ,  BLOKS RUUD ,  CORTIE ROGIER ,  HOUBEN MARTIJN ,  JACOBS JOHANNES ,  LAFARRE RAYMOND ,  LEMPENS HAN ,  OVERKAMP JIM ,  PIETERSE GERBEN ,  POLET THEODORUS ,  SIMONS WILHELMUS ,  STEFFENS KOEN ,  TROMP SIEGFRIED ,  VY VAN VUONG

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683