公开(公告)号：NL2009139A

公开(公告)日：2013-02-06

申请号：NL2009139

申请日：2012-07-06

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BESSEMS DAVID ,  EUMMELEN ERIK ,  RIEPEN MICHEL ,  CORTIE ROGIER ,  BAETEN HENS ,  ROPS CORNELIUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2007182A

公开(公告)日：2012-02-27

申请号：NL2007182

申请日：2011-07-26

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WILLEMS PAUL ,  KATE NICOLAAS ,  KOELINK STEPHAN ,  KRAMER PIETER ,  KUIJPER ANTHONIE ,  ZDRAVKOV ALEXANDER ,  CORTIE ROGIER

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2010762A

公开(公告)日：2013-12-02

申请号：NL2010762

申请日：2013-05-07

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LAURENT THIBAULT ,  BLOKS RUUD ,  CORTIE ROGIER ,  HOUBEN MARTIJN ,  JACOBS JOHANNES ,  LAFARRE RAYMOND ,  LEMPENS HAN ,  OVERKAMP JIM ,  PIETERSE GERBEN ,  POLET THEODORUS ,  SIMONS WILHELMUS ,  STEFFENS KOEN ,  TROMP SIEGFRIED ,  VY VAN VUONG

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

公开(公告)号：NL2007453A

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：NL2007453

申请日：2011-09-21

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： BESSEMS DAVID ,  CORTIE ROGIER ,  ZANDEN MARCUS ,  ROPS CORNELIUS ,  WILLEMS PAUL ,  EUMMELEN ERIK ,  WINKEL JIMMY

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2006615A

公开(公告)日：2011-11-14

申请号：NL2006615

申请日：2011-04-18

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： CORTIE ROGIER ,  RIEPEN MICHEL ,  CORNELISSEN ROB

IPC: G03F7/20

Abstract: A fluid handling structure for a lithographic apparatus is disclosed. The fluid handling structure has, on an undersurface, a liquid supply opening or a plurality of liquid supply openings and a liquid extraction opening or a plurality of liquid extraction openings arranged such that, in use, liquid is provided on and removed from the undersurface of the fluid handling structure.

公开(公告)号：NL2008980A

公开(公告)日：2013-01-14

申请号：NL2008980

申请日：2012-06-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： CORTIE ROGIER ,  KATE NICOLAAS ,  ROSET NIEK ,  RIEPEN MICHEL ,  CASTELIJNS HENRICUS ,  ROPS CORNELIUS ,  OVERKAMP JIM

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2008979A

公开(公告)日：2013-01-14

申请号：NL2008979

申请日：2012-06-12

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： CORTIE ROGIER ,  RIEPEN MICHEL ,  ROPS CORNELIUS

IPC: G03F7/20

公开(公告)号：NL2006076A

公开(公告)日：2011-09-06

申请号：NL2006076

申请日：2011-01-27

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： LAFARRE RAYMOND ,  RIEPEN MICHEL ,  CORTIE ROGIER ,  MEIJERS RALPH ,  EVANGELISTA FABRIZIO

IPC: G03F7/20