公开(公告)号：JP2014212353A

公开(公告)日：2014-11-13

申请号：JP2014165443

申请日：2014-08-15

Applicant: エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. ,  Asml Netherlands Bv ,  エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

Inventor： ROOIJAKKERS WILHELMUS JACOBUS MARIA ,  WEHRENS MARTIJN GERARD DOMINIQUE

IPC: H01L21/027 ,  G03F7/20

CPC classification number: H01J40/02 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

Abstract: 【課題】改善された放射検出器を提供する。【解決手段】放射検出器は放射を検出する。放射検出器は複数のファラデーカップを含む。各ファラデーカップにはカバーが設けられている。各カバーは、放射がファラデーカップへと通り抜けることができる窓構成を含む。各カバーの窓構成は各ファラデーカップに対して異なる。各ファラデーカップは、放射がターゲットに入射した場合に光電子を放出するように構成されたターゲットを収容する。【選択図】図3

Abstract translation: 要解决的问题：提供改进的辐射探测器。解决方案：辐射探测器检测辐射。 辐射检测器包括多个法拉第杯。 每个法拉第杯包括一个盖子。 每个盖子包括窗口构件，辐射可从该窗口构件穿过法拉第杯。 每个盖子的窗户结构对于每个法拉第杯是不同的。 每个法拉第杯容纳一个目标，当目标射线进入靶时，该目标被构造成发射光电子。

公开(公告)号：JP2011071116A

公开(公告)日：2011-04-07

申请号：JP2010208656

申请日：2010-09-17

Applicant: Asml Netherlands Bv ,  エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

Inventor： ROOIJAKKERS WILHELMUS JACOBUS MARIA ,  WEHRENS MARTIJN GERARD DOMINIQUE

IPC: H01J40/02 ,  G01T1/28 ,  H01J43/28 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01J40/02 ,  G03F7/70575 ,  G03F7/7085

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved radiation detector. SOLUTION: The radiation detector detects radiation. The radiation detector includes a plurality of Faraday cups, and each Faraday cup has a cover. Each cover includes a window structure from which radiation can pass through to the Faraday cup. The window structure of each cover is different for each Faraday cup. Each Faraday cup contains a target which is structured to emit photoelectrons when radiation enters the target. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Abstract translation: 要解决的问题：提供改进的辐射检测器。

解决方案：辐射探测器检测辐射。 辐射检测器包括多个法拉第杯，每个法拉第杯具有盖。 每个盖子包括一个窗口结构，辐射可从该结构通过法拉第杯。 每个盖子的窗户结构对于每个法拉第杯是不同的。 每个法拉第杯包含一个目标，其结构是当辐射进入目标时发射光电子。 版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

公开(公告)号：NL1036305A1

公开(公告)日：2009-06-23

申请号：NL1036305

申请日：2008-12-11

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： KRUIZINGA BORGERT ,  WEHRENS MARTIJN GERARD DOMINIQUE ,  NIJKERK MICHIEL DAVID ,  FEENSTRA KORNELIS FRITS

IPC: G01M11/02 ,  G03F7/20

公开(公告)号：SG118242A1

公开(公告)日：2006-01-27

申请号：SG200402194

申请日：2004-04-22

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： WEHRENS MARTIJN GERARD DOMINIQUE ,  UITTERDIJK TAMMO ,  LUIJTEN CARLO CORNELIS MARIA ,  CICILIA ORLANDO SERAPIO ,  BOOM HERMAN ,  BRULS RICHARD JOSEPH ,  PONGERS WILLEM RICHARD ,  HOFMANS GERARDUS CAROLUS JOHANNUS ,  JANSEN ALBERT JOHANNES MARIA ,  DIJK VAN HENDRIKUS ALPHONSUS LUDOVICUS ,  BAGGEN MARCEL KOENRAAD MARIE ,  JASPER JOHANNES CHRISTIAAN MARIA ,  DEMARTEAU MARCEL JOHANNES LOUIS MARIE

IPC: G03F1/62 ,  G03F1/64 ,  G03F1/82 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027