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公开(公告)号:DE102012104671B4
公开(公告)日:2020-03-05
申请号:DE102012104671
申请日:2012-05-30
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: HERTKORN JOACHIM , LEHNHARDT THOMAS , EICHFELDER MARCUS , AHL JAN-PHILIPP
Abstract: Verfahren zur Herstellung einer aktiven Zone (2) für einen optoelektronischen Halbleiterchip (1) mit den Schritten:- Wachsen einer vierten Barriereschicht (24) basierend auf AlInGaN mit 0 ≤ x4 ≤ 0,40 und im Mittel 0
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公开(公告)号:DE102016123972A1
公开(公告)日:2018-06-14
申请号:DE102016123972
申请日:2016-12-09
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: PUST PHILIPP , RACZ DAVID , AHL JAN-PHILIPP , BAUER ADAM , PETERSEN KIRSTIN
Abstract: Es wird ein optoelektronisches Bauelement angegeben. Das optoelektronische Bauelement umfassteinen Halbleiterchip, der dazu eingerichtet ist, eine elektromagnetische Primärstrahlung zu emittieren,ein Konversionselement umfassend Konverterpartikel, die dazu eingerichtet sind, die elektromagnetische Primärstrahlung zumindest teilweise in eine elektromagnetische Sekundärstrahlung im grünen Bereich des elektromagnetischen Spektrums zu konvertieren, wobei die Konverterpartikel eine Quantenstruktur mit Barriereschichten und Quantenschichten aufweisen und die Quantenschichten und die Barriereschichten alternierend angeordnet sind.
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公开(公告)号:DE102012217644A1
公开(公告)日:2014-03-27
申请号:DE102012217644
申请日:2012-09-27
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: HERTKORN JOACHIM , AHL JAN-PHILIPP , ZINI LORENZO , PETER MATTHIAS , MEYER TOBIAS , FREY ALEXANDER
Abstract: Ein Verfahren zum Herstellen eines optoelektronischen Bauelements umfasst Schritte zum Bereitstellen eines Substrats, zum Aufbringen einer Nukleationsschicht auf einer Oberfläche des Substrats, zum Aufbringen und Strukturieren einer Maskenschicht auf der Nukleationsschicht, zum Aufwachsen eines Nitridhalbleiters in einem ersten Wachstumsschritt, wobei Stege angelegt werden, die ein laterales Gitter bilden, wobei die Stege in Wachstumsrichtung abschnittsweise trapezförmige Querschnittsflächen aufweisen, und zum lateralen Überwachsen der Stege mit einem Nitridhalbleiter in einem zweiten Wachstumsschritt, um Freiräume zwischen den Stegen zu schließen.
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公开(公告)号:DE102015120896A1
公开(公告)日:2017-06-08
申请号:DE102015120896
申请日:2015-12-02
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: BAUER ADAM , WALTER ALEXANDER , GOMEZ-IGLESIAS ALVARO , AHL JAN-PHILIPP
Abstract: Es wird ein elektronisches Bauteil angegeben, umfassend – eine erste Halbleiterschicht (11), – eine zweite Halbleiterschicht (12) und – eine aktive Zone (13) mit einer Quantentopfstruktur aufweisend eine Vielzahl von Quantentopfschichten (131), wobei – die aktive Zone (13) zusammenhängend zwischen der ersten Halbleiterschicht (11) und der zweiten Halbleiterschicht (12) ausgebildet ist, – die aktive Zone (13) zumindest eine Unterbrechung (2) aufweist, die sich in einer vertikalen Richtung (z) durch zumindest eine der Quantentopfschichten (131) hindurch erstreckt, – die zumindest eine Unterbrechung (2) mit einem Halbleitermaterial gebildet ist oder daraus besteht, und – die zumindest eine Unterbrechung (2) eine andere Materialzusammensetzung als die an die Unterbrechung (2) angrenzende Quantentopfschicht (131) aufweist.
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公开(公告)号:DE102012104671A1
公开(公告)日:2013-12-05
申请号:DE102012104671
申请日:2012-05-30
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: HERTKORN JOACHIM , LEHNHARDT THOMAS , EICHFELDER MARCUS , AHL JAN-PHILIPP
Abstract: In mindestens einer Ausführungsform ist das Verfahren zur Herstellung einer aktiven Zone für einen optoelektronischen Halbleiterchip eingerichtet und umfasst die Schritte: – Wachsen einer vierten Barriereschicht (24) basierend auf Alx4Iny4Ga1-x4-y4N mit 0 ≤ x4 ≤ 0,40 und im Mittel 0
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公开(公告)号:DE112013003800A5
公开(公告)日:2015-04-23
申请号:DE112013003800
申请日:2013-06-11
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: HERTKORN JOACHIM , ZINI LORENZO , AHL JAN-PHILIPP , FREY ALEXANDER
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公开(公告)号:DE102012107001A1
公开(公告)日:2014-02-06
申请号:DE102012107001
申请日:2012-07-31
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: HERTKORN JOACHIM , ZINI LORENZO , AHL JAN-PHILIPP , FREY ALEXANDER
Abstract: In mindestens einer Ausführungsform ist das Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterchips (1) eingerichtet. Das Verfahren umfasst zumindest die folgenden Schritte in der angegebenen Reihenfolge: A) Bereitstellen eines Aufwachssubstrats (2) mit einer Aufwachsseite (20), B) Abscheiden mindestens einer auf AlxGa1-xOyN1-y basierenden Nukleationsschicht (3) an der Aufwachsseite (20), C) Abscheiden und Strukturieren einer Maskierungsschicht (4), D) optionales Aufwachsen einer auf GaN basierenden Anwachsschicht (5) in nicht von der Maskierungsschicht (4) bedeckten Bereichen an der Nukleationsschicht (3), E) teilweises Entfernen der Nukleationsschicht (3) und/oder der Anwachsschicht (5) in nicht von der Maskierungsschicht (4) bedeckten Bereichen oder Aufbringen einer zweiten Maskierungsschicht (7) auf der Nukleationsschicht (3) oder auf der Anwachsschicht (5) in den nicht von der Maskierungsschicht (4) bedeckten Bereichen, und F) Aufwachsen einer auf AlInGaN basierenden Halbleiterschichtenfolge (6) mit mindestens einer aktiven Schicht (65).
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