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公开(公告)号:DE102007019776A1
公开(公告)日:2008-10-30
申请号:DE102007019776
申请日:2007-04-26
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: ILLEK STEFAN , PLOESL ANDREAS , HEINDL ALEXANDER , RODE PATRICK , EISSLER DIETER
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公开(公告)号:DE10101734C2
公开(公告)日:2003-04-24
申请号:DE10101734
申请日:2001-01-16
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: HEINDL ALEXANDER , BUCHNER ANTON
IPC: G03F7/09 , G03F7/40 , H01L21/027 , H01L33/00 , H01L21/312 , H01L21/308
Abstract: A photoresist layer (3) on the surface (2) of a substrate (1) is covered with a metalization layer (7) for the purpose of heating, so that an etching-stable photoresist layer with sharp structures is available after heating.
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公开(公告)号:DE102009008223A1
公开(公告)日:2010-08-12
申请号:DE102009008223
申请日:2009-02-10
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: BAUR ELMAR , BOEHM BERND , HEINDL ALEXANDER , RODE PATRICK , SABATHIL MATTHIAS
IPC: H01L33/00 , H01L21/302
Abstract: Es wird ein Verfahren zur Strukturierung einer Halbleiteroberfläche angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines ersten Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist; - Bereitstellen eines zweiten Halbleiterwafers (3); - Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen des zweiten Halbleiterwafers (3); - Strukturieren der dem zweiten Halbleiterwafer (3) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des ersten Wafers (1) in den Fotolack (2); - Anwendung eines Strukturierungsverfahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei - die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Struktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche (31) des zweiten Halbleiterwafers (3) übertragen wird.
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公开(公告)号:DE10261364A1
公开(公告)日:2004-08-19
申请号:DE10261364
申请日:2002-12-30
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: STEIN WILHELM , JANES STEFAN , HEINDL ALEXANDER , PLOESL ANDREAS , WEGLEITER WALTER
IPC: H01L21/283 , H01L21/285 , H01L33/00
Abstract: Deposition of a temperable multilayer contact coating, especially a tempered multilayer contact metallizing onto a semiconductor material by the steps: application of a masking layer to the semiconductor, formation of a window in the masking layer, application of a contact metal layer to the semiconductor, application of an external layer and/or a barrier layer on or above the contact metal layer (4), and removal of the contact metal on the masking layer.
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公开(公告)号:WO02056113A2
公开(公告)日:2002-07-18
申请号:PCT/DE0200109
申请日:2002-01-16
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , BUCHNER ANTON , HEINDL ALEXANDER
Inventor: BUCHNER ANTON , HEINDL ALEXANDER
IPC: G03F7/09 , G03F7/40 , H01L21/027 , H01L33/00 , G03F
CPC classification number: G03F7/09 , G03F7/40 , H01L21/0274 , Y10T156/1034
Abstract: The invention relates to a method for producing an etching mask, characterized by covering the photosensitive resist layer (3), disposed on the surface (2) of a substrate (1), with a metallization layer (7) in order to heat it up so that after heating an etch-resisting photosensitive resist layer having discrete structures is available.
Abstract translation: 在基板(1)的表面(2)上的光致抗蚀剂层(3)上覆盖有用于加热的金属化层(7),从而加热后可得到具有尖锐结构的蚀刻稳定的光致抗蚀剂层。
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公开(公告)号:DE102007019775B4
公开(公告)日:2024-11-28
申请号:DE102007019775
申请日:2007-04-26
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: RODE PATRICK , ILLEK STEFAN DR , PLÖSSL ANDREAS DR , HEINDL ALEXANDER , EISSLER DIETER DR
Abstract: Optoelektronisches Bauelement (1) umfassend:- einen Halbleiterkörper (2), der eine Halbleiterschichtenfolge mit einem aktiven Bereich (4) aufweist,- einen Träger (3), auf dem die Halbleiterschichtenfolge angeordnet ist,- zwei elektrische Kontakte (7,8), die auf verschiedenen Seiten des aktiven Bereichs elektrisch leitend mit dem Halbleiterkörper verbunden sind, wobei ein Teilbereich eines ersten Kontakts (7) der beiden Kontakte zwischen dem Halbleiterkörper und dem zweiten Kontakt (8) der beiden Kontakte angeordnet ist und die beiden Kontakte in diesem Teilbereich elektrisch voneinander isoliert sind,- die Kontakte (7,8) jeweils eine vom aktiven Bereich (4) abgewandte Anschlussfläche (70, 80) aufweisen,- die Anschlussflächen (70,80) auf verschiedenen Seiten des aktiven Bereichs (4) angeordnet sind,- eine der Anschlussflächen (70,80) auf einer vom Halbleiterkörper (2) abgewandten Seite des Trägers (3) angeordnet ist; und- der Träger (3) strahlungsdurchlässig für im aktiven Bereich (4) zu erzeugende Strahlung ausgebildet ist.
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公开(公告)号:DE102007019775A1
公开(公告)日:2008-10-30
申请号:DE102007019775
申请日:2007-04-26
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: ILLEK STEFAN , PLOESL ANDREAS , HEINDL ALEXANDER , RODE PATRICK , EISSLER DIETER
IPC: H01L31/0224 , H01L33/08 , H01L33/20 , H01L33/38 , H01S5/02
Abstract: The invention relates to an optoelectronic component comprising a semiconductor body (2) which has a series of semiconductor layers with an active region (4) that is suitable for generating radiation, a reflective layer (72) situated on the semiconductor body and two electric contacts (7,8). A first contact (7) of said contacts on the side of the active region that faces the reflective layer is connected in an electrically conductive manner to the semiconductor body, the second contact (8) of said contacts on the side of the active region that faces away from the reflective layer is connected in an electrically conductive manner to the semiconductor body and the reflective layer lies between a sub-region of the second contact and the semiconductor body.
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公开(公告)号:DE102005040558A1
公开(公告)日:2007-03-01
申请号:DE102005040558
申请日:2005-08-26
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: GUENTHER EWALD KARL MICHAEL , BRUNNER HERBERT , FISCHER HELMUT , EISSLER DIETER , HEINDL ALEXANDER
Abstract: A method is disclosed in which a base body is prepared that comprises a layer sequence intended for the LED chip and suitable for emitting electromagnetic radiation. A cap layer is applied to at least one main surface of the base body. A cavity is introduced into the cap layer and is completely or partially filled with a luminescence conversion material. The luminescence conversion material comprises at least one phosphor. A method is also disclosed in which the cap layer comprises photostructurable material and at least one phosphor, such that it is able to function as a luminescence conversion material and can be photostructured directly. LED chips that are producible by means of the method are also described.
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公开(公告)号:DE102009023355A1
公开(公告)日:2010-12-02
申请号:DE102009023355
申请日:2009-05-29
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: BAUR ELMAR , BOEHM BERND , HEINDL ALEXANDER , RODE PATRICK , ZULL HERIBERT
IPC: H01L33/00 , H01L21/302
Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines optoelektronischen Halbleiterbauteils angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines ersten Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist, wobei die strukturierte Oberfläche (11) zumindest stellenweise durch Erhebungen (E1, E2) erster (H1) und zweiter Höhe (H2) gebildet ist, wobei die erste Höhe (H1) größer ist als die zweite Höhe (H2); - Bereitstellen eines zweiten Wafers (3); - Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen des zweiten Wafers (3); - Strukturieren der dem zweiten Wafer (3) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des ersten Wafers (1) in den Fotolack (2), wobei die Erhebungen (E1, E2) als Gräben (G1, G2) erster und zweiter Tiefe in den Fotolack (2) abgedruckt werden; - Anwendung eines Strukturierungsverfahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei - die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Strktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche (30) des zweiten Wafers (3) übertragen wird.
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公开(公告)号:DE102009018286A1
公开(公告)日:2010-10-28
申请号:DE102009018286
申请日:2009-04-21
Applicant: OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
Inventor: RODE PATRICK , WIESMANN CHRISTOPHER , BAUR ELMAR , HEINDL ALEXANDER , BOEHM BERND
IPC: H01L33/00
Abstract: Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines strahlungsemittierenden Halbleiterchips angegeben, mit den folgenden Schritten: - Bereitstellen eines Verbunds (3) von strahlungsemittierenden Halbleiterchips (310) mit einer Strahlungsauskoppelschicht (300), die auf einem III-Nitrid Halbleitermaterial basiert; - Bereitstellen eines Wafers (1), welcher eine strukturierte Oberfläche (11) aufweist; - Aufbringen eines Fotolacks (2) auf die Außenflächen der Strahlungsauskoppelschicht (300); - Strukturieren der der Strahlungsauskoppelschicht (300) abgewandten Oberfläche des Fotolacks (2) durch Abdrucken der strukturierten Oberfläche (11) des Wafers (1) in den Fotolack (2); - Anwendung eines Strukturierungsverfahrens (6) auf die strukturierte Oberfläche (21) des Fotolacks (2), wobei - die auf dem Fotolack (2) aufgebrachte Struktur zumindest stellenweise auf die Außenfläche der Strahlungauskoppelschicht (300) übertragen wird.
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