直角坐标型机器人
    36.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1230913A

    公开(公告)日:1999-10-06

    申请号:CN97198065.9

    申请日:1997-09-16

    CPC classification number: H05K13/04 B25J9/026 F16C29/001 F16C29/008

    Abstract: 一种直角坐标型机器人,在按间隔并列设置的第1作业台(103,104)上分别设置沿第1作业台导向移动的第1移动体(111,115),第2作业台(102)的一端连接在其一的第1作业台设置的第1移动体,另一端连接在另一个第1作业台设置的第1移动体;用在第1移动体的移动方向具有刚性并沿第2作业台方向具有弹簧性能的连接构件(118f,118g),连接第2作业台的端部与第1移动体。

    致动器、具备其的移载头、使用移载头的部件安装装置及方法

    公开(公告)号:CN103997881A

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201410049598.3

    申请日:2014-02-13

    Abstract: 本发明使用紧凑的移载头而使部件安装高速化。本发明的一种致动器,其搭载于部件安装装置的移载头,且用于使多个喷嘴在一个方向上移动,其中,该致动器具有多个线性电动机,该线性电动机包括:杆,其在喷嘴沿着一个方向移动的喷嘴移动方向上延伸,以将多个磁铁在喷嘴移动方向上排列的状态具备多个磁铁,且在一端连结有喷嘴;多个线圈,其以在喷嘴的移动方向上排列的状态配置,且分别围绕着杆;以及编码器,其用于检测杆的喷嘴移动方向上的位置。多个线性电动机以在与喷嘴移动方向正交的方向上排列的状态且连结有喷嘴的杆的一端向外部露出的状态、且以杆能够分别在喷嘴移动方向上滑动的方式收纳于一个外壳。

    基板清洗装置及其方法
    40.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102176981B

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN200980139903.5

    申请日:2009-10-29

    CPC classification number: B08B1/008 Y10S134/902

    Abstract: 本发明提供基板清洗装置及其方法。基板清洗装置通过清洗带(12)的拂拭面(12a、12b)清洗基板(1)的侧缘部的表侧的清洗面(1a)和背侧的清洗面(1b),基板清洗装置具有:将清洗带(12)按压到清洗面(1a)上的按压构件(11a);将清洗带(12)按压到清洗面(1b)上的按压构件(11b);通过按压构件(11a)与清洗面(1a)之间以及按压构件(11b)与清洗面(1b)之间的带路径;使清洗带(12)和基板(1)沿侧缘部的长度方向相对移动的移动装置。带路径使清洗带(12)以拂拭面(12a)与清洗面(1a)对置的状态沿与基板(1)的侧缘部的长度方向正交的方向通过按压构件(11a)与清洗面(1a)之间,然后进行翻转以使拂拭面(12b)与基板(1)的背侧对置,接着以拂拭面(12b)与清洗面(1b)对置的状态向与按压构件(11a)与清洗面(1a)之间的通过方向相同的方向通过按压构件(11b)与清洗面(1b)之间。

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