公开(公告)号：CN1220259C

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN02156991.6

申请日：2002-12-24

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 滨中雅司 ,  原田刚史 ,  吉田英朗 ,  上田哲也

IPC: H01L21/768 ,  H01L21/3205

CPC classification number: H01L21/76832 ,  H01L21/02074 ,  H01L21/31053 ,  H01L21/3212 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76807 ,  H01L21/7684 ,  Y10S438/906

Abstract: 本发明为一种布线结构的形成方法，在形成在基板(100)上的FSG膜(109)及ARL膜(110)上形成多个布线用沟槽(111)，然后，在ARL膜(110)上依次堆积能够将各布线用沟槽(111)完全掩埋的屏障金属膜(氮化钽膜(112))与布线用导电膜(铜膜(113)及(114))。其后，在通过研磨除去了各布线用沟槽(111)外侧的铜膜(113)及(114)之后，再通过研磨，除去各布线用沟槽(111)外侧的氮化钽膜(112)。之后，在除去了在研磨时基板(100)上粘附的异物之后，使用与在铜膜(113)及(114)的研磨工序中所使用的相同种类的研磨剂对ARL膜(110)的表面进行研磨。从而可防止在绝缘膜以及绝缘膜上的ARL膜中埋入的布线之间的短路。

公开(公告)号：CN1604378A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：CN200410079300.X

申请日：2004-09-29

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 上田哲也 ,  宫内伸二 ,  中村彰成

IPC: H01M8/04 ,  H01M8/00

CPC classification number: H01M8/04089 ,  H01M8/04201 ,  H01M8/04231 ,  H01M8/0444 ,  H01M8/04679 ,  H01M8/04686 ,  H01M8/04753 ,  H01M8/04776 ,  H01M8/0618 ,  H01M8/2475

Abstract: 本发明提供能够确保避免可燃性气体泄漏的安全性，同时维修保养成本保持低廉的燃料电池发电系统。所述系统其组件(18)内具备：燃料电池组(7)、提供富氢气体的富氢气体供给手段(1)、检测所述组件内的所述富氢气体或其原料的泄漏的可燃性气体检测器(22)、引入所述富氢气体或所述原料的可燃性气体导入管(23)、以及控制装置(17)。所述控制装置使所述富氢气体或所述原料从所述可燃性气体导入管间歇喷射，并且对所述可燃性气体检测器的功能是否正常进行自诊断。

公开(公告)号：CN1494152A

公开(公告)日：2004-05-05

申请号：CN03159897.8

申请日：2003-09-27

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 筒江诚 ,  薮俊树 ,  加藤义明 ,  上田哲也 ,  濑尾晓

IPC: H01L27/04 ,  H01L21/822 ,  H01G4/33

CPC classification number: H01L23/5223 ,  H01L21/76807 ,  H01L21/76838 ,  H01L28/40 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及半导体装置及其制造方法，在具有MIM电容的半导体装置中形成高容量高可靠性的MIM电容。本发明的半导体装置备有设置在半导体基片(101)上的层间绝缘膜(204)和埋入上述层间绝缘膜(204)，与上述半导体基片(101)导通的配线(208a)、(208c)，MIM电容(201)具有由金属构成的第1和第2电极(208b)、(214b)和由电介质构成的电容绝缘膜(210)，上述第1电极(208b)埋入上述层间绝缘膜(204)中，上述电容绝缘膜(210)设置在上述第1电极(208b)上，上述第2电极(214b)是通过上述电容绝缘膜(210)与上述第1电极(208b)对置设置的金属层。

公开(公告)号：CN1398451A

公开(公告)日：2003-02-19

申请号：CN01804481.6

申请日：2001-10-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 上田哲也 ,  小川修 ,  铃木次郎 ,  宫内伸二

IPC: H02J3/00 ,  H02J3/38 ,  H01M8/00 ,  H01M8/04

CPC classification number: H02J3/00 ,  H01M8/04604 ,  H01M8/04626 ,  H01M8/0494 ,  H01M8/04947 ,  H01M8/04955 ,  H01M8/04992 ,  H01M16/006 ,  H02J3/14 ,  H02J3/38 ,  H02J7/34 ,  H02J2001/004

Abstract: 例如当功率负载暂时下降或上升的情况下，很难抑制燃料电池发电中的能量消耗浪费。本发明的燃料发电系统具备；用于检测负载104所要求的功率的负载检测手段103；当没有在燃料电池主体101中生成要供给负载104的功率时，累计检测到的负载104所要求的功率在固定值以上的时间并且根据该累计结果利用规定的规则使得所述燃料电池主体101开始生成供给负载104的功率的输出控制手段102。

公开(公告)号：CN1094847A

公开(公告)日：1994-11-09

申请号：CN94104615.X

申请日：1994-04-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 上田聪 ,  上田哲也 ,  山野敦浩 ,  失野航作

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/318 ,  H01L21/90 ,  H01L23/52

CPC classification number: H01L23/3171 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 在一半导体衬底上并排形成多条金属互连线，并有一层间绝缘膜介于该金属互连线与半导体衬底之间，该金属互连线上覆盖着由一层下氧化硅膜和一层上氮化硅膜构成的钝化膜。该氧化硅膜是这样淀积的，使得在金属互连线侧面的那部分氧化硅膜的厚度小于两金属互连线间的最小间距的一半。该氮化硅膜是这样淀积的，使其介于相邻两金属互连线侧面的氧化硅膜部分之间。

公开(公告)号：CN103402553A

公开(公告)日：2013-11-20

申请号：CN201280010048.X

申请日：2012-02-14

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 稻垣纯 ,  田中史子 ,  M.大友 ,  加藤亮 ,  中原健吾 ,  上田哲也

IPC: A61L9/01 ,  A61L9/22 ,  F24F7/00 ,  H01T19/04 ,  H01T23/00

CPC classification number: F24F3/166 ,  A61L2/14 ,  A61L9/22 ,  F24F2003/1635 ,  F24F2003/1682 ,  Y02A50/21

Abstract: 本发明的活性种产生单元具备：平板形状的绝缘性基板;被与绝缘性基板隔着规定距离配置的放电电极;对绝缘性基板的表面进行覆盖，并且对绝缘性基板近傍的水分进行吸附的吸附部;被设置为与吸附部相接的对置电极;和对放电电极和对置电极施加电压的电源。

公开(公告)号：CN101970747A

公开(公告)日：2011-02-09

申请号：CN200980108735.3

申请日：2009-03-06

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 杉本泰世 ,  加藤务 ,  上田哲也 ,  小棚木拓也 ,  小田一平 ,  谷口和宏

IPC: D06F58/28 ,  D06F58/10

CPC classification number: D06F58/28 ,  D06F2058/2819 ,  D06F2058/2841 ,  D06F2058/2845

Abstract: 本发明涉及一种衣物干燥的控制方法及衣物干燥机，该衣物干燥的控制方法根据相同衣物受到风吹的状态与未受风吹的状态的衣物的表面温度差来判断干燥程度，并根据干燥程度来确定加热开始时间。

公开(公告)号：CN100454712C

公开(公告)日：2009-01-21

申请号：CN01804481.6

申请日：2001-10-01

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 上田哲也 ,  小川修 ,  铃木次郎 ,  宫内伸二

IPC: H02J3/00 ,  H02J3/38 ,  H01M8/00 ,  H01M8/04

CPC classification number: H02J3/00 ,  H01M8/04604 ,  H01M8/04626 ,  H01M8/0494 ,  H01M8/04947 ,  H01M8/04955 ,  H01M8/04992 ,  H01M16/006 ,  H02J3/14 ,  H02J3/38 ,  H02J7/34 ,  H02J2001/004

Abstract: 本发明涉及例如用于采用燃料电池向家庭等的功率负载供给功率的电功率生成控制系统和方法。在本发明中提供了一种功率生成控制系统，包括用于检测负载要求的功率的功率单元；时间累积单元，在没有在规定的功率生成单元中生成要供给所述负载的功率时，所述累计单元累计所述检测到的、负载所要求的功率在规定值以上的时间；功率生成控制单元，根据所述累计的结果，利用规定的规则，使所述功率生成单元开始生成供给所述负载的功率；所述规定的规则是指，在规定期间，连续累计后的时间或者不连续累计的时间的总和达到规定阈值以上时，用于使所述功率生成单元开始生成供给所述负载的功率的规则。通过上述功率生成控制系统和其相应控制方法，能够使得燃料电池发电装置稳定运行并提高效率、而且能够抑制使用寿命缩短。

公开(公告)号：CN100399613C

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200410070895.2

申请日：2004-07-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 宫内伸二 ,  上田哲也 ,  山本义明

IPC: H01M8/00

CPC classification number: H01M8/04052 ,  F24D17/001 ,  F24D19/1051 ,  F24D2200/19 ,  F24D2220/042 ,  F24D2240/26 ,  H01M8/04029 ,  H01M8/04037 ,  H01M8/04059 ,  H01M8/04358 ,  H01M8/04373 ,  H01M8/04425 ,  H01M8/04723 ,  H01M8/04738 ,  H01M8/04955 ,  H01M2250/405 ,  Y02B90/16 ,  Y02P80/15

Abstract: 本发明的燃料电池发电及废热供暖系统具有：燃料电池；使内部热输送媒体循环从而使燃料电池和内部热输送媒体进行热交换的冷却系统；加热内部热输送媒体的内部热输送媒体加热器；利用者可利用地贮存外部热输送媒体的热利用部分；通过热利用部分使该外部热输送媒体循环，从而使冷却系统的内部热输送媒体与外部热输送媒体热交换的废热利用系统；检测热利用部分的残存热量的残存热量检测装置；以及控制装置。控制装置判定燃料电池起动时检测出的热利用部分的残存热量，是否超过作为使燃料电池外温至运转温度所必要的热量的燃料电池升温热量以上的某个阈值热量；根据该判定结果，决定通过热交换将热利用部分的残存热量传递给内部热输送媒体，使燃料电池升温的第一升温动作；和利用内部热输送媒体加热器，加热内部热输送媒体，使燃料电池升温的第二升温动作的分配；利用该第一升温动作或该第二升温动作，使燃料电池升温至运转温度。

公开(公告)号：CN1314102C

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN200410076847.4

申请日：2004-09-08

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 半田崇登 ,  海本博之 ,  上田哲也

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/52

CPC classification number: H01L21/76843 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76816 ,  H01L21/76832 ,  H01L21/76834 ,  H01L21/76865 ,  H01L21/76877 ,  H01L21/76886 ,  H01L23/5283 ,  H01L23/53238 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 提供一种半导体装置，具备设在基板(10)上的下层层间绝缘膜(11)、由沿着下层层间绝缘膜(11)的下层布线槽(13)的壁面形成的下层阻挡金属层(14)以及铜膜(15)构成的下层布线(16)、上层插头(22a)以及上层布线(22b)。上层插头(22a)贯通硅氮化膜(24)和下层布线(16)的铜膜(15)接触。下层布线(16)中设有埋入下层布线槽(13)的凹部(13a)中的多个凸部(16a)。由于在凸部(16a)中下层布线(16)中的空隙也被吸气，因此能缓和下层布线(16)与上层插头(22a)接触的部分中空隙的集中，并且抑制接触电阻的增大。这样，能够抑制在布线和其上方的插头的接触部分中因布线中的空隙被集中性吸气而导致的接触电阻增大。