发光元件及其制造方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100405618C

    公开(公告)日:2008-07-23

    申请号:CN03138280.0

    申请日:2003-05-30

    Abstract: 本发明提供一种发光元件及其制造方法,利用该方法能够得到从可见区透过紫外区光的无色透明的导电体,该导电体可用于基板作为垂直结构,可将基板一侧作为取光面。在可控制的气体保护高温炉中设置坩埚(6),坩埚(6)中装有原料熔液(9)和具有缝隙(8a)的缝模(8),原料熔液(9)利用毛细管现象连续沿缝隙(8a)上升到熔液表面,通过缝模(8)和坩埚(6),用EFG法培养截面形状与上述缝模(8)的上面相同的单晶体,如此将原料熔液(9)制造成基板。在该基板上,用MOCVD法生长III-V族、II-VI族、或两者的薄膜。

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