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公开(公告)号：CN104952679A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510132049.7
申请日：2015-03-25
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/244 , H01J37/30 , G01N23/22 , G01N21/63
CPC classification number: H01J37/261 , G01N21/6458 , G01N23/225 , G01N2223/418 , G01N2223/427 , G02B21/0016 , H01J37/06 , H01J37/1472 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/063 , H01J2237/10 , H01J2237/226 , H01J2237/2446 , H01J2237/2447 , H01J2237/2448 , H01J2237/24507 , H01J2237/2602
Abstract: 用多个射束和多个检测器对样本成像。一种用于用大量聚焦射束来检查或处理样本的多射束装置，该装置被装配成在样本上扫描大量的N个射束，该装置装配有用于检测在所述样本被大量射束照射时由样本发射的二次辐射的大量的M个检测器，检测器中的每个能够输出表示由检测器检测的二次辐射的强度的检测器信号，在工作中，每个检测器信号包括由多个射束引起的信息，由一个射束引起的信息因此遍布多个检测器，该装置装配有可编程控制器，其用于使用加权因数来将大量的检测器信号处理成大量输出信号，使得每个输出信号表示由单个射束引起的信息，其特征在于加权因数是取决于射束相对于检测器的扫描位置以及样本与检测器之间的距离的动态加权因数。
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公开(公告)号：CN102384922A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC: G01N23/08
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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公开(公告)号：CN106098518A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610294324.X
申请日：2016-05-03
Applicant: FEI公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/29
Abstract: 本发明涉及使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描。提供了用于扫描显微镜的系统和方法以快速形成区域的部分图像。该方法包括执行区域的初始扫描以及使用初始扫描来识别表示在区域中的感兴趣的特征的区。然后，该方法执行表示感兴趣的结构的区的附加自适应扫描。这样的扫描通过执行与特征边缘交叉的局部扫描图案并指引局部扫描图案跟随特征边缘来使扫描波束的路径适合于跟随感兴趣的特征的边缘。
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公开(公告)号：CN102384922B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201110246288.7
申请日：2011-08-25
Applicant: FEI公司
Inventor： U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
IPC: G01N23/08
CPC classification number: H01J37/244 , H01J37/05 , H01J37/26 , H01J2237/05 , H01J2237/24455 , H01J2237/2446 , H01J2237/24485 , H01J2237/2802 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统，其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器，其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中，第一检测器检测电子能量损失电子谱，并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径，以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
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公开(公告)号：CN103063881B
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
Applicant: FEI公司
IPC: G01Q30/04
CPC classification number: H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105321170A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510339651.8
申请日：2015-06-18
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G02B21/0024 , G02B21/0048 , G02B21/008 , H01J37/226 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/28 , H01J2237/2811 , G02B21/0052 , G06T2207/10061
Abstract: 一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：-提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；-提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；-使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：-在第一采样时段S1中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P1采集检测器数据；-重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{Sn}期间采集的这种群集的集合{Pn}，每个集合的基数N> 1；-通过使用集合{Pn}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{Pn}的不同成员之间的漂移失配。
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公开(公告)号：CN103063881A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210396453.1
申请日：2012-10-18
Applicant: FEI公司
IPC: G01Q30/04
CPC classification number: H01J37/26 , G01Q10/00 , G01Q30/06 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/28
Abstract: 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。
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公开(公告)号：CN102931044A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210283730.8
申请日：2012-08-10
Applicant: FEI公司
CPC classification number: H01J37/222 , G01N23/22 , G01N2223/423 , H01J37/28 , H01J2237/226
Abstract: 本发明涉及提供深度分辨图像的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜检查样本的方法，包括以下步骤：-将样本安装在样本保持器上；-使用粒子-光学柱将至少一个微粒辐射束引导到样本的表面S上，由此产生交互作用，该交互作用导致从样本发出发射辐射；-使用检测器装置检测所述发射辐射的至少一部分，该方法包括如下步骤：-将所述检测器装置的输出On记录作为所述发射辐射的出射角θn的函数，从而针对θn的多个值汇集测量结果集合M={（On,θn）}，其中所述出射角θn是相对于与S正交的轴测得的；-使用计算机处理设备对测量结果集合M自动去卷积并将其空间分解成结果集合R={（Vk，Lk)}，其中空间变量V表示在以表面S为参考的相关联的离散深度水平Lk处的值Vk,由此n和k是整数序列的成员，并且空间变量V表示样本的作为在其体积内的位置的函数的物理性质。
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公开(公告)号：CN102879407A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210238629.0
申请日：2012-07-11
Applicant: FEI公司
Inventor： C.S.库伊曼 , S.R.M.施托克斯
IPC: G01N23/00
CPC classification number: G01N23/203 , G01N23/2206 , G01N23/2252 , G01N2223/402 , G01N2223/418 , G01N2223/616 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/2445 , H01J2237/24475 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明涉及多模态数据的聚类。对来自获取不同类型的信息的多个探测器的信息进行组合以比使用来自单个类型的探测器的单个类型信息可以确定的属性更高效地确定样本的一个或多个属性。在一些实施例中，同时从不同的探测器收集信息，这可以大大减少数据获取时间。在一些实施例中，例如，对来自于样本上不同的点的信息进行组合以创建根据第二探测器的如通过第一探测器确定的共同组成的区域的单个能谱，该样本上的不同点是基于与这些点相关的来自于一种类型探测器的信息和来自于第二类型的探测器的信息进行分组的。在一些实施例中，数据收集是自适应的，也就是说，在收集期间对数据进行分析以确定是否已经收集了用来在期望置信度的情况下确定期望属性的足够数据。
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公开(公告)号：CN102253066A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110110551.X
申请日：2011-04-29
Applicant: FEI公司
IPC: G01N23/22
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/28 , H01J2237/226 , H01J2237/2611
Abstract: 本发明涉及SEM成像方法。一种使用扫描电镜法研究样品的方法，包含以下步骤：－在多个（N个）测量会话中使用探测电子束照射样品的表面（S），每个测量会话具有相关联的束参数（P）值，该束参数值选自于一系列这样的值且在测量会话之间不同；－在每个测量会话期间检测样品发射的激励辐射，将被测对象（M）与其关联且记录用于每次测量会话的该被测对象的值，因而允许数据对（Pi,Mi）的数据集（D）的汇编，其中1≤i≤N，其中：－采用统计盲源分离技术来自动处理数据集（D）且空间地将其分解为成像对(Qk,Lk)的结果集（R），其中具有值Qk的成像量（Q）与参考表面S的离散深度水平Lk相关。
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