公开(公告)号：CN1160287A

公开(公告)日：1997-09-24

申请号：CN96122647.1

申请日：1996-10-18

Applicant: 易通公司

Inventor： V·M·本文尼斯特

IPC: H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/14

Abstract: 低能量离子注入器(10)有发射离子(14)的离子源(12)，和注入室(17)。质量分析磁铁(122)配置在沿源和注入室之间的束通道上。磁铁包括多个磁极靴(110，112)，并有面向内的极面(114，116)，至少确定离子偏转区(12)的一部分。电流传导线圈(122，123)在极靴附近的偏转区建立二极磁场(BO)。附加的线圈(130，131，132，133，134，135，136，137)在偏转区建立四极磁场(Q1，Q2，Q3，Q4)。控制器(100)电连接到磁铁的线圈，控制电流通过电流传导线圈，在极靴附近的偏转区产生磁场。

公开(公告)号：CN106804114B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201580034881.1

申请日：2015-06-25

Applicant: 加坦公司

Inventor： 亚历山大·约瑟夫·古本斯 ,  科林·特雷弗 ,  雷伊·达德利·特韦斯顿 ,  梅勒妮·巴费尔斯

IPC: H01J37/05 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/12 ,  H01J37/147 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明公开了一种用于电子显微镜的电子能量损失光谱仪，其中，电隔离漂移管延伸穿过弯转磁铁，以及穿过将光谱聚焦且放大的后续光学器件。漂移管的前端、后端或前后两端设置有静电透镜或磁透镜，根据弯转磁铁漂移管的电压调节透镜，以保持恒定的净焦距，同时避免出现散焦。特定实施例中包含有能量选择狭缝，可彻底拦截分散在入射到检测器上的能量范围外的电子，从而消除向光谱散射回的多余电子造成的假象。

公开(公告)号：CN107533942A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680021667.7

申请日：2016-04-28

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 姜辛容

IPC: H01J37/05

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/14

Abstract: 本发明揭示一种用于将具有有限能量扩展的电子束引导到样本的可选择性配置系统，其包含：电子源，其用以产生具有包含一或多个能量的能量扩展的电子束；孔隙，其具有轴上开口及偏轴开口；具有可选择性配置焦度的一或多个电子透镜的第一组合件，其经定位以从所述源收集所述束且将所述束引导到所述孔隙；一或多个可选择性配置电子透镜的第二组合件，其经定位以收集所述束；样本载物台；及电子检验子系统，其包含经定位以将所述束引导到一或多个样本上的电子光学器件。所述第一组合件包含偏轴电子透镜，所述偏轴电子透镜用于在偏轴位置处与所述束相互作用且当经配置成具有非零焦度时将空间分散引入到所述束，因此滤波所述能量扩展。

公开(公告)号：CN104425200B

公开(公告)日：2017-09-19

申请号：CN201410369393.3

申请日：2014-07-30

Applicant: 斯伊恩股份有限公司

Inventor： 狩谷宏行

IPC: H01J37/317 ,  G01R33/02

CPC classification number: H01J37/243 ,  G01R33/07 ,  G01R33/072 ,  H01J37/05 ,  H01J37/147 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/152 ,  H01J2237/24514 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/3045

Abstract: 本发明提供一种与磁场测定有关且有助于提高生产性的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置(100)具备配设于离子源与处理室之间的能量分析电磁铁(24)。能量分析电磁铁(24)具备：霍尔元件(110)，根据偏转磁场生成测定输出；及NMR元件(112)，生成NMR输出。离子注入装置(100)的控制部(102)具备：磁场测定部(114)，根据偏转磁场与测定输出之间已知的对应关系测定偏转磁场；磁场决定部(118)，根据NMR输出决定偏转磁场；及霍尔元件校正部(120)，利用根据NMR输出决定的偏转磁场和与该偏转磁场对应的霍尔元件(110)的新的测定输出来更新已知的对应关系。

公开(公告)号：CN106653537A

公开(公告)日：2017-05-10

申请号：CN201610729771.3

申请日：2016-08-26

Applicant: FEI 公司

Inventor： A.亨斯特拉 ,  P.C.蒂伊梅杰

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/05 ,  H01J37/14 ,  H01J37/22 ,  H01J37/263 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/1534 ,  H01J2237/2802 ,  H01J37/261 ,  H01J37/265

Abstract: 本发明公开具有增强的能量范围的柱后滤波器。本发明涉及针对（扫描）透射电子显微镜（（S）TEM）的柱后过滤器（PCF）。传统上，这些过滤器使用在EFTEM和EELS模式二者中同样的在狭缝平面之前的光学元件的激发。尽管这便于本领域中的技术人员开发和调谐PCF的任务，由于其将自由度数目减少到可管理的数量。发明人发现用来确定针对EELS模式的狭缝平面之前的光学元件的设置，其与EFTEM模式不同，并且其中PCF在EELS模式中的性能改进（特别地是可以被成像的相对能量范围），而没有使PCF在EFTEM模式中的性能降级。

公开(公告)号：CN106463322A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580026256.2

申请日：2015-05-22

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： 江欣荣 ,  韩立群

IPC: H01J37/05 ,  H01J49/28

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/05 ,  H01J37/06 ,  H01J37/10 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/057

Abstract: 一个实施例涉及一种双维恩过滤器单色器。第一维恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二维恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。

公开(公告)号：CN103563042B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201280025376.7

申请日：2012-05-24

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 威廉·哈比 ,  约瑟夫·沃林斯基

IPC: H01J37/317 ,  H01J37/02 ,  H01J49/06 ,  H01J37/05

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/023 ,  H01J37/05 ,  H01J49/30 ,  H01J2237/0455 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/24514

Abstract: 提供了一种方法和装置，从离子束管线中减少离子注入组分的不期望同位素。本文公开的装置是一种质量分析可变出口孔，选择性地减小离子束所见的出口孔的尺寸。在一个实施例中，质量分析可变出口孔位于质量分析器内在分解孔上游的位置，并且被配置为有效地限制出口孔的尺寸以允许期望的注入同位素通过而阻止不期望的注入同位素经过。在一个具体实施例中，质量分析可变出口孔安装在射束导管中，所述射束导管安装在AMU磁体的磁极之间。机械驱动机构使能根据射束特性在控制单元的引导下以分级的方式将阻挡结构移入射束路径中。

公开(公告)号：CN102737932B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201210107940.1

申请日：2012-04-13

Applicant: FEI公司

Inventor： D.塔格尔 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

IPC: H01J37/10

CPC classification number: H01J37/05 ,  H01J37/317 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/055 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/31749

Abstract: 本发明涉及从射束中去除了中性粒子的像差校正维恩ExB滤质器。一种用于离子束系统的滤质器包括至少两级并且降低色像差。一个实施例包括两个对称滤质器级，所述两个对称滤质器级的结合降低或者消除了色像差以及入口和出口边缘场误差。实施例也可以防止中性粒子抵达样本表面以及避免射束路径中的交叉。在一个实施例中，所述过滤器能够使来自生成多个种类的源的单一离子种类通过。在其他实施例中，所述过滤器能够使具有一定能量范围的单一离子种类通过并将所述多能量离子聚焦到衬底表面上的同一点。

公开(公告)号：CN103890895B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201180073721.X

申请日：2011-09-28

Applicant: SNU精度株式会社

Inventor： 金锡 ,  安宰亨 ,  金宰湖

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/05 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/24485 ,  H01J2237/24495

Abstract: 本发明涉及一种具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜，本发明的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜将从光源产生的原电子(Primary Electron)射入试样，并且检测在所述原电子射入后从试样发射的发射电子，其特征在于，包括：维恩速度过滤部，配置在所述光源和所述试样之间，产生磁场及电场，从而将所述发射电子分离为次级电子(Secondary Electron)和反射电子(Back Scattered Electron)；和探测部，分别探测从所述维恩速度过滤部分离的次级电子和反射电子。由此，提供一种通过使用维恩速度过滤器，能够分离并探测次级电子和反射电子的具备反射电子检测功能的扫描电子显微镜。

公开(公告)号：CN105470083A

公开(公告)日：2016-04-06

申请号：CN201510807638.0

申请日：2015-09-30

Applicant: FEI公司

Inventor： K·卡加赖斯 ,  C·奥蒂斯 ,  N·W·帕克

IPC: H01J37/30 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/045 ,  H01J37/05 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/028 ,  H01J2237/057 ,  H01J2237/15 ,  H01J2237/28 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749 ,  H01J2237/32 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/3056

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的弯道切断器组件及使用其的方法。用于带电粒子束系统的弯道切断器组件包括入口和出口、至少一个中性粒子阻挡结构、多个弯道偏转器、束切断偏转器、以及束阻挡结构。入口被配置成接受沿着轴线传播的带电粒子的束。至少一个中性粒子阻挡结构与轴线相交。多个弯道偏转器包括顺序地串联设置在入口和出口之间并且被配置成沿着绕过中性粒子阻挡结构并通过出口离开弯道切断器组件的路径而偏转束的第一弯道偏转器、第二弯道偏转器、第三弯道偏转器以及第四弯道偏转器。在实施例中，弯道切断器组件包括两个中性粒子阻挡结构。在实施例中，束阻挡结构设置在第三弯道偏转器和第四弯道偏转器之间。