Abstract:
본 발명은 하기 화학식 1 또는 2로 표시되는 텅스텐 전구체에 관한 것으로, 상기 텅스텐 전구체는 열적으로 안정하며 휘발성이 높다는 장점이 있고 이를 이용하여 양질의 황화텅스텐 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1]
(상기 식에서, R 1 은 C1-C4의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, R 2 , R 3 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R 4 , R 5 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, R 6 는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택된다.) [화학식 2]
(상기 식에서, R 1 은 C1-C4의 선형 또는 분지형의 알킬기이고, R 2 , R 3 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이며, R 4 , R 5 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택되며, X는 Cl, Br 또는 I이다.)
Abstract:
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 주석 전구체에 관한 것으로, 상기 주석 전구체는 황을 포함하고 있는 전구체로서 박막 제조 중에 별도의 황을 첨가시키지 않아도 되는 장점이 있고 열적 안정성이 향상되어 양질의 황을 포함하는 주석 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1]
(상기 식에서, R 1 , R 2 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R 3 , R 4 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오르화 알킬기이며, E는 S, Se 또는 Te이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택된다.)
Abstract:
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 납 전구체에 관한 것으로, 상기 납 전구체는 황을 포함하고 있는 전구체로서 열적 안정성과 휘발성이 개선되고 박막 제조 중에 별도의 황을 첨가시키지 않아도 되는 장점을 가지기 때문에 이를 이용하여 쉽게 양질의 황화납 박막을 제조할 수 있다. [화학식 1]
(상기 식에서, R 1 , R 2 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R 3 , R 4 는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형의 알킬기 또는 C1-C10의 선형 또는 분지형의 플루오로알킬기이고, n은 1 내지 3 범위의 정수에서 선택된다.)
Abstract:
The present invention relates to a ruthenium precursor represented by Chemical Formula 1. The ruthenium precursor has improved thermal stability and volatility and does not have to use oxygen during the deposition of a thin film so that a good quality ruthenium thin film can be produced. [Chemical Formula 1](In Formula, R1-R12 are independently H, or C1-C4 linear or branched alkyl groups.).
Abstract:
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 주석 전구체에 관한 것으로, 상기 주석 전구체는 황을 포함하고 있는 전구체로서 박막 제조 중에 별도의 황을 첨가시키지 않아도 되는 장점이 있고 열적 안정성과 휘발성이 향상되어 양질의 황화주석 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1]
(상기 식에서, R1, R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R3, R4는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 플루오르화 알킬기이며, n은 1 내지 3이다.)
Abstract:
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는 인듐 전구체에 관한 것으로, 상기 인듐 전구체는 황을 포함하고 있는 전구체로서 박막 제조 중에 별도의 황을 첨가시키지 않아도 되는 장점이 있고 열적 안정성과 휘발성이 향상되어 양질의 황화인듐 박막을 형성할 수 있다. [화학식 1]
(상기 식에서, R1, R2는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기이고, R3, R4는 각각 독립적으로 C1-C10의 선형 또는 분지형 알킬기, 또는 C1-C10의 플루오르화 알킬기이며, X 는 Cl, Br 또는 I이고, n은 1 내지 3이다.)
Abstract:
The present invention relates to a copper precursor represented by chemical formula 1, wherein the copper precursor includes sulfur, has no need of adding separate sulfur during manufacturing thin films, and improves thermal stability and volatility, thereby allowing high quality copper sulfide thin films. In chemical formula 1, R1 and R2 are linear or branched alkyl of C1-C10, respectively, R3 and R4 are linear or branched alkyl of C1-C10 or fluorinated alkyl of C1-C10, respectively, and n is selected from numbers 1 to 3.
Abstract:
PURPOSE: Provided are a graphene compound wherein an amine group is introduced to easily and efficiently manufacture a graphene which is stable and well dispersed in a solvent, and a manufacturing method therefor, and a dispersion solution including the same. CONSTITUTION: A method for manufacturing a graphene compound wherein an amine group is introduced comprises the steps of: manufacturing graphene oxide having a group selected from a group consisting of an epoxy group, an OH group and a COOH group from graphite; and reacting the graphene oxide with a primary amine or a secondary amine.