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公开(公告)号：CN109420979A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201810862652.4
申请日：2018-08-01
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B41/06 , B24B7/10 , H01L21/304 , B26D1/12
Abstract: 本发明是一种抑制工件磨削量的不均的加工装置以及加工方法。加工装置是对工件(2)进行加工的加工装置，其包括载置工件(2)的平台(4)、对工件(2)进行磨削的磨削机构(8)、以及对工件(2)的工件厚度方向上的至少工件(2)的一部分的位置进行测定的测定机构(19)，磨削机构(8)具有磨削砂轮(10)，基于由测定机构(19)所测定的测定值，来控制磨削砂轮在工件厚度方向上的位置。
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公开(公告)号：CN109015165A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810580725.0
申请日：2018-06-07
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种磨削装置及磨削品的制造方法。根据本发明，减少磨石的修整次数。磨削装置具备以环状配置有磨石且可旋转的磨削部。磨石是以在磨削对象物的磨削过程中对磨削对象物进行磨削的磨削区域与不对磨削对象物进行磨削的非磨削区域共存的方式配置。磨削装置还具备以生成微细气泡水的方式构成的微细气泡水生成器、及以能对非磨削区域的磨石供给微细气泡水的方式构成的微细气泡水供给部。
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公开(公告)号：CN112750740B
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202011136270.7
申请日：2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种能够可靠地输送多个切割品的输送模块、切割装置以及切割品的制造方法。包括：移动体(44)，配置在切割台(12b)上，能够一边与封装基板(S)被切割而形成的多个切割品(Sa)接触一边移动；驱动机构(46)，驱动移动体(44)；以及移送机构(47)，移送多个切割品(Sa)，移送机构(47)通过移动体(44)将与移动体送。(44)接触的切割品(Sa)从切割台(12b)分离并移
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公开(公告)号：CN112750723A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011137537.4
申请日：2020-10-22
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/78
Abstract: 本发明提供一种清洗模块、切割装置以及切割品的制造方法，即使在切割品的尺寸小的情况下也能够提高清洗效率。包括：容器(21)，收纳封装基板被切割而形成的多个切割品(Sa)；旋转机构(22)，使容器(21)旋转；供液机构(23)，向容器(21)内供给清洗液；以及排液机构(24)，排出容器(21)内的清洗液，多个切割品(Sa)在浸渍于清洗液的状态下，在通过旋转机构(22)旋转的容器(21)内被清洗。
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公开(公告)号：CN111981976A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010271789.X
申请日：2020-04-08
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种保持构件、检查机构、切断装置、保持对象物的制造方法及保持构件的制造方法。保持构件能够高精度地进行由多个吸附孔各自吸附保持的保持对象物的边缘检测。本发明的保持构件保持多个保持对象物用于光学检查，包括：保持部，设置有吸附保持所述保持对象物的多个吸附孔、及配置在多个所述吸附孔之间的槽；以及反射部，设置在所述槽，反射率比所述保持部高；且所述反射部具有平坦的表面。
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公开(公告)号：CN111975114A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010400117.4
申请日：2020-05-13
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种吸附板、切断装置以及切断方法。吸附板(10)包括：底座部(15)，具有框部(16)及多个凸肋部(17A、17B)；以及载置部(12)，以重合于多个凸肋部(17A、17B)的方式而配置且形成有多个吸附孔(12H)，多个凸肋部(17A、17B)彼此交叉的部分的一部分朝向基台(21)所配置的一侧突出。
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公开(公告)号：CN109015165B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201810580725.0
申请日：2018-06-07
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明涉及一种磨削装置及磨削品的制造方法。根据本发明，减少磨石的修整次数。磨削装置具备以环状配置有磨石且可旋转的磨削部。磨石是以在磨削对象物的磨削过程中对磨削对象物进行磨削的磨削区域与不对磨削对象物进行磨削的非磨削区域共存的方式配置。磨削装置还具备以生成微细气泡水的方式构成的微细气泡水生成器、及以能对非磨削区域的磨石供给微细气泡水的方式构成的微细气泡水供给部。
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公开(公告)号：CN110098106A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201910062312.8
申请日：2019-01-23
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/02 , H01L21/67 , H01L21/683 , B23Q3/12
Abstract: 本发明涉及一种凸缘更换机构、切断装置、凸缘更换及切断品制造的方法。能实现凸缘的自动更换。凸缘更换机构(120)是能够更换对刀片(22)进行保持的凸缘的凸缘更换机构(120)，其包括：外凸缘更换部(130)，能将第一外凸缘(23a)更换为具有与第一外凸缘(23a)不同的直径的第二外凸缘；以及内凸缘更换部(140)，能将第一内凸缘(20a)更换为具有与所述第一内凸缘(20a)不同的直径的第二内凸缘(20b)。
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公开(公告)号：CN112838014B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202011185026.X
申请日：2020-10-29
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/56 , H01L23/31 , H01L23/495
Abstract: 本发明的课题是提供一种树脂成形后的引线框的制造方法，其中引线框的上表面不残留树脂。解决方法为本发明的树脂成形后的引线框的制造方法，其特征在于，包括树脂成形步骤，对具有沟部11e的引线框11进行树脂成形，所述树脂成形步骤包括：液态树脂注入步骤，从引线框11的侧面向沟部11e注入液态树脂20b；以及树脂固化步骤，使注入的液态树脂20b固化。
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公开(公告)号：CN116507452A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202180076965.7
申请日：2021-10-19
Applicant: 东和株式会社
IPC: B24B27/06
Abstract: 本发明为实现能够利用刀片切断互相邻接的分割构件内的切断线被设定于互不相同的直线上的切断对象物，本发明的切断装置100将通过连结部W3连结多个分割构件W1、W2，并且互相邻接的分割构件W1、分割构件W2内的切断线CL1、切断线CL2被设定于互不相同的直线上的切断对象物W沿着切断线CL1、切断线CL2切断，且所述切断装置100包括：切断工作台2，吸附并保持切断对象物W；切断机构3，利用刀片31将切断对象物W切断；以及分割构件搬送部10，在连结部W3被切断机构3切断而分割构件W1、分割构件W2互相分离的状态下，自切断工作台2搬送互相邻接的分割构件W1、分割构件W2的其中一者。
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