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公开(公告)号：CN114994362A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
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公开(公告)号：CN119779349A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411867734.X
申请日：2024-12-18
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种用于石英音叉陀螺仪的静电耦合抑制电路，包括：石英音叉传感器、驱动与幅值控制电路、反相电路、补偿电路、角速度检测电路和解调滤波电路；石英音叉传感器输出信号分别指驱动与幅值控制电路以及角速度检测电路，驱动与幅值控制电路根据输入信号生成驱动信号，驱动信号还分别输入至反相电路以及解调滤波电路；反相电路根据驱动信号产生与其同频反相的驱动反相信号，驱动信号和驱动反相信号经过补偿电路后生成静电耦合补偿信号，并输入至角速度检测电路，与检测电路中静电耦合误差抵消，角速度检测电路生成角速度载波信号和角速度载波反相信号，并经解调滤波电路后输出角速度信号。本发明减小了静电误差，提高了陀螺整表性能。
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公开(公告)号：CN114994362B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202210620692.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/08 , G01P15/125 , G01P21/00
Abstract: 本发明提供了一种Z轴加速度计敏感结构及Z轴加速度计，包括衬底和至少一个加速度计敏感结构组，加速度计敏感结构组包括两个加速度计敏感子结构，任一子结构均包括敏感质量块组、第一、第二偏置质量块、第一、第二弹簧支撑梁、第一、第二锚点单元、第一和第二极板，第一弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的一侧以及第一锚点单元连接，第二弹簧支撑梁分别与敏感质量块组的另一侧以及第二锚点单元连接，第一偏置质量块与第二敏感质量块的一侧连接，第二偏置质量块与第二敏感质量块的另一侧连接，第一、第二极板与第一、第二敏感质量块一一相对设置。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中Z轴加速度计零偏的稳定性和重复性差、滞回大的技术问题。
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公开(公告)号：CN115865096A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211356551.2
申请日：2022-11-01
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明提供了一种分立式Sigma‑delta电路，该电路包括FPGA芯片、高速开关、载波发生模块以及依次连接的电荷转移模块、前置放大电路、A/D转换单元和解调滤波单元，FPGA芯片分别与高速开关、A/D转换单元和解调滤波单元连接，高速开关分别与载波发生模块、前置放大电路和电荷转移模块连接，载波发生模块与MEMS加速度计的输入端连接，电荷转移模块与MEMS加速度计的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中流片开发周期长、改造难度大并受模拟器件适配影响导致误差较大的技术问题。
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公开(公告)号：CN115728517A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114322973A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202210019844.5
申请日：2022-01-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5776 , G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数获取方法，包括：生成初始配置TXT文件；将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中；根据初始化配置函数Cntrl_Ini或OTP内部ASIC控制参数进行控制参数的初始化；进行陀螺性能测试试验；判断当前ASIC控制参数是否是最优控制参数，若否，则调整ASIC控制参数重新生成初始配置TXT文件，返回执行将初始配置TXT文件中的内容写入测试单片机初始化配置函数Cntrl_Ini中，直至当前ASIC控制参数为最优控制参数；若是，则将当前ASIC控制参数写入ASIC的OTP中，完成MEMS哥氏力陀螺ASIC最优控制参数的获取。本发明能够在不烧写OTP的前提下，反复尝试不同的陀螺控制参数以获取最优控制参数，实现了ASIC控制参数的灵活、多次配置。
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公开(公告)号：CN115728517B
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202211423060.5
申请日：2022-11-14
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提供一种加速度计免标定非线性测量工装及装置。该测量工装包括：转接底座；平面轴向测试安装板和Z轴测试安装板，均拆卸地设置在所述转接底座上并且不同时与转接底座连接，并且在需要进行平面轴向测试时，所述平面轴向测试安装板与转接底座连接；在需要进行Z轴测试时，所述Z轴测试安装板与转接底座连接；测试电路安装板；所述测试电路安装板固定安装在所述转接底座上，所述测试电路安装板具有镂空通孔c，沿所述镂空通孔c周向具有多个测试电路板安装孔，测试电路板通过所述测试电路板安装孔固定在所述测试电路板上。该工装具有可替换性、免重复标定特性，使得测试流程得以简化，极大的提高了测试效率，且精度得以提高。
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公开(公告)号：CN117589140A
公开(公告)日：2024-02-23
申请号：CN202311219341.3
申请日：2023-09-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明提供一种陀螺敏感结构模态配置方法，包括一、获取敏感结构的模态分布，将驱动和检测模态固有频率均提高至大于设定倍数的环境干扰振动的频率；二、设计同步耦合杠杆以提高同向运动模态，以使同向运动模态频率均高于驱动和检测模态固有频率的设定大小；三、调整驱动模态与检测模态分别是第一阶模态与第二阶模态；四、调整驱动和检测关键弹簧梁参数，在模态匹配状态下，使驱动模态的固有频率等于检测模态的固有频率；在非模态匹配状态下，使检测模态的固有频率要高于驱动模态固有频率的设定大小。本发明能够快速、全面且有效的完成陀螺敏感结构模态配置，使得陀螺工作能够在理想的频率上，提高微机械陀螺结构的环境适应性。
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公开(公告)号：CN115267254A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210866064.4
申请日：2022-07-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125 , H03F3/70
Abstract: 本发明提供了一种敏感结构初始电容测量电路及初始电容测量方法，该敏感结构包括固定结构梳齿和可动质量梳齿，测量电路包括测试探针、载波发生电路、电荷放大电路、解调电路和滤波输出电路，测试探针包括输入探针和输出探针，输入探针和输出探针分别与固定结构梳齿和可动质量梳齿连接，载波发生电路的输出端分别与输入探针和解调电路的输入端连接，电荷放大电路的输入端与输出探针连接，解调电路的输入端还与电荷放大电路的输出端连接，滤波输出电路的输入端与解调电路的输出端连接。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中敏感结构中测方案操作过程复杂、检测设备昂贵、不能满足大批量检测需求的技术问题。
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公开(公告)号：CN221124778U
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202322563891.9
申请日：2023-09-20
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01R31/28
Abstract: 本实用新型提供一种用于芯片中测的四自由度装置，该装置包括机架、十字运动平台、升降平台、微动转台、芯片固定模块、探针固定模块以及摄像模块，所述十字运动平台设置在所述机架上，用于实现待测芯片在XY方向平移运动；所述升降平台设置在所述十字运动平台上，用于实现待测芯片在Z向的平移升降运动；所述微动转台设置在所述升降平台上，用于实现待测芯片绕Z方向旋转运动；所述芯片固定模块设置在所述微动转台上，用于存放整个待测芯片；所述探针固定模块固定在所述机架上，用于固定探针测试电路；所述摄像模块固定在所述机架上，用于待测芯片的图像识别。该技术方案实现了敏感芯片的快速对准，大大提升了敏感结构缺陷的识别效率。
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