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公开(公告)号：CN115541930A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211136210.4
申请日：2022-09-19
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097 , H03B5/04 , H03B5/32
Abstract: 本发明提供一种带相位补偿的低压驱动石英振梁加速度计激振电路，该激振电路包括：前置放大和移相限幅模块，用于实现输入信号的直流偏置和反相放大，并输出至移相限幅和低压驱动模块，移相限幅和低压驱动模块将信号经移相限幅处理后输出至波形整形模块，同时还将信号经移相限幅处理和低压驱动处理后分为两路，一路施加至石英振梁的驱动电极，另一路进入相位补偿，波形整形模块用于对输入信号的波形上升及下降沿的陡直度进行调整，并将输出信号至并联反相模块；并联反相模块对输入信号的波形再一次反相处理。该方案有效减小激振电路的相位误差，降低温度变化对振梁谐振特性的影响，有利于提高加速度计的长期稳定性。
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公开(公告)号：CN110989727A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911191925.8
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及惯性仪表制造技术领域，公开了一种加速度计测试温控装置。其中，该测试温控装置装配在分度装置上，该测试温控装置包括框架、安装工装、半导体制冷器件和保温层，所述框架通过所述分度装置的转轴与所述分度装置连接，所述安装工装设置在所述框架中且具有用于固定加速度计的安装孔，所述半导体制冷器件设置在所述安装工装底部与所述安装孔对应的位置用于对所述加速度计进行加热或制冷，所述保温层设置在所述框架内侧用于隔离外部环境，所述分度装置在翻滚的情况下通过所述转轴带动所述加速度计翻滚。由此，可以通过半导体制冷器件和相应结构实现加速度计静态测试或多点翻滚时的温度控制。
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公开(公告)号：CN106908626A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201510979830.8
申请日：2015-12-23
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125
Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。
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公开(公告)号：CN105502967A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201410554261.8
申请日：2014-10-17
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: C03C27/08
Abstract: 本发明是一种基于金锡共晶的石英键合方法。包括以下步骤：准备步骤；清洗步骤；沉积薄膜的步骤：对两侧零部件之一(11)依次沉积Cr/Au薄膜，并对中间零部件(12)对应于两侧零部件之一(11)的一侧依次沉积Cr/Au/Sn/Au薄膜；然后，对两侧零部件之二(13)依次沉积Cr/Au薄膜，并对中间零部件(12)对应于两侧零部件之二(13)的另一侧依次沉积Cr/Au/Sn/Au薄膜；热压键合的步骤。实现了焊料层组份比例的精确控制。实现了图形化焊料的精密加工。能实现石英敏感结构件的精密对准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119757795A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202411943580.8
申请日：2024-12-27
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明提供一种温度环境适应性增强的石英振梁加速度计，其中，敏感结构的TO封装不采用常规金属连接的方式固定安装到加速度计壳体，而是通过环形胶体固定到壳体内壁，可以降低外部环境温度变化的影响，提高加速度计的温度性能；电路与敏感结构表头之间安装隔热挡板，可以有效降低电路启动温升导致的敏感结构双梁间的温度梯度，减少加速度计启动时间。
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公开(公告)号：CN117686740A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311562956.6
申请日：2023-11-22
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明提出了一种石英谐振梁加速度计的温度误差建模和补偿方法，包括在加速度计振梁驱动电路及表头内部各放置一个温度传感器，对两个温度传感器的输出求差作为温度梯度值；在全温范围内选取一系列温度点，对每个温度点上测得的零位和标度因数取均值，作为拟合目标值；使用两个温度传感器的输出值、温度梯度值、温度变化率变量，进行多项式组合、加权，结合目标值进行最小二乘拟合，获得完整的温度补偿模型系数。本发明有效解决了常规温补方法难以减小或消除的温度滞回误差、滞后误差等难题，满足实际工程中如启动速度快、零偏及标度因数全温变化量小、强温度环境适应性等严苛应用要求。
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公开(公告)号：CN113791241A
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202110913158.8
申请日：2021-08-10
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明提供了一种敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计，该结构包括应力消除主体单元、第一和第二应力释放外环，应力消除主体单元具有振梁阻尼腔和摆挠性支撑阻尼腔，振梁阻尼腔与摆挠性支撑阻尼腔呈夹角设置，振梁阻尼腔用于容纳设置振梁叉指组件，摆挠性支撑阻尼腔用于容纳设置摆挠性支撑组件，第一和第二应力释放外环均设置在应力消除主体单元的周缘，第一和第二应力释放外环之间形成应力释放腔。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中振梁加速度计的力学环境适应性差、热学环境适应性差以及输出对称性差的技术问题。
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公开(公告)号：CN110988399A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911193404.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
Abstract: 本发明涉及惯性仪表制造技术领域，公开了一种加速度计补偿方法。该方法包括：获取1g时温度以预定温度变化率变化时的第一输出数据；获取-1g时温度以预定温度变化率变化时的第二输出数据；对预定温度变化率、加速度计输出温度和第一输出数据多次拟合，基于拟合结果得到1g时的第一温度拟合参数和第一温度变化率拟合参数；对预定温度变化率、加速度计输出温度和第二输出数据多次拟合，基于拟合结果得到-1g时的第二温度拟合参数和第二温度变化率拟合参数；计算加速度偏值与标度因数的乘积拟合值及标度因数拟合值；基于加速度偏值与标度因数的乘积拟合值及标度因数拟合值得到补偿后的加速度计输出值。由此，可提高加速度计温度补偿效果。
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公开(公告)号：CN106908626B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201510979830.8
申请日：2015-12-23
Applicant: 北京自动化控制设备研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明属于惯性测量技术领域，具体公开一种电容式微加速度计敏感结构。它包括上极板、中间摆片微结构和下极板；上极板、中间摆片微结构、下极板之间两两通过键合层连接；中间摆片微结构包括边框和包围在边框内的弹性减薄梁、质量块；弹性减薄梁的上下表面各设有位置交错凹形槽，凹形槽的底部与弹性减薄梁中性面平齐；凹形槽内设有电极引线，电极引线包括上凹形槽电极和下凹形槽电极；上凹形槽电极与质量块上表面电极连通，下凹形槽电极和质量块下表面电极连通；质量块的末端上下表面各设有止挡凸台，用于限制质量块在强振动或大冲击作用下的位移。本发明最大限度屏蔽受力及温度变形对敏感结构的影响，实现误差抑制，获取更高性能。
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