-
公开(公告)号：KR1020110067237A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：KR1020090123745
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K21/12 , G03F7/18 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , B05D7/00 , H01L21/67709
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus for a cylindrical substrate using magnetic levitation is provided to perform thin coating with high accuracy over the area of the cylindrical structure by rotating a substrate fixing unit in contactless through magnetic levitation. CONSTITUTION: A base unit(20) comprises a coil assembly. The base unit supports a substrate fixing unit from a lower part without contacting it and is rotatable. A magnetic levitating type substrate fixing unit comprises a magnetism assembly(12) which is arranged on the coil assembly. A cylindrical substrate(1) is mounted in the magnetic levitating type substrate fixture A nozzle unit(30) ejects a coating solution through a nozzle on the surface of the cylindrical substrate which is magnetically levitated and rotated.
Abstract translation: 目的：提供一种使用磁悬浮的圆柱形基板的涂覆装置，通过磁悬浮将基板固定单元非接触地旋转而在圆柱形结构的区域上以高精度执行薄涂层。 构成：基座单元（20）包括线圈组件。 基座单元从下部支撑基板固定单元，而不与其接触并且是可旋转的。 磁悬浮型基板固定单元包括布置在线圈组件上的磁组件（12）。 圆筒状基板（1）安装在磁悬浮式基板固定装置（A）中。喷嘴单元（30）通过喷嘴喷射在圆柱形基板的磁悬浮和旋转的表面上。
-
公开(公告)号：KR1020110061012A
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090117520
申请日：2009-12-01
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K7/09 , G03F7/70716 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , G03F7/707 , G03F7/70758
Abstract: PURPOSE: An electromagnetic holder device for an exposing device is provided to improve processing performance by decreasing the length of a mover by removing the chuck part of a magnetic levitation stage mover. CONSTITUTION: A rotating side electromagnet holder(16) is arranged on the upper side of a rotating side mover(11). A rotating side mover includes a rotating side permanent magnet(10). The rotating side electromagnet holder is comprised of a core(14a) and a coil(15a). The rotating side electromagnet holder controls the current to lift the rotating side mover and the transferring side mover up and down. The rotating side electromagnet holder includes a bracket(18a) which connects a core to a transfer stage.
Abstract translation: 目的：提供一种用于曝光装置的电磁保持器装置，通过移除磁悬浮载物台移动器的卡盘部分来减小移动器的长度来提高加工性能。 构成：旋转侧电磁铁支架（16）配置在旋转侧动子（11）的上侧。 旋转侧动子包括旋转侧永磁体（10）。 旋转侧电磁铁保持器由铁心（14a）和线圈（15a）构成。 旋转侧电磁铁支架控制电流，使旋转侧移动器和输送侧移动器上下移动。 旋转侧电磁铁保持器包括将铁心连接到转移台的托架（18a）。
-
公开(公告)号：KR1020100007322A
公开(公告)日：2010-01-22
申请号：KR1020080067915
申请日：2008-07-14
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: H01J37/3266 , H01J37/321 , H01J37/32706 , H01J37/32761 , H01J37/34
Abstract: PURPOSE: A method and chamber for inductively coupled plasma processing for cylindrical material with three-dimensional surface is provided to apply easily the cleaning, the etching, and the depositing and ion injection process. CONSTITUTION: The outer wall(102) of the vacuum chamber(100) is grounded. The outer wall is included of the electric conductor. The artifact support unit(104) is insulated from the outer wall of the vacuum chamber. One or more cylindrical artifacts(106) installs to the processed product supporting unit. The other end of the cylindrical processed product is connected through the terminal capacitor(110) to the outer RF power source. The gas jet electrode is located in the inner side of the outer wall. The gas jet electrode surrounds the processed product.
Abstract translation: 目的：提供用于具有三维表面的圆柱形材料的感应耦合等离子体处理的方法和室，以容易地进行清洁，蚀刻和沉积和离子注入过程。 构成：真空室（100）的外壁（102）接地。 外壁包括电导体。 伪像支撑单元（104）与真空室的外壁绝缘。 将一个或多个圆柱形伪像（106）安装到经处理的产品支撑单元。 圆柱形加工产品的另一端通过端子电容器（110）连接到外部RF电源。 气体喷射电极位于外壁的内侧。 气体喷射电极围绕加工的产品。
-
公开(公告)号：KR1020100004756A
公开(公告)日：2010-01-13
申请号：KR1020080065102
申请日：2008-07-04
Applicant: 한국전기연구원
CPC classification number: G03F7/70825 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/707 , G03F7/70725 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70841 , G03F7/70858 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K21/12 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18 , H02N15/00
Abstract: PURPOSE: A cylindrical magnetic levitation stage is provided to implement the integration of an apparatus through a high precision control by using magnetic levitation principle and controlling the rotation of the cylindrical substrate. CONSTITUTION: A first cylindrical substrate holder(11) and a second cylindrical substrate holder(12) are connected to both ends of a cylindrical substrate. A first permanent magnet is arranged on a first movable element(23), and a second permanent magnet is arranged on a second movable element(33). A first connector(13) interlinks the first movable element and the first cylindrical substrate holder. A second connector(14) interlinks the second movable element and the second cylindrical substrate holder.
Abstract translation: 目的：提供圆柱形磁悬浮台，通过使用磁悬浮原理和控制圆柱形基板的旋转，通过高精度控制实现设备的集成。 构成：第一圆柱形衬底保持器（11）和第二圆柱形衬底保持器（12）连接到圆柱形衬底的两端。 第一永久磁铁布置在第一可移动元件（23）上，第二永久磁铁布置在第二可移动元件（33）上。 第一连接器（13）将第一可移动元件和第一圆柱形基板支架互连。 第二连接器（14）将第二可移动元件和第二圆柱形基板支架互连。
-
公开(公告)号：KR100861001B1
公开(公告)日：2008-09-30
申请号：KR1020060119873
申请日：2006-11-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G03F7/20
Abstract: 본 발명은 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저빔 또는 전자빔을 이용하여 롤 표면에 직접 노광을 할 수 있고, 롤 회전축을 중심으로 정속 회전운동은 물론 회전축 방향으로 정속 직선운동을 할 수 있도록 한 대면적 초정밀 롤 노광 장치에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 수평방향으로 배치된 회전롤과; 상기 회전롤을 사이에 두고 상기 회전롤의 양단부를 지지하는 제1 및 제2고정척과; 상기 고정척 및 회전롤을 떠받쳐주는 롤지지체와; 상기 회전롤에 수직방향으로 빔을 조사하는 빔소스와; 상기 제1 및 제2고정척 중 어느 하나 또는 둘 다에 설치되어 상기 회전롤을 회전시켜주는 롤회전수단과; 상기 롤지지체의 하단부를 지지하고, 상기 롤지지체를 좌우로 직선이동시켜주는 리니어 이송부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 대면적 초정밀 롤 노광 장치를 제공한다.
회전롤, 고정척, 자기부상, 미케니컬 베어링, 스러스트 마그네틱 베어링, 레이저 간섭계, 리니어모터, 전자석, 영구자석, 로크 앤 롤 장치-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140074463A
公开(公告)日：2014-06-18
申请号：KR1020120142434
申请日：2012-12-10
Applicant: 한국전기연구원
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3058 , C08J5/18 , G02B1/04 , G02B1/12 , G02F1/133536 , G02F2001/133548
Abstract: The present invention relates to a wire grid polarizer, and a device and a method for manufacturing the same. More specifically, the wire grid polarizer is manufactured in a structure of simple and high production efficiency by using a mold having nanopatterns and the electrocast plating process. The method for manufacturing a wire grid polarizer includes the steps of: forming resin patterns on the metal layer surface of a substrate with a flat mold or a cylindrical mold on which nanopatters are processed, and a polymer material which is cured by ultraviolet rays or heat; forming plating patterns between the resin patterns by using the electrocast plating process; and adhering and transferring the resin patterns and the plating patterns to a transparent adhesive of a flexible substrate, thereby manufacturing a wire grid polarizer by consecutive processes and remarkably reducing the manufacturing time and production costs.
Abstract translation: 线栅偏振器及其制造方法技术领域本发明涉及线栅型偏振器及其制造方法。 更具体地，线栅偏振器通过使用具有纳米图案的模具和电子电镀工艺以简单且高生产效率的结构制造。 线栅型偏振器的制造方法包括以下步骤：在平坦的模具或圆柱形模具上在基板的金属层表面上形成树脂图案，在该模具上加工纳米颗粒，以及通过紫外线或热固化的聚合物材料 ; 通过电镀方法在树脂图案之间形成电镀图案; 并将树脂图案和电镀图案粘合并转印到柔性基板的透明粘合剂上，从而通过连续的工艺制造线栅偏振器，并且显着地减少制造时间和生产成本。
-
公开(公告)号：KR101385976B1
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：KR1020120095459
申请日：2012-08-30
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 발명은 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법에 관한 것으로서, 노광 공정 없이 저렴한 공정 비용으로 나노-마이크로 복합 패턴 형성용 몰드를 제조할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 제품 표면에 나노 패턴과 마이크로 패턴을 형성하는데 이용되는 몰드의 제조 방법에 있어서, 마이크로 패턴을 갖는 몰드용 기판을 제조하는 과정; 나노 패턴을 갖는 나노 패턴 기판을 제조하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 위에 수지를 도포한 뒤 경화시켜 나노 패턴 몰드 층을 형성하고, 상기 나노 패턴 몰드 층 위에 접착층을 적층하는 과정; 상기 나노 패턴 기판의 나노 패턴 몰드 층을 상기 접착층을 이용하여 몰드용 기판의 마이크로 패턴 위에 부착하는 과정; 및 상기 나노 패턴 기판을 나노 패턴 몰드 층으로부터 분리하여 제거함으로써 몰드용 기판 위의 마이크로 패턴 영역에 나노 패턴 몰드 층의 나노 패턴이 복합적으로 존재하는 몰드를 완성하는 과정;을 포함하는 나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법을 제공한다.
-
公开(公告)号：KR101146915B1
公开(公告)日：2012-05-22
申请号：KR1020090115095
申请日：2009-11-26
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/677 , H01L21/20 , B65G49/06 , C23C14/00
Abstract: PURPOSE: A horizontal contactless deposition apparatus is provided to be easily loaded on a base by a roller of a load lock chamber, thereby increasing the efficiency of a deposition process. CONSTITUTION: A deposition chamber(8) performs a deposition process. A conveyor(9) conveys a substrate in the deposition chamber. A base(10) is formed on the bottom of the deposition chamber. A first support unit is made of a permanent magnet(60) and a magnetic plate(50). A second support unit is formed between the base and the conveyor.
-
公开(公告)号：KR101117199B1
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020090124537
申请日：2009-12-15
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/68 , H01L21/027 , G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70716 , G03F7/24 , G03F7/703 , G03F7/70725 , G03F7/70758 , G03F7/70791 , G03F7/70816 , G03F7/70825 , G03F7/70841 , H01L21/68
Abstract: 본발명은자기부상원리로원통을부상하여비접촉으로회전및 축방향으로이송시키면서원통표면에직접나노미터크기의패턴을새길수 있는새로운형태의스테이지와원통표면에빛을조사하는광원을구현함으로써, 나노미터크기의오차로위치를능동제어할수 있는등 기계가공에의한오차및 외란을실시간적으로보정할수 있고, 결국대형크기의원통표면에나노미터크기의패턴을효율적으로가공할수 있는한편, 스테이지와조합되어광원과원통표면사이를부분적으로진공환경이유지되도록하는차동진공수단을구현함으로써, X선이나전자빔, 그리고극자외선(EUV)과같은광원을적용할수 있는원통형자기부상스테이지및 노광장치를제공한다.
-
公开(公告)号：KR101087584B1
公开(公告)日：2011-11-29
申请号：KR1020090123745
申请日：2009-12-14
Applicant: 한국전기연구원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H02K21/12 , G03F7/18 , H02K7/09 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/15 , H02K2201/18
Abstract: PURPOSE: A coating apparatus for a cylindrical substrate using magnetic levitation is provided to perform thin coating with high accuracy over the area of the cylindrical structure by rotating a substrate fixing unit in contactless through magnetic levitation. CONSTITUTION: A base unit(20) comprises a coil assembly. The base unit supports a substrate fixing unit from a lower part without contacting it and is rotatable. A magnetic levitating type substrate fixing unit comprises a magnetism assembly(12) which is arranged on the coil assembly. A cylindrical substrate(1) is mounted in the magnetic levitating type substrate fixture A nozzle unit(30) ejects a coating solution through a nozzle on the surface of the cylindrical substrate which is magnetically levitated and rotated.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
42
records
(took 0.063 seconds)
