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公开(公告)号：KR101633978B1
公开(公告)日：2016-06-28
申请号：KR1020140075947
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/05 , H01J37/12 , H01J37/21 , G01N23/225 , H01J49/44
CPC classification number: H01J37/05 , G01N23/2251 , H01J37/12 , H01J37/21 , H01J49/44 , H01J2237/057 , H01J2237/1516 , H01J2237/2448 , H01J2237/24485
Abstract: 본발명은모노크로메이터및 이를구비한하전입자빔장치에관한것으로, 보다상세하게는저비용으로광축을일치시키는모노크로메이터(monochromator, MC) 및이를구비한하전입자빔장치에관한것이다. 이를위하여이미터에서방출된하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제1정전렌즈; 및중심축이제1정전렌즈의중심축과동축으로배치되고, 제1정전렌즈와특정이격거리만큼이격되며, 제1정전렌즈에서출사되는하전입자빔이입사되고, 하전입자빔의궤도를굴절시키며, 복수개의전극으로구성되는제2정전렌즈;를포함하고, 하전입자빔은정전렌즈의중심축에서특정오프셋만큼벗어난축외궤도를통과하도록구성되며, 하전입자빔의에너지폭이감축되는모노크로메이터가제공될수 있다. 이에따르면모노크로메이터를통과한후에도좋은하전입자빔프로파일을얻을수 있는효과가있다.
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22.发明授权
公开(公告)号：KR101623256B1
公开(公告)日：2016-05-23
申请号：KR1020140075944
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/244 , G01N23/225 , H01J37/08 , H01J37/06
Abstract: 본발명은저탄소강재질의초고진공진공챔버및 외부전자기장에민감한초고진공하전입자빔분석장비관한것으로서, 보다상세하게는탄소함량이적은저탄소강(mild steels) 진공챔버를사용하여자기장을차폐하며, 동시에초고진공, 극고진공환경을유지시켜물질, 디바이스등의분석을수행할수 있는하전입자빔분석장비에관한것이다. 이를위하여중공의기둥형태로구성되고, 일측이개방되는용기; 및용기의개방된일측이밀폐될수 있도록결합되는커버;를포함하고, 용기의내부에는하전입자빔분석장치가수용되며, 용기는저탄소강재질로구성되고, 용기의내부는 1x10torr 이하의초고진공으로이용되는것을특징으로하는저탄소강재질의초고진공진공챔버를제공할수 있다. 이에따르면초고진공진공환경과자기차폐를동시에달성할수 있는저렴한가격의진공챔버를구현할수 있는효과가있다.
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公开(公告)号：KR1020160056363A
公开(公告)日：2016-05-20
申请号：KR1020140155478
申请日：2014-11-10
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/20 , H01J49/027 , H01J2231/50047
Abstract: 본발명은전자빔또는이온빔과같은하전입자빔기반의측정및 가공장치의특성을파악할수 있도록가상하전입자원위치, 크기, 각전류밀도등을측정하고평가하는평가플랫폼장치및 하전입자빔시스템평가방법에관한것이다. 이를위하여하전입자소스에서방출되는하전입자빔이통과하는챔버; 챔버내에구비되고, 하전입자빔의경로에위치되어하전입자빔의크기를제한하는애퍼처; 및챔버일측에구비되고, 하전입자빔의경로에위치되어애퍼처를통과한하전입자빔의이미지가맺히는스크린;을포함하고, 스크린에맺히는하전입자빔의이미지를토대로하전입자빔시스템및 하전입자소스중 적어도하나의평가를수행하는것을특징으로하는하전입자빔시스템평가플랫폼장치가제공될수 있다. 이에따르면하전입자빔시스템에서소스및 시스템의정밀한평가가하나의플랫폼장치에서가능해지는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量和评估虚拟带电粒子源的位置，尺寸和角度电流密度的评估平台装置，以便基于诸如电子束或电子束的带电粒子束来理解测量和处理装置的特性 离子束和用于评估带电粒子束系统的方法。 根据本发明的评估平台装置包括：从带电粒子源排出的带电粒子束通过的室; 设置在所述室中的孔，并定位在带电粒子束的路径中以限制带电粒子束的尺寸; 以及设置在所述室的一侧并且位于所述带电粒子束的路径中的屏幕，以显示通过所述孔的带电粒子束的图像。 评估平台装置基于显示在屏幕上的带电粒子束的图像，从带电粒子束系统和带电粒子源中评估至少一个。 因此，带电粒子束系统和带电粒子源的精确评估可以由一个平台装置执行。
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公开(公告)号：KR101615513B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020140073413
申请日：2014-06-17
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/147 , H01J37/15 , H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 조사각도를조절하기위한장치및 방법에관한것으로서, 하전입자빔을방출하는하전입자빔 소스; 상기하전입자빔 소스와하기경통사이를연결하며, 센터링과오링의결합에의해이루어지는각도조절장치; 및상기각도조절장치와연결되며, 전기장또는자기장에의해상기하전입자빔을집속하며, 하전입자빔 프로브를형성시키는집속렌즈군을포함하는경통부;를포함하는하전입자빔 조사각조절장치에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020150110953A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：KR1020140033565
申请日：2014-03-21
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은캔틸레버마운트시 발생되는오차를상쇄하기위해탐침현미경의동작순서중, 광학빔정렬단계에해당하는것으로 PSPD 검출기의원점정렬이후, PSPD 검출기를새로운좌표를생성하고, 새로운좌표로변환또는보정하여탐침현미경의정밀도를향상시키기위한방법, 이를이용한탐침현미경을제공하는데에있다. 이를위하여일단은분석대상인샘플의표면특성과연동되는팁이구비되고샘플의원자와의힘에의해동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나가변화하는캔틸레버; 캔틸레버의상부면에입사되는광학빔을생성하는광원; 광원과캔틸레버중 적어도하나를이동또는진동시켜서광학빔의입사위치를이동시키는구동부; 캔틸레버에서반사된광학빔을검출하여, 이동되는광학빔의입사위치에대응되는제1신호를제1좌표상에서생성하는검출기; 및검출기에서검출된제1신호를토대로제2좌표를산출하는좌표산출부;를포함하고, 산출된제2좌표를토대로캔틸레버의동작변위, 동작주파수및 휨정도중 적어도하나를측정하여, 샘플의표면특성을분석하는것을특징으로하는검출기의좌표보정이가능한탐침현미경이제공된다. 이에따르면정밀한탐침현미경구현이가능해지는효과가있다. 또한자동으로검출기의좌표를보정하는것이가능하도록구성할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明的目的是在操作探针显微镜的顺序之间对应于光束对准步骤，以消除在安装悬臂时产生的错误。 本发明的目的是提供一种用于通过在将PSPD对准原始位置并且将PSPD的坐标转换为新的位置敏感光电检测器（PSPD）的新坐标之后提高探针显微镜的精度的方法 坐标或校正坐标，并提供使用该坐标的微探针。 为了实现这一点，本发明提供了一种探针显微镜，其包括悬臂，其一端具有与作为被分析对象物的样品的表面特性互锁的尖端，并且其中运动位移，运动频率 并且弯曲度由样品的原子的功率改变; 发射照射到悬臂的顶表面的光束的光源; 驱动单元，通过移动或振动光源和悬臂之间的至少一个来移动光束的照射位置; 检测装置，通过检测由悬臂反射的光束，产生对应于在第一坐标处移动的光束的照射位置的第一信号; 以及坐标计算单元，基于由检测装置检测出的第一信号来计算第二坐标。 能够校正检测装置的坐标的探针显微镜的特征在于基于计算出的第二坐标来测量运动位移，运动频率和弯曲度中的至少一个，然后分析样品的表面性质。 同样，得到精确的探针显微镜的效果。 此外，本发明获得了自动校正检测装置的坐标的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101648269B1
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：KR1020140155478
申请日：2014-11-10
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은전자빔또는이온빔과같은하전입자빔기반의측정및 가공장치의특성을파악할수 있도록가상하전입자원위치, 크기, 각전류밀도등을측정하고평가하는평가플랫폼장치및 하전입자빔시스템평가방법에관한것이다. 이를위하여하전입자소스에서방출되는하전입자빔이통과하는챔버; 챔버내에구비되고, 하전입자빔의경로에위치되어하전입자빔의크기를제한하는애퍼처; 및챔버일측에구비되고, 하전입자빔의경로에위치되어애퍼처를통과한하전입자빔의이미지가맺히는스크린;을포함하고, 스크린에맺히는하전입자빔의이미지를토대로하전입자빔시스템및 하전입자소스중 적어도하나의평가를수행하는것을특징으로하는하전입자빔시스템평가플랫폼장치가제공될수 있다. 이에따르면하전입자빔시스템에서소스및 시스템의정밀한평가가하나의플랫폼장치에서가능해지는효과가있다.
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27.发明公开
公开(公告)号：KR1020150146076A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140075944
申请日：2014-06-20
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/244 , G01N23/225 , H01J37/08 , H01J37/06
CPC classification number: H01J37/244 , G01N23/225 , H01J37/06 , H01J37/08
Abstract: 본발명은저탄소강재질의초고진공진공챔버및 외부전자기장에민감한초고진공하전입자빔분석장비관한것으로서, 보다상세하게는탄소함량이적은저탄소강(mild steels) 진공챔버를사용하여자기장을차폐하며, 동시에초고진공, 극고진공환경을유지시켜물질, 디바이스등의분석을수행할수 있는하전입자빔분석장비에관한것이다. 이를위하여중공의기둥형태로구성되고, 일측이개방되는용기; 및용기의개방된일측이밀폐될수 있도록결합되는커버;를포함하고, 용기의내부에는하전입자빔분석장치가수용되며, 용기는저탄소강재질로구성되고, 용기의내부는 1x10torr 이하의초고진공으로이용되는것을특징으로하는저탄소강재질의초고진공진공챔버를제공할수 있다. 이에따르면초고진공진공환경과자기차폐를동시에달성할수 있는저렴한가격의진공챔버를구현할수 있는효과가있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种由低碳钢材料制成的超高真空室和对外部电磁场敏感的超高真空带电粒子束分析工具。 更具体地说，通过使用碳含量低的低碳钢（软钢）真空室来屏蔽磁场。 同时，保持超高真空和极高的真空环境，因此可以对材料，装置等进行分析。 为此，超高真空室包括：形成为中空柱状的容器，具有一个敞开侧; 以及联接以密封容器的一个敞开侧的盖。 带电粒子束分析工具容纳在容器中，容器由低碳钢材料制成。 容器内部的超高真空度为1×10 ^（ - 7）乇或更低。 因此，可以同时实现超高真空环境和磁屏蔽，并且可以以廉价的成本获得真空室。
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公开(公告)号：KR1020150143907A
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020140071894
申请日：2014-06-13
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01J37/26
CPC classification number: H01J37/26
Abstract: 본발명은하전입자빔 현미경의주사신호제어방법에관한것으로, 보다구체적으로는하전입자빔의조사방향을제어하여바꾸어주는하나이상의편향기; 하전입자빔의조사방향을제어하는스캔프로파일을생성하여상기편향기에제공하는주사파형발생기; 및상기편향기에서실제로출력되는전류파형을제어하는주사파형제어부;를포함하는하전입자빔 현미경의주사신호를생성하는방법으로서상기편향기로부터기인하는시료표면의왜곡된영상을개선할수 있는주사신호의제어방법및 이를이용한장치에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于控制带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，更具体地，涉及一种用于控制能够改善由偏转器引起的样品表面上的失真图像的扫描信号的方法， 使用该方法，产生带电粒子束显微镜的扫描信号的方法，其中所述带电粒子束显微镜包括：用于控制和改变带电粒子束的照射方向的至少一个偏转器; 扫描波形发生器，用于产生用于控制带电粒子束的照射方向并将其提供给偏转器的扫描轮廓; 以及扫描波形控制单元，用于控制实际从偏转器输出的电流波形。
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公开(公告)号：KR101366781B1
公开(公告)日：2014-02-21
申请号：KR1020120127690
申请日：2012-11-12
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J49/147 , H01J49/067 , H01J49/16
Abstract: According to one embodiment of the present invention, an ion source includes an anode tube where a gas supplied through one side is ionized and discharged to the other side, and having a slit in an outer circumference, a filament discharging thermoelectrons to the slit by ionizing the gas, at least one hole through which the thermoelectrons passes and reduces the diffusion of the thermoelectrons supplied into the anode tube, and a diffusion barrier arranged between the slit and the filament.
Abstract translation: 根据本发明的一个实施例，离子源包括阳极管，其中通过一侧供应的气体被电离并排放到另一侧，并且在外周具有狭缝，灯丝通过电离将热电子放电到狭缝 气体，至少一个通过热电子通过的孔，并减少供给到阳极管中的热电子的扩散，以及布置在狭缝和细丝之间的扩散阻挡层。
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公开(公告)号：KR1020160020598A
公开(公告)日：2016-02-24
申请号：KR1020140104928
申请日：2014-08-13
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01J37/22 , H01J37/28 , H01J49/027 , H01J2231/50047
Abstract: 본발명은하전입자현미경의입자빔제어장치및 방법에관한것으로, 보다상세하게는하전입자현미경내하전입자빔을제어함으로써, 시료표면의정보를획득하기위해정전방식또는자기방식의편향기(스캐너)에의해왜곡되는동적특성을바로잡아원하는위치에하전입자빔을조사시킴으로써측정된시료표면의이미지가왜곡되는것을방지하고, 고속으로이미지를획득할 수있도록하며, 원하는형태로시료표면을가공할수 있도록하는하전입자빔제어장치및 이를이용한하전입자빔의제어방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及带电粒子显微镜中控制带电粒子束的装置和方法。 更具体地，控制带电粒子显微镜中的带电粒子束。 由此，校正由静电法或磁法的偏转器（扫描仪）变形的动态特性，以获得样品表面的信息。 带电粒子束被发射到期望的位置。 由此，能够防止测定的样品表面的图像的变形。 图像可以高速获得。 样品表面可以被处理成所需的形状。
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