公开(公告)号：CN107004553A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580040283.5

申请日：2015-06-25

Applicant: FEI埃法有限公司

Inventor： V·乌克兰采夫 ,  I·尼夫 ,  R·本蔡恩

IPC: H01J37/20 ,  H01L21/66 ,  G01R1/06 ,  G01R31/307 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01Q30/02 ,  G01R1/06744 ,  G01R31/26 ,  G01R31/2831 ,  G01R31/2891 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2008 ,  H01J2237/208 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12 ,  H01L22/14

Abstract: 一种用于使用扫描电子显微镜(SEM)和纳米探针的组合来探测待测半导体器件(DUT)的方法，包括：获得DUT中感兴趣区域(ROI)的SEM图像；获得ROI的CAD设计图像；将CAD设计图像与SEM图像进行配准以识别接触目标；获得对应于接触目标的网表，并使用网表来确定应当选择哪个接触目标作为测试目标；以及对纳米探针导航以使纳米探针落在每个测试目标上并在纳米探针与相应的测试目标之间形成电气接触。

公开(公告)号：CN104224216B

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201410247938.3

申请日：2014-06-06

Applicant: FEI 公司

Inventor： U.鲁伊肯 ,  R.肖恩马克斯 ,  J.A.M.安托纽斯

IPC: A61B6/03

CPC classification number: H01J37/20 ,  G01N23/046 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/20207 ,  H01J2237/20228 ,  H01J2237/20235 ,  H01J2237/20264 ,  H01J2237/20285 ,  H01J2237/2802

Abstract: 本发明涉及用于电子断层成像术的改进的方法。电子断层成像术是耗时的过程，因为必须获取典型地在50‑100个图像之间的大量的图像以形成一个断层成像。本发明教导了通过连续而非逐步地倾斜样本来缩短更快得多地获取该量的图像所需的时间的方法。由此消除了减少各步骤之间的振动所需的时间。

公开(公告)号：CN104584181B

公开(公告)日：2017-07-25

申请号：CN201380040935.6

申请日：2013-06-28

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  伊东佑博

IPC: H01J37/244 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/16 ,  H01J37/00 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/24455 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种试样观察方法，其在试样上照射一次带电粒子线，检测由上述照射得到的二次带电粒子信号，并观察上述试样，该试样观察方法的特征在于，使在保持为真空状态的带电粒子光学镜筒内产生的上述一次带电粒子线透过或通过隔膜，该隔膜以使载置上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒隔离的方式配置，检测通过向置于大气压或比大气压稍低的负压状态的规定的气体环境的上述试样照射上述一次带电粒子线而得到的透过带电粒子线。

公开(公告)号：CN105103263B

公开(公告)日：2017-06-09

申请号：CN201480018726.6

申请日：2014-03-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 长冲功 ,  大八木敏行 ,  松本弘昭 ,  仲野靖孝 ,  佐藤岳志 ,  长久保康平

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/244 ,  H01J37/06 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/295 ,  H01J2237/006 ,  H01J2237/182 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2802

Abstract: 具备：二次电子检测器，其检测通过来自电子枪的电子束照射试样(70)而发生的电子；监视器，其根据该检测器的输出，显示试样的二次电子像；气体导入装置(60)，其用于向试样(70)放出气体；以及气体控制装置(81)，其控制气体导入装置(60)的气体放出量，使得在该气体导入装置(60)的气体放出时，将设置了二次电子检测器的中间室内的真空度保持为不足设定值P1。由此，能够利用需要施加电压的检测器得到被置于气体环境中的试样的显微镜像。

公开(公告)号：CN106783493A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611090486.8

申请日：2016-12-01

Applicant: 聚束科技(北京)有限公司

Inventor： 何伟 ,  李帅 ,  王鹏

IPC: H01J37/18 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器、与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘。本发明还公开了一种样品观测系统及方法。

公开(公告)号：CN105593966B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。

公开(公告)号：CN102820238B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201210185985.0

申请日：2012-06-07

Applicant: FEI 公司

Inventor： R.L.瓦肖尔 ,  R.J.杨 ,  C.吕 ,  P.D.卡尔森

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01L22/12 ,  G06T7/73 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/31749 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及用于局部区域导航的高精确度射束放置。描述了在半导体芯片制造领域中用于局部区域导航的高精确度射束放置的改进的方法。本发明的优选实施例还可以被用于迅速导航到存储器阵列或类似结构中的一个单个位单元，以便例如表征或校正该单独位单元中的缺陷。使用高分辨率扫描来（沿着X轴和Y轴中的任一个）扫描阵列的一个边缘上的单元“带”以定位包含期望单元的行，之后是沿着所定位的行（在剩下的方向上）的类似高速扫描直到到达期望的单元位置为止。这允许使用图案识别工具来自动对导航到期望单元所必需的单元“计数”，而不用花费对整个阵列成像所需的大量时间。

公开(公告)号：CN106537550A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201580038621.1

申请日：2015-10-09

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： R·西蒙斯 ,  D·马斯纳盖蒂 ,  M·麦科德 ,  F·施坦克 ,  S·杨 ,  C·西尔斯

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/06 ,  H01J37/026 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0044 ,  H01J2237/061

Abstract: 本发明的实施例涉及一种电子束成像/检验设备，其具有电子源装置以紧接在图像获取或检验之前将泛射电子引导于样本上。所述设备包括经配置以在第一模式中对样本进行充电的第一装置，其中所述第一装置包含电子源，所述电子源经配置以将带电粒子的泛射束提供到所述样本的第一区域。所述设备还包括第二装置，所述第二装置经配置以在第二模式中产生初级电子束且表征所述初级束与所述第一区域内所述样本的第二区域之间的相互作用。所述设备经配置成以少于1秒从所述第一模式切换到所述第二模式。

公开(公告)号：CN104412193B

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201380033768.2

申请日：2013-04-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 桃井康行 ,  羽根田茂 ,  坂本直树 ,  柴原匡 ,  田之口亮斗

IPC: G05D3/12 ,  G02B21/26 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  G02B21/06 ,  G02B21/26 ,  G05B19/402 ,  G05D3/12 ,  H01J37/28 ,  H01J37/292 ,  H01J2237/20221 ,  H01J2237/20264

Abstract: 本发明的目的为提供一种除了能够实现高精度的定位，还具有高速度稳定性的载物台装置以及具备了该载物台装置的光学式显微镜或扫描电子显微镜等试样观察装置。本发明的载物台装置以及试样观察装置为了将使用表示按照每个预定时间的指令电压值的标准波形数据驱动载物台机构时的变位或速度的第一时刻变化响应和载物台机构的速度成为恒定时的变位或速度的第二时刻变化响应之间的差设为零，而修正标准波形数据的指令电压值或指令电压值的输出定时，作为对载物台机构的驱动部输出的驱动波形数据。

公开(公告)号：CN104838466B

公开(公告)日：2017-03-01

申请号：CN201380061917.6

申请日：2013-11-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 山下贡 ,  安藤彻 ,  小西弥生 ,  玉山尚太朗 ,  牛尾奈绪子 ,  高野昌树

IPC: H01J37/24 ,  G06F3/048 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/265 ,  G06F3/048 ,  H01J37/147 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28 ,  H01J37/304 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2801

Abstract: 在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴范围中的两端部以外的位置的情况下，相对于所述第1调整滑块(205)的移动距离减小所述第2调整滑块(204)的移动距离，并且在第1调整滑块(205)位于设定值调整轴(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的范围中的至少一方的端部的位置，且第2调整滑块(204)位于两端部以外的位置的情况下，通过光标(220)选择操作了第1调整滑块(205)时，不移动第1调整滑块(204)，仅使第2调整滑块(205)向一方的端部方向移动。由此，能够容易且准确地进行动作控制所涉及的设定值的粗调整和微调整。(203)的第1设定值调整轴显示部(202)所显示的