公开(公告)号：CN101903960B

公开(公告)日：2012-12-05

申请号：CN200880110580.2

申请日：2008-08-20

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  史蒂夫·E·克劳斯 ,  艾立克·D·赫尔曼森 ,  拉塞尔·J·罗

IPC: H01B17/56 ,  H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/26

Abstract: 一种绝缘导体元件及其相关方法。用于电压结构的绝缘导体元件包括导体以及多个绝缘区段。导体连接一电压，多个绝缘区段包围此导体且多个绝缘区段彼此靠接或接触。

公开(公告)号：CN101714491B

公开(公告)日：2012-07-18

申请号：CN200910253908.2

申请日：2005-04-15

Applicant: 纳沃技术有限公司

Inventor： 克劳斯·埃丁格 ,  约瑟夫·塞尔迈尔 ,  托尔斯滕·霍夫曼

IPC: H01J37/02 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/09 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/026

Abstract: 利用带电粒子研究或修改样品的装置。所述装置具体为扫描电子显微镜，所述样品具有样品表面，所述装置包括：带电粒子束；导电屏蔽元件，具有用于使所述带电粒子束穿过的开孔；其中所述屏蔽元件以使所述屏蔽元件不接触所述样品的距离位于所述样品上方；其中在所述屏蔽元件和所述样品表面之间的距离小于50微米，其特征在于，所述屏蔽元件的开孔在至少一个方向上的尺寸小于50微米。

公开(公告)号：CN102473576A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080033608.4

申请日：2010-07-14

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 金子朝子 ,  武藤宏史 ,  上野敦史

IPC: H01J37/09 ,  G01N1/28 ,  G01N1/32 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/31

CPC classification number: H01J37/09 ,  G01N1/286 ,  H01J37/20 ,  H01J37/305 ,  H01J37/31

Abstract: 本发明涉及配置在离子铣削装置的离子源(1)与试样(7)之间与试样接触的位置上的遮蔽板(8，10)，其特征在于，上述遮蔽板为在中心具有开口的圆形，并能够相对于通过上述开口的轴(11)进行旋转。并且，在上述遮蔽板的端部的上述离子源侧的面上设有槽，再有，在上述遮蔽板的端部设有倾斜面。由此，能够提供具有增加能够加工次数并能够高精度地进行遮蔽板的位置调整的遮蔽板的离子铣削装置。

公开(公告)号：CN102473575A

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN201080031271.3

申请日：2010-07-15

Applicant: 艾克塞利斯科技公司

Inventor： 奈尔·卡尔文

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/317 ,  H01J3/40 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0041 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: 提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。

公开(公告)号：CN102439683A

公开(公告)日：2012-05-02

申请号：CN201080020420.6

申请日：2010-04-22

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 卢多维克·葛特 ,  史费特那·瑞都凡诺 ,  提摩太·J·米勒

IPC: H01J37/08 ,  H01J37/32 ,  H01J27/02

CPC classification number: H01J37/08 ,  H01J27/024 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/0456 ,  H01J2237/065 ,  H01J2237/08 ,  H01J2237/083 ,  H01J2237/31 ,  H01J2237/31701 ,  Y10S438/961

Abstract: 一种离子源，包括具有萃取孔隙的电弧室及等离子体鞘调制器。等离子体鞘调制器被装配以控制边界的形状，上述边界位于等离子体与接近萃取孔隙的等离子体鞘之间。等离子体鞘调制器可包括一对绝缘体，此对绝缘体安置于电弧室中且藉由安置于接近萃取孔隙的间隙来隔开。具有高电流密度的聚焦良好的离子束可藉由离子源产生。高电流密度离子束可改善相关制程的产出。离子束的发射率也可被控制。

公开(公告)号：CN101373694B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200810130871.X

申请日：2008-08-21

Applicant: 瑞萨电子株式会社

Inventor： 池田稔 ,  饭田敏雄

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: C23C14/48 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0451 ,  H01J2237/31701

Abstract: 旨在提供一种延长下述期限的离子注入装置，即在所述期限中，可以避免由于离子物典型地到和从形成离子束的束形状的通孔的内表面的沉积和释放而导致的处理目标的失败，降低更换孔部件的频率，从而改进生产率，一种孔部件，其至少在通孔的内表面的一部分中形成束形状并具有与离子束相对的锥面，并且具有厚热喷涂膜，形成所述热喷涂膜从而覆盖通孔的内表面和内表面周围。

公开(公告)号：CN101022075B

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200610156779.1

申请日：2006-12-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 立花一郎 ,  佐藤贡 ,  深田敦子 ,  铃木直正 ,  福田宗行

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N13/10

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0262 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。

公开(公告)号：CN101563749A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200780043193.7

申请日：2007-09-25

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 卡森·D·泰克雷特萨迪克 ,  拉塞尔·J·罗

IPC: H01J37/317 ,  H01J31/16 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J37/16 ,  H01J2237/0206 ,  H01J2237/026 ,  H01J2237/038 ,  H01J2237/08

Abstract: 一种装置包括导电结构以及绝缘导体，绝缘导体安置于紧邻导电结构的外部之处以修改导电结构周围的电场。绝缘导体具有安置于导体周围的介电强度大于75千伏/英寸的绝缘体。也提供一种离子注入机。离子注入机包括：用于提供离子束的离子源；界定空腔的终端结构，离子源至少部分地安置于空腔中；以及绝缘导体。绝缘导体安置于紧邻终端结构的外部之处以修改终端结构周围的电场。绝缘导体具有安置于导体周围的介电强度大于75千伏/英寸的绝缘体。

公开(公告)号：CN101026078A

公开(公告)日：2007-08-29

申请号：CN200710005825.2

申请日：2007-02-25

Applicant: 恩益禧电子股份有限公司

Inventor： 高田实男 ,  池田稔 ,  松舟聪

IPC: H01J37/317 ,  H01L21/265 ,  C30B31/22

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/045

Abstract: 提供了一种离子注入装置，其防止了在下述部件的通孔的内表面上的离子核素的淀积颗粒的散落造成的加工对象的故障，其中所述部件形成离子束的射束几何形状。由于具有通孔和能够形成射束几何形状的部件(220)的通孔(222)的至少内表面涂覆有热喷涂膜，抑制了通孔(222)的内表面上的离子核素的不期望的淀积。此外，由于在热喷涂膜的表面上产生的淀积膜具有表现出极高层间粘附性的无定向多晶结构，防止了从淀积层上剥落的颗粒的散落造成的加工对象的故障。

公开(公告)号：CN101022075A

公开(公告)日：2007-08-22

申请号：CN200610156779.1

申请日：2006-12-27

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 立花一郎 ,  佐藤贡 ,  深田敦子 ,  铃木直正 ,  福田宗行

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  G01N23/225 ,  G01N13/10

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/09 ,  H01J2237/0262 ,  H01J2237/12 ,  H01J2237/24592 ,  H01J2237/2817

Abstract: 一种扫描型电子显微镜，其中，施加用于使一次电子束加速的正电压，并且在物镜的上部配置电场屏蔽板、或磁场屏蔽板、或电磁场屏蔽板。利用具有这样的构造的扫描型电子显微镜获得试样像。由此可提供具有获得试样表面的高分辨率且高对比度的凹凸像的特征的扫描型电子显微镜。