公开(公告)号：CN106370680A

公开(公告)日：2017-02-01

申请号：CN201610806416.1

申请日：2016-07-22

Applicant: FEI公司

Inventor： C·布歇-马奎 ,  张亮 ,  L·普兰

IPC: G01N23/22

CPC classification number: H01J37/222 ,  G01N1/32 ,  G01N23/046 ,  H01J37/28 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/226 ,  H01J2237/2611 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/2826 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/30438 ,  G01N23/22

Abstract: 提供了通过使用带电粒子束来创建基准孔并且使用基准孔来改善样品定位、层析成像数据集的采集、对准、重建以及可视化以改善层析成像的方法。一些版本在铣削样品的过程期间用离子束来创建基准孔。其它的版本在采集层析成像数据系列之前使用电子束在TEM内原位创建基准孔。在一些版本中，围绕感兴趣区域战略性地制作、定位多组基准孔。基准孔可用于在采集期间正确地定位感兴趣的特征，并且之后有助于更好地对准倾斜系列，以及改善最终重建的准确度和分辨率。操作员或软件可以用层析成像特征追踪技术来识别待追踪的孔。

公开(公告)号：CN106298412A

公开(公告)日：2017-01-04

申请号：CN201610824455.4

申请日：2016-09-14

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 刘小青 ,  何峰 ,  谢峻林 ,  方德 ,  李凤祥

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明公开了一种原位测定样品温度的透射电子显微镜样品杆，包括依次连接的样品杆头、杆身、手握柄，样品杆头包括上层盖板和置于上层盖板下的载物台；上层盖板上设有第一透射孔；载物台上设有第一凹槽和第二凹槽，第一凹槽和第二凹槽通过碳化硅薄片隔开；第一凹槽的底部设有与第一透射孔相对应的第二透射孔；第一凹槽内设有放置样品的样品架；在第一凹槽的底面、与碳化硅薄片接触的第一凹槽的两侧均涂有绝缘层；第二凹槽内从下往上依次设有热电偶、绝缘盖板，热电偶的测温端与碳化硅薄片接触，热电偶通过导线与测温仪表连接；第二凹槽的底面和内壁均涂有绝缘层。本发明能方便透射电子显微镜实时检测样品材料的温度。

公开(公告)号：CN102760628B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201210125537.1

申请日：2012-04-26

Applicant: FEI ,  公司

Inventor： L.图马 ,  P.哈拉文卡 ,  P.西塔尔 ,  R.塞斯卡 ,  B.塞达

IPC: H01J37/244 ,  G01T1/20

CPC classification number: H01J37/26 ,  H01J37/145 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/04926 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/24465

Abstract: 本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。

公开(公告)号：CN104520966B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201380041393.4

申请日：2013-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  细谷幸太郎 ,  振木昌成

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。

公开(公告)号：CN103688333B

公开(公告)日：2016-10-19

申请号：CN201280019242.4

申请日：2012-02-17

Applicant: 应用材料以色列公司 ,  卡尔蔡司SMT有限公司

Inventor： S·R·罗杰斯 ,  R·K·克尼佩迈尔 ,  T·凯门 ,  S·舒伯特 ,  N·埃尔马利阿

IPC: H01J37/09 ,  H01J37/21 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: H01J37/21 ,  H01J37/06 ,  H01J37/09 ,  H01J37/153 ,  H01J37/22 ,  H01J37/222 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  H01J2237/0453 ,  H01J2237/049 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/1532 ,  H01J2237/21 ,  H01J2237/2817

Abstract: 带电粒子束聚焦设备（200）包括带电粒子束发生器（202），所述带电粒子束发生器（202）被配置以同时将至少一个非像散带电粒子束和至少一个像散带电粒子束投射到样品表面的位置（217）上，从而使得释放电子从所述位置发射出。所述设备还包括成像检测器（31），所述成像检测器（31）被配置以从所述位置接收释放电子且根据释放电子形成所述位置的图像。处理器（32）分析由至少一个像散带电粒子束产生的图像，且响应于所述图像以调整至少一个非像散带电粒子束的焦点。

公开(公告)号：CN103348439B

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201180067087.9

申请日：2011-11-02

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 细谷幸太郎 ,  大野正臣 ,  波多野治彦

IPC: H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003

Abstract: 不是环境控制式电子线装置，即使通常的电子线装置也能实现试样附近的局部低真空化与试样冷却，并且不对装置进行改造且不追加气缸等设备而只利用试样支架实现试样附近的局部低真空化与试样冷却。在能将成为气体源的物质收纳在内部的容器与在该容器的试样台下部具备贯通孔的试样支架上载置被观察试样，通过上述贯通孔将从上述容器蒸发或挥发的气体供给到上述被观察试样，在上述被观察试样的载置位置或试样附近形成局部的低真空状态。并且，利用在挥发时的气化热也能进行试样冷却。

公开(公告)号：CN104137220B

公开(公告)日：2016-08-17

申请号：CN201380011705.7

申请日：2013-03-15

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小西弥生 ,  能田弘行 ,  稻田高洋 ,  重藤训志 ,  安藤彻 ,  饭泉纪子 ,  多持隆一郎 ,  佐藤贡

IPC: H01J37/24 ,  H01J37/22 ,  H01J37/28

CPC classification number: G09B19/24 ,  G06F3/0484 ,  G09B5/02 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/22

Abstract: 本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。

公开(公告)号：CN105792953A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201380081423.4

申请日：2013-12-06

Applicant: 埃西勒国际通用光学公司 ,  株式会社尼康

Inventor： S·库代尔 ,  R·德利约 ,  G·托尔蒂西耶

IPC: B08B17/06 ,  G02B1/11 ,  G02B27/00

CPC classification number: G02B27/0006 ,  B08B17/065 ,  G02B1/118 ,  G02C7/028 ,  H01J37/222 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种包括至少一个纳米结构化表面的制品，其中：所述纳米结构化表面由具有低于25mJ/m2，优选地为低于20mJ/m2的表面能的材料制成，并且包括限定出腔的相接的基元的阵列，所述基元的所述腔通过中间的固体20材料壁而被彼此分隔开，并且所述腔具有满足以下条件的平均高度(H)和平均半径(R)：R≥5nm，优选地R≥10nm；2R≤250nm，优选地R≤200nm，更好地R≤150nm，更优选地R≤100nm；以及H≤3R。本发明还涉及一种用于设计纳米结构化表面的方法，所述纳米结构化表面包括限定出腔的并置基元的阵列，所述腔通过固体30中间壁而彼此分隔开。

公开(公告)号：CN105719982A

公开(公告)日：2016-06-29

申请号：CN201610082472.5

申请日：2016-02-05

Applicant: 东方晶源微电子科技(北京)有限公司

Inventor： 马卫民 ,  孙伟强

IPC: H01L21/66

CPC classification number: H01J37/20 ,  G03F1/86 ,  G03F7/7065 ,  H01J37/18 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/063 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/2002 ,  H01J2237/2007 ,  H01J2237/202 ,  H01J2237/20292 ,  H01J2237/24571 ,  H01J2237/2817 ,  H01L22/12

Abstract: 本发明公开一种检测系统。根据本发明一方面，检测系统包括：感测机构的多个镜筒；移动机构，用以在感测机构的多个镜筒下定位样品；和控制器，执行配置用以将所述镜筒配置成根据功能、权重和性能中的至少一种执行一种类型检测使得所述多个镜筒以适应的方式用于感测被检测的样品的模块。检测系统的感测机构的多个镜筒配置由不同的功能、权重和性能以检测样品，从而显著地减少如果相同地应用全部镜筒时所需的时间。

公开(公告)号：CN105593966A

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201480053931.6

申请日：2014-10-07

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 青木贤治 ,  斋藤勉 ,  细谷幸太郎 ,  中村光宏 ,  重藤训志

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/292 ,  H01J37/073 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/18 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/24495 ,  H01J2237/248 ,  H01J2237/2809

Abstract: 本发明的目的在于提供一种识别反射电子检测元件与试样之间的位置关系、试样周围的真空状态，自动地选择适合获取目的图像的反射电子检测元件的带电粒子束装置。本发明的带电粒子束装置在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器离开时选择全部的反射电子检测元件，在试样室内的真空度高试样与反射电子检测器接近时选择适合于获取组成图像或凹凸图像的反射电子检测元件。在试样室内的真空度低时选择全部的反射电子检测元件(参照图7)。