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公开(公告)号：KR1020090059756A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070126788
申请日：2007-12-07
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01L41/0973 , H01L41/313 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R31/006 , Y10T29/42
Abstract: A piezoelectric micro speaker and a manufacturing method thereof are provided to reduce a sudden change of an output sound pressure of a micro speaker by forming a resonant change part in a part of a piezoelectric body by a pattern. A piezoelectric body(107) is formed on a top part of an elastic thin film. A resonant change part(110) is formed on a part among a bottom part of the elastic thin film and a top part of the piezoelectric body by a pattern. The elastic thin film is made of one material among silicon, silicon oxide series, and silicon nitride series. The pattern of the resonant change part converts a resonant frequency of an audio frequency band generated in the piezoelectric body into frequency of an inaudible frequency band.
Abstract translation: 提供一种压电微型扬声器及其制造方法，通过在压电体的一部分中形成共振变化部，通过图案来减小微型扬声器的输出声压的突然变化。 在弹性薄膜的顶部形成有压电体（107）。 在弹性薄膜的底部和压电体的顶部之间的一部分上形成共振变化部（110）。 弹性薄膜由硅，氧化硅系列和氮化硅系列之中的一种材料制成。 谐振变化部分的图案将在压电体中产生的音频频带的谐振频率转换成不可听频带的频率。
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公开(公告)号：KR100877690B1
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：KR1020070061440
申请日：2007-06-22
Applicant: 한국전자통신연구원 , 고려대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명은 나노 와이어 배열소자의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 나노와이어 배열소자 제조방법은, (a)기판 상에 나노 와이어가 포함된 나노 와이어 용액을 도포하는 단계; (b)상기 기판 상에 형성된 나노 와이어를 스트라이프 형태로 패터닝하고 기판을 노출시켜 상기 스트라이프 형태의 제 1 식각 영역을 형성하는 단계; (c)상기 패터닝된 나노 와이어를 사이에 두고 드레인 전극선과 소스 전극선을 평행하게 형성하는 단계; (d)일단은 상기 드레인 전극선에 연결되며 적어도 하나의 나노 와이어와 접촉하는 복수의 드레인 전극 및 일단은 상기 소스 전극선에 연결되며 상기 드레인 전극과 접촉하는 나노 와이어에 접촉하는 복수의 소스 전극을 형성하는 단계; (e)한 쌍의 상기 드레인 전극 및 소스 전극 쌍들이 전기적으로 접촉되지 않도록 상기 드레인 전극 및 소스 전극 쌍 사이에 제 2 식각 영역을 형성하는 단계; (f)상기 기판상에 절연층을 형성하는 단계; 및 (g)상기 절연층 상에 상기 나노 와이어와 접촉하는 소스 전극 및 드레인 전극 사이에 게이트 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명에 의하면 나노 와이어를 전극선과 평행하게 정렬하지 못하더라도 대규모 나노와이어 배열 소자를 구현할 수 있으므로, 정렬시키기 힘든 나노 와이어를 이용한 집적소자 및 디스플레이에도 본 발명을 적용할 수 있다. 나아가 플렉서블(flexible) 기판을 응용한 소자 분야에도 본 발명을 적용할 수 있다.
나노 와이어, 트랜지스터 어레이, 선택적 식각, 선태적 패터닝-
公开(公告)号：KR101773954B1
公开(公告)日：2017-09-05
申请号：KR1020110098298
申请日：2011-09-28
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/407
CPC classification number: G01N27/18 , G01N33/004
Abstract: 본발명은 MEMS형전기화학식가스센서에관한것으로서, 하부중앙영역이일정두께만큼식각되어있는기판; 상기기판상부에형성되는제1 절연막; 상기제1 절연막상부에형성되는발열저항체; 상기발열저항체상부에형성되는제2 절연막; 상기제2 절연막상부중앙영역에형성되는기준전극; 상기기준전극상부에형성되는고체전해질; 및상기고체전해질상부에형성되는감지전극을포함한다.
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公开(公告)号：KR101764226B1
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：KR1020120094819
申请日：2012-08-29
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: B81B3/0018 , B81B3/0072 , B81B2201/0257 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/006
Abstract: 본발명은더욱상세하게고정핀에의해하부전극을기판에고정하여외부음압이입력될때 하부전극의상하운동으로인한비선형성분을제거하기위한멤스음향센서및 그제조방법에관한것으로, 기판의일부에고정홈을형성한후, 고정홈에고정핀을형성하고, 고정핀에의해고정전극이기판에고정되도록함으로써, 음압입력시에원하지않는고정전극의상하운동을제거하여주파수응답특성을향상시키는특징을가지며, 공정중에발생할수 있는고정전극의열적변형을억제하여공정의수율을향상시키는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101584289B1
公开(公告)日：2016-01-21
申请号：KR1020090094309
申请日：2009-10-05
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명에따른전력관리장치는배터리를이용하여신재생에너지원으로부터생성된전력을안정적인전력으로제공할수 있다. 특히, 본발명에따른전력관리장치는배터리에서출력되는전류의양을제어하여과전류및 과방전이발생되지않도록할 수있으며, 이에따라신재생에너지원으로부터생성된전력을효율적으로활용및 관리할수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020140097714A
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：KR1020130009883
申请日：2013-01-29
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/16
Abstract: The present invention relates to a catalytic combustion type gas sensor using a micro-electro mechanical system (MEMS) and a micro-heater embedded with a porous membrane. The catalytic combustion type gas sensor includes a detecting structure made of a detecting material and a compensating structure made of a compensating material and thermally insulates by etching a substrate at a predetermined thickness through multiple holes bored on membranes, heating resistor, and sensing electrode. Therefore, the MEMS type catalytic combustion type gas sensor which is subminiature and has remarkably reduced power consumption can be structurally, mechanically, and electrically stable and easily perform an element producing process.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用微机电系统（MEMS）和嵌入多孔膜的微型加热器的催化燃烧式气体传感器。 催化燃烧型气体传感器包括由检测材料制成的检测结构和由补偿材料制成的补偿结构，并且通过在膜，加热电阻和感测电极上钻孔的多个孔蚀刻具有预定厚度的基板而进行热绝缘。 因此，超微型并且显着降低功耗的MEMS型催化燃烧式气体传感器可以在结构上，机械上和电气上稳定并且容易地进行元件制造工艺。
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公开(公告)号：KR1020140083159A
公开(公告)日：2014-07-04
申请号：KR1020120152405
申请日：2012-12-24
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G01N27/12
CPC classification number: G01N27/128 , G01N27/123
Abstract: The present invention discloses a double-sided microgas sensor and a manufacturing method thereof. The sensor includes: an elastic thin film; a heat dissipating resistant layer on the elastic thin film; an interlayer insulation layer on the heat dissipating resistant layer; an upper sensing layer on the interlayer insulation layer; and a lower sensing layer arranged under the elastic thin film corresponding to the heat dissipating resistant layer so as to minimize heat loss on the heat dissipating resistant layer.
Abstract translation: 本发明公开了一种双面微气体传感器及其制造方法。 传感器包括：弹性薄膜; 弹性薄膜上的耐散热层; 耐散热层上的层间绝缘层; 层间绝缘层上的上感测层; 以及布置在与耐散热层相对应的弹性薄膜下方的下感测层，以使耐散热层的热损失最小化。
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公开(公告)号：KR101338856B1
公开(公告)日：2013-12-06
申请号：KR1020100103368
申请日：2010-10-22
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R31/00 , H04R19/005 , H04R19/02
Abstract: 본 발명의 일 실시예는, 측벽부들 및 상기 측벽부들의 바닥으로부터 연장된 바닥부를 포함하는 기판; 상기 기판 상에 고정되되, 상기 바닥부의 가운데 영역 상에 제1 홀을 포함하여 제공된 오목부 및 상기 바닥부의 가장자리 영역 상에 제2 홀을 포함하여 제공된 볼록부를 포함하는 하부 전극; 상기 하부 전극의 오목부와 진동 공간을 사이에 두고 대향되는 진동판; 상기 진동판의 측면에서 상기 하부 전극 상에 제공되되, 상기 진동판과 동일한 높이의 상부면을 가지는 진동판 지지대들; 및 상기 하부 전극 아래에서 상기 바닥부 및 상기 측벽부들 사이의 공간에 제공된 음향 챔버를 포함하는 음향 센서를 제공한다.
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公开(公告)号：KR1020130044487A
公开(公告)日：2013-05-03
申请号：KR1020110108577
申请日：2011-10-24
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H04R19/04 , H04R31/00 , Y10T29/49005 , H01L2924/00014
Abstract: PURPOSE: An acoustic sensor and a manufacturing method thereof are provided to easily remove dicing pieces such as a solid electronic device and to damage a vibration plate. CONSTITUTION: A printed circuit board(310) forms an acoustic pressure input hole for receiving external acoustic pressure. An acoustic sensor unit is combined on the printed circuit board to be exposed to the outside through the acoustic pressure input hole. The acoustic sensor unit includes a vibration plate vibrating due to external acoustic pressure, a lower electrode being used as a corresponding electrode of the vibration plate and a lower electrode support wall supporting the lower electrode. A cover(415) covers the acoustic sensor unit to be attached to the printed circuit board. An acoustic chamber is formed in the cover and the vibration plate of the acoustic sensor unit.
Abstract translation: 目的：提供一种声传感器及其制造方法，用于容易地去除诸如固体电子装置的切割片，并损坏振动板。 构成：印刷电路板（310）形成用于接收外部声压的声压输入孔。 声传感器单元组合在印刷电路板上，通过声压输入孔暴露于外部。 声学传感器单元包括由于外部声压而振动的振动板，用作振动板的相应电极的下部电极和支撑下部电极的下部电极支撑壁。 盖（415）覆盖要附接到印刷电路板的声学传感器单元。 在声学传感器单元的盖和振动板中形成声室。
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公开(公告)号：KR1020130039504A
公开(公告)日：2013-04-22
申请号：KR1020110104107
申请日：2011-10-12
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H04R1/00 , B81B3/007 , B81B2201/0257 , H04R1/2807 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R31/006 , H04R2201/003
Abstract: PURPOSE: A MEMS microphone and a manufacturing method thereof are provided to offer a high reliability and high sensitivity MEMS microphone by forming a fixed electrode support for placing and supporting a fixed electrode on a vibrating plate in a surface machined MEMS microphone. CONSTITUTION: A MEMS microphone comprises: a substrate(310); a rear acoustic chamber formed inside a front surface of the substrate; a vibrating plate(320) formed on the substrate and having an exhaust hole(324); a fixed electrode(330) formed on the vibrating plate; and a fixed electrode support(314) supported by the bottom of the rear acoustic chamber and connected to the fixed electrode through the exhaust hole. The substrate is a silicon substrate or the like. The vibration plate is formed at the same height as the upper surface of the substrate or is formed to be spaced apart from the substrate at a predetermined interval. The fixed electrode comprising a metal(330a) and an insulation layer(330b) has a plurality of exhaust holes(334) and is formed to be spaced apart from the vibrate plate at a predetermined distance.
Abstract translation: 目的：提供一种MEMS麦克风及其制造方法，通过在表面加工的MEMS麦克风中通过形成用于将固定电极放置和支撑在振动板上的固定电极支架来提供高可靠性和高灵敏度的MEMS麦克风。 构成：MEMS麦克风包括：基板（310）; 形成在所述基板的前表面内的后声室; 形成在所述基板上并具有排气孔的振动板（320）; 形成在所述振动板上的固定电极（330） 以及由后声室的底部支撑并通过排气孔与固定电极连接的固定电极支撑件（314）。 衬底是硅衬底等。 振动板形成在与基板的上表面相同的高度处，或者形成为以预定间隔与基板间隔开。 包括金属（330a）和绝缘层（330b）的固定电极具有多个排气孔（334），并形成为与振动板隔开预定距离。
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