SENSORVORRICHTUNG, DIE EINE SENSOREINHEIT FÜR EIN GASFÖRMIGES MEDIUM ENTHÄLT

    公开(公告)号:DE102016121683B4

    公开(公告)日:2020-06-18

    申请号:DE102016121683

    申请日:2016-11-11

    Abstract: Sensorvorrichtung, umfassend:eine Sensoreinheit (200), die für eine Eigenschaft eines gasförmigen Mediums sensitiv ist, wobei die Sensoreinheit (200) auf einer ersten Oberfläche (101) eines Sensorsubstrats (100) und auf einer aufgehängten Masse (160) des Sensorsubstrats (100) ausgebildet ist, die durch mindestens einen Federbalken (108) mit einem weiteren Teil des Sensorsubstrats (100) verbunden ist;eine Rahmenstruktur (300) auf der ersten Oberfläche (101), wobei die Rahmenstruktur (300) einen ersten Schleifenbereich (310) aufweist, der einen ersten Bereich (110) mit der Sensoreinheit (200) lateral umgibt;einen kommunizierenden Kanal (150), der durch einen Basisanschluss (812) im Sensorsubstrat (100) einen Zugang zum ersten Bereich (110) hat, wobei der Basisanschluss (812) eine Federrille (107) aufweist, die einen Federbalken (108) von der aufgehängten Masse (160) oder dem weiteren Teil des Sensorsubstrats (100) trennt; undeine Deckelstruktur (400), die die Rahmenstruktur (300) und den ersten Bereich (110) vollständig bedeckt.

    Halbleiter-Package und Verfahren zu seiner Herstellung

    公开(公告)号:DE102014117594A1

    公开(公告)日:2016-06-02

    申请号:DE102014117594

    申请日:2014-12-01

    Abstract: Ein Halbleiter-Package kann einen Halbleiterchip, der eine erste Hauptfläche und Seitenflächen umfasst, eine Verkapselung, die zumindest die Seitenflächen des Halbleiterchips abdeckt, und eine elektrische Umverdrahtungsstruktur umfassen, die über der ersten Hauptfläche des Halbleiterchips angeordnet ist, wobei eine erste Hauptfläche des Halbleiter-Package eine Fläche der elektrischen Umverdrahtungsstruktur und eine Fläche der Verkapselung umfasst.

    Drucksensorgehäusesysteme und -verfahren

    公开(公告)号:DE102011078937A1

    公开(公告)日:2012-01-19

    申请号:DE102011078937

    申请日:2011-07-11

    Abstract: Ausführungsbeispiele beziehen sich auf Integrierte-Schaltung-(IC-)Sensoren und Erfassungssysteme und -verfahren. Bei einem Ausführungsbeispiel umfasst ein IC-Sensorbauelement zumindest ein Erfassungselement; ein Rahmenelement, das auf einer Waferebene um das zumindest eine Erfassungselement herum angeordnet ist; und ein Gehäuse mit zumindest einer Öffnung, die durch das Rahmenelement auf der Waferebene vordefiniert ist, wobei die zumindest eine Öffnung konfiguriert ist, um zumindest einen Teil des zumindest einen Erfassungselements gegenüber einer Umgebung freizulegen.

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