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公开(公告)号:KR102077953B1
公开(公告)日:2020-02-14
申请号:KR1020187018733
申请日:2017-05-08
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
Inventor: 조쉬나얀에이치
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公开(公告)号:KR102010731B1
公开(公告)日:2019-08-14
申请号:KR1020197006333
申请日:2017-09-14
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
IPC: H01L21/677 , C23C18/16 , C25D17/00 , C25F7/00 , H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/68 , H01L21/02 , H01L21/306
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公开(公告)号:KR101927679B1
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:KR1020147027285
申请日:2013-03-21
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
Abstract: 본 발명은, 유기실란 조성물을 도포한 다음 산화 처리하는 유전체 기판 표면의 금속화를 위한 신규한 프로세스들에 관한 것이다. 그 방법은 금속 도금된 표면들이 기판과 도금된 금속 사이에 높은 접착을 나타내게 하는 한편 동시에 매끄러운 기판 표면을 온전한 상태로 둔다.
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公开(公告)号:KR101899621B1
公开(公告)日:2018-09-17
申请号:KR1020137033919
申请日:2012-05-07
Applicant: 아토테크더치랜드게엠베하
IPC: C25D3/38
CPC classification number: C25D3/38 , C25D5/34 , C25D7/123 , H01L21/2885 , H01L21/76898 , H05K3/187 , H05K3/423 , H05K2203/0733
Abstract: 기판이, 티올기를갖는헤테로시클릭코어, 및스페이서에의해상기헤테로시클릭코어에부착된아미노기를포함하는레벨러첨가제와접촉되는도금욕에서의구리도금방법이개시된다. 상기방법은인쇄회로판, IC 기판및 반도체기판의제조에있어서홈 구조들을충전하는데특히적합하다.
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