公开(公告)号：TWI488990B

公开(公告)日：2015-06-21

申请号：TW098112674

申请日：2009-04-16

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 李 東 ,  LI, DONG ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN ,  賀加 蘇維P ,  HAUKKA, SUVI P. ,  林偉民 ,  LI, WEI-MIN

IPC: C23C16/32 ,  H01L21/283

CPC classification number: C23C16/32 ,  C23C16/45527 ,  H01L21/28088 ,  H01L21/28273 ,  H01L21/28562 ,  H01L21/76843 ,  H01L29/4966

公开(公告)号：TWI443713B

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：TW097141223

申请日：2008-10-27

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 托馬西尼 皮爾瑞 ,  TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 ,  CODY, NYLES

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/205 ,  C23C16/24 ,  C23C16/22

CPC classification number: H01L29/167 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636

公开(公告)号：TWI443221B

公开(公告)日：2014-07-01

申请号：TW096139836

申请日：2007-10-24

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK ,  威爾克 葛嵐 ,  WILK, GLEN ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN

IPC: C23C16/32

CPC classification number: C23C16/32 ,  C23C16/45527 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/515

公开(公告)号：TWI412063B

公开(公告)日：2013-10-11

申请号：TW095101879

申请日：2006-01-18

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 馬伊夫 維基 ,  VERGHESE, MOHITH ,  雪洛 艾立克 ,  SHERO, ERIC ,  貝比克 達寇 ,  BABIC, DARKO ,  特后司特 赫伯特 ,  TERHORST, HERBERT ,  沛薩 瑪寇 ,  PEUSSA, MARKO ,  洋 敏 ,  YAN, MIN

IPC: H01L21/00 ,  C23C16/455 ,  C30B25/14

CPC classification number: H01L21/68785 ,  C23C16/4408 ,  C23C16/455 ,  C23C16/45517 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45544 ,  C23C16/45561 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/45582 ,  C23C16/45587 ,  C23C16/45591 ,  C23C16/458 ,  C23C16/4582 ,  C23C16/4583 ,  C23C16/4586 ,  C30B35/00 ,  H01L21/67236 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/68742

公开(公告)号：TWI410515B

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：TW096141030

申请日：2007-10-31

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK

IPC: C23C16/32

CPC classification number: C23C16/32 ,  C23C16/45527 ,  C23C16/45534 ,  C23C16/45542

公开(公告)号：TWI405248B

公开(公告)日：2013-08-11

申请号：TW095147892

申请日：2006-12-20

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 波爾 麥特喜愛斯 ,  BAUER, MATTHIAS

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02639

公开(公告)号：TWI397110B

公开(公告)日：2013-05-21

申请号：TW095108719

申请日：2006-03-15

Applicant: ASM美國股份有限公司 ,  ASM AMERICA, INC.

Inventor： 努頓 莎貝之聖E 凡 ,  NOOTEN, SEBASTIAN E. VAN ,  梅斯 強 威廉 ,  MAES, JAN WILLEM ,  馬庫斯 史蒂芬 ,  MARCUS, STEVEN ,  威爾克 格蘭 ,  WILK, GLEN ,  拉薩內尼 佩托 ,  RAISANEN, PETRI ,  艾爾斯 凱 艾瑞克 ,  ELERS, KAI-ERIK

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/8242

CPC classification number: H01J37/32082 ,  C23C16/045 ,  C23C16/403 ,  C23C16/448 ,  C23C16/45519 ,  C23C16/45525 ,  C23C16/45542 ,  C23C16/45565 ,  C23C16/50 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32935 ,  H01L21/02178 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/0228 ,  H01L21/3141 ,  H01L21/3162 ,  H01L29/66181

公开(公告)号：TW200931499A

公开(公告)日：2009-07-16

申请号：TW097141223

申请日：2008-10-27

Applicant: ASM美國股份有限公司 ASM AMERICA, INC.

Inventor： 托馬西尼 皮爾瑞 TOMASINI, PIERRE ,  寇帝 奈爾 CODY, NYLES

IPC: H01L ,  C23C

CPC classification number: H01L29/167 ,  C23C16/04 ,  C23C16/22 ,  C30B25/02 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02636

Abstract: 提供一種選擇性沉積單晶膜的方法。此方法包括:提供基底,此基底包括具有第一表面形態的第一表面與具有第二表面形態的第二表面,其中第二表面形態不同於第一表面形態。將矽前驅體與三氯化硼互混,形成原料氣。在化學氣相沉積條件下,將此原料氣輸送到基底。藉由引進原料氣,在第一表面上選擇性沉積含矽層,而不在第二表面上沉積含矽層。

Abstract in simplified Chinese: 提供一种选择性沉积单晶膜的方法。此方法包括:提供基底,此基底包括具有第一表面形态的第一表面与具有第二表面形态的第二表面,其中第二表面形态不同于第一表面形态。将硅前驱体与三氯化硼互混,形成原料气。在化学气相沉积条件下,将此原料气输送到基底。借由引进原料气,在第一表面上选择性沉积含硅层,而不在第二表面上沉积含硅层。

公开(公告)号：TW200925317A

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：TW097132391

申请日：2008-08-25

Applicant: ASM美洲公司 ASM AMERICA, INC.

Inventor： 邁克 賀賓 HALPIN, MIKE ,  麥特 古德曼 GOODMAN, MATT

IPC: C23C ,  G05D ,  G01K

CPC classification number: G01K7/04 ,  G05D23/1931 ,  G05D23/22

Abstract: 本發明提供一種量測於化學氣相沉積反應器中被處理之基板鄰近位置的溫度之熱偶器。熱偶器包含具有量測尖端之護套。熱偶器亦包含置於護套中之支撐管。熱偶器更包含由支撐管所支撐之第一及第二接線。第一及第二接線由不同金屬形成。接面形成於第一及第二接線之間,其中接面位於鄰近支撐管之遠端。彈簧置於支撐管之部分附近。彈簧受壓縮以施加彈簧力於支撐管,以使接面偏向量測尖端,而使接面連續接觸量測尖端。彈簧力夠小到使接面避免顯著變形,以及降低熱偶器彼此間的彈簧力或接面位置的變異。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种量测于化学气相沉积反应器中被处理之基板邻近位置的温度之热偶器。热偶器包含具有量测尖端之护套。热偶器亦包含置于护套中之支撑管。热偶器更包含由支撑管所支撑之第一及第二接线。第一及第二接线由不同金属形成。接面形成于第一及第二接线之间,其中接面位于邻近支撑管之远程。弹簧置于支撑管之部分附近。弹簧受压缩以施加弹簧力于支撑管,以使接面偏矢量测尖端,而使接面连续接触量测尖端。弹簧力够小到使接面避免显着变形,以及降低热偶器彼此间的弹簧力或接面位置的变异。

公开(公告)号：TW200907310A

公开(公告)日：2009-02-16

申请号：TW097118365

申请日：2008-05-19

Applicant: ASM美國股份有限公司 ASM AMERICA, INC.

Inventor： 雅可布斯 勞恩 JACOBS, LOREN ,  海爾賓 邁克 HALPIN, MIKE

IPC: G01K ,  H01L

CPC classification number: G01K1/08 ,  G01K7/02 ,  G01K7/04

Abstract: 一種熱偶,具有經組態以收納由不同金屬形成的一對線之支撐管。熱偶之所述對線在鄰近支撐管的一個末端之接頭處連接。熱偶更包括附著至支撐管之相對末端的罩蓋,其中罩蓋收納所述對線之自由端。罩蓋允許所述對線自由地平移穿過罩蓋以適應所述對線之熱膨脹及收縮相對於支撐管之熱膨脹及收縮的差異。

Abstract in simplified Chinese: 一种热偶,具有经组态以收纳由不同金属形成的一对线之支撑管。热偶之所述对线在邻近支撑管的一个末端之接头处连接。热偶更包括附着至支撑管之相对末端的罩盖,其中罩盖收纳所述对线之自由端。罩盖允许所述对线自由地平移穿过罩盖以适应所述对线之热膨胀及收缩相对于支撑管之热膨胀及收缩的差异。