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公开(公告)号：KR1020120070076A
公开(公告)日：2012-06-29
申请号：KR1020100131479
申请日：2010-12-21
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: G03F7/20 , B82B3/00 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/2012 , B82B3/0009 , G03F7/0002 , G03F7/161 , G03F7/2004 , H01L21/0275
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a stamp with a micro/nano hybrid pattern is provided to prevent the deformation and the damage of the stamp by forming patterns based on the irradiation of and electron beam and light with respect to a metal-organic precursor composition and washing a developer. CONSTITUTION: A metal-organic precursor composition based on organic ligand is coated on a substrate for a stamp(S1). Electron beam and light are locally irradiated to the composition. A developer is washed to form a micro/nano hybrid patterned metal oxide thin film pattern(S2). The pattern is heated or undergoes microwave, X-ray, gamma-ray, or ultraviolet ray irradiation or plasma treatment in order to change one of the shape, the line width, and the height of the pattern(S3).
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造具有微/纳米混合图案的印模的方法，以通过基于相对于金属 - 有机前体组合物的照射和电子束和光的形成图案来防止印模的变形和损坏， 洗一个开发商 构成：将基于有机配体的金属有机前体组合物涂覆在用于印模的基材上（S1）。 对组合物局部照射电子束和光。 洗涤显影剂以形成微/纳米混合图案化金属氧化物薄膜图案（S2）。 将图案加热或进行微波，X射线，γ射线或紫外线照射或等离子体处理，以便改变图案的形状，线宽和图案的高度之一（S3）。
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公开(公告)号：KR1020120063716A
公开(公告)日：2012-06-18
申请号：KR1020100124812
申请日：2010-12-08
Applicant: (재)한국나노기술원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a semiconductor device for substrate reuse is provided to improve productivity of the semiconductor device by securing two thin film structures with one separation process. CONSTITUTION: A first device layer(320) is formed at one side of a substrate(300). The first device layer comprises a transparent electrode layer and a p-type electrode. A second device layer(340) is formed at the other side of the substrate. A first carrier substrate(360) is welded to the first device layer. A second carrier substrate(380) is welded to the second device layer. The first device layer and the substrate are separated and the second device layer and the second device layer are separated through a laser lift off method.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于衬底再利用的半导体器件的方法，以通过用一个分离工艺固定两个薄膜结构来提高半导体器件的生产率。 构成：第一器件层（320）形成在衬底（300）的一侧。 第一器件层包括透明电极层和p型电极。 第二器件层（340）形成在衬底的另一侧。 第一载体衬底（360）焊接到第一器件层。 第二载体衬底（380）焊接到第二器件层。 分离第一器件层和衬底，并通过激光剥离法分离第二器件层和第二器件层。
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公开(公告)号：KR101143477B1
公开(公告)日：2012-05-22
申请号：KR1020110008711
申请日：2011-01-28
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L51/42
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/42
Abstract: PURPOSE: An organic solar cell and a manufacturing method thereof are provided to improve solar cell efficiency by increasing an interfacial area of an electron donor layer and an electron accepting layer by adding a regular pattern to PN junction. CONSTITUTION: An anode(120) is formed on a transparent substrate(110). A regular pattern(123) is formed on an upper side of the anode. An electron accepting layer(130) is formed on the anode. A regular pattern(133) is formed on an upper side of the electron accepting layer. An electron donor layer(140) is formed on the electron accepting layer. A cathode(150) is formed on the electron donor layer.
Abstract translation: 目的：提供一种有机太阳能电池及其制造方法，通过向PN结添加规则图案，通过增加电子供体层和电子接受层的界面面积来提高太阳能电池的效率。 构成：阳极（120）形成在透明基板（110）上。 在阳极的上侧形成规则图案（123）。 在阳极上形成电子接受层（130）。 在电子接受层的上侧形成规则图案（133）。 在电子接受层上形成电子给体层（140）。 在电子给体层上形成阴极（150）。
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公开(公告)号：KR1020110128523A
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：KR1020100048020
申请日：2010-05-24
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/0224
Abstract: PURPOSE: A graphene thin film in which a pattern is formed is provided to improve adhesive force with a high position film by including dangling bond and a chemical functional group in the unevenness part of a graphene layer. CONSTITUTION: A graphene thin film comprises a graphene layer(210) and a chemical functional group(220). Concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The density of edge part is increased when the concavo-convex is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is formed on the surface of the graphene layer. The chemical functional group is more than one among phenol, carbonyl, carboxyl, quinine, and lactone.
Abstract translation: 目的：提供形成图案的石墨烯薄膜，以通过在石墨烯层的不均匀部分中包括悬挂键和化学官能团来提高与高位置膜的粘合力。 构成：石墨烯薄膜包括石墨烯层（210）和化学官能团（220）。 在石墨烯层的表面上形成凹凸。 当在石墨烯层的表面上形成凹凸时，边缘部分的密度增加。 化学官能团形成在石墨烯层的表面上。 苯酚，羰基，羧基，奎宁和内酯中的化学官能团多于一种。
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公开(公告)号：KR102199166B1
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：KR1020180161483
申请日：2018-12-14
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/0224 , H01L31/18 , H01L31/05 , H01L31/0328 , H01L31/0216
Abstract: 본발명은태양전지에관한것으로서, 에피성장용기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층에메사에칭을진행하여상기반도체층을복수개의단위반도체층셀로분리하는제2단계와, 각단위반도체층셀의상부에제1전극, 메사영역에제2전극을형성하고, 상기반도체층의측면을절연하기위한절연층을형성하는제3단계와, 상기제1전극및 제2전극, 상기절연층이형성된단위반도체층셀 전면(total surface)에유연기판을형성하는제4단계와, 상기유연기판에상기제1전극및 제2전극에대응하는영역에상하로관통하는전극연결부를형성하는제5단계와, 상기전극연결부에전도성재료를충진시키는제6단계와, 상기에피성장용기판을상기반도체층으로부터박리시키고, 공정용임시기판을상기유연기판에부착시키는제7단계와, 상기단위반도체층셀의캡 에칭(cap etching) 및 ARC(anti-reflection coating) 공정을수행한후 각단위반도체층셀을분리하고, 상기공정용임시기판을분리하는제8단계를포함하는것을특징으로하는후면전극태양전지의제조방법및 이에의해제조된후면전극태양전지그리고이를이용한후면전극태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해태양전지의후면에제1전극및 제2전극이동시에위치하는후면전극태양전지를제공하며, 와이어본딩공정등이전혀필요치않아공정을단순화시키고, 전극간 연결부위가안정적으로이루어지도록하여생산성및 내구성을향상시키는이점이있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101796012B1
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：KR1020160036143
申请日：2016-03-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0445 , H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에경화성수지층을형성하는제2단계와, 상기경화성수지층을패터닝하고경화하여, 홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기홀패턴내부에후면전극을형성시키는제4단계와, 상기벌크기판을제거하는제5단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제6단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을적용하여플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시킬수 있도록하였으며, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.
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87.发明公开전도성 기판을 갖는 플렉시블 태양전지의 제조방법 및 그에 의해 제조된 플렉시블 태양전지 그리고 이를 이용한 플렉시블 태양전지 모듈 有权生产具有的导电性基板，因此通过使用相同的制备的柔性太阳能电池和柔性太阳能电池模块的柔性太阳能电池
公开(公告)号：KR1020170113798A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020160036148
申请日：2016-03-25
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/049 , H01L31/0236 , H01L31/0392
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/18 , H01L31/022425 , H01L31/022441 , H01L31/02366 , H01L31/0392 , H01L31/049 , H01L31/1892
Abstract: 본발명은플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지에관한것으로서, 벌크기판상부에반도체층을형성하는제1단계와, 상기반도체층상부에후면전극을형성하는제2단계와, 상기후면전극상부에홀패턴이구비된플렉시블기판을형성시키는제3단계와, 상기벌크기판을제거하는제4단계와, 상기반도체층하부에전면전극을형성하는제5단계와, 상기홀패턴내부에전도성재료를충진시키는제6단계및 상기전도성재료가홀패턴에충진된플렉시블기판전면에금속백시트를형성하는제7단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는전도성기판을갖는플렉시블태양전지의제조방법및 그에의해제조된플렉시블태양전지그리고이를이용한플렉시블태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해본 발명은홀패턴이구비된플렉시블기판을사용하고, 상기홀패턴에전도성재료를충진하여사용함으로써, 플라스틱재료의유연성과전도성재료의전도성을융합시킨전도성을갖는플렉시블기판을적용하여, 기존플렉시블기판사용시문제되는전기적및 열적특성을향상시켜태양전지의성능을개선시키고, 이러한홀패턴이구비된플렉시블기판을사용한플렉시블태양전지는직렬로연결하여모듈형태로사용할시에후면전극연결문제를해결하고, 무게를획기적으로줄일수 있는초경량플렉시블태양전지또는초경량플렉시블태양전지모듈을제공할수 있는이점이있다.
Abstract translation: 本发明提供了一种形成的制造方法，并且在体衬底上形成半导体层的第一步骤背接触，该半导体层的上方涉及由此制造的柔性太阳能电池的柔性太阳能电池的第二步骤中， 其中，所述背接触顶部的第三步骤的所述第四步骤，以形成具有孔图案的柔性基板，在去除体衬底，并在半导体层中形成的正面电极的下部的第五步骤中，内部的孔图案 制造柔性太阳能电池的制造方法具有第六步骤，和所述导电材料以填充具有导电性基板，其包括形成在柔性基板上的金属背片上填充在孔图案的第七步骤所述导电材料 并且由此制造的柔性太阳能电池和使用其的柔性太阳能电池模块。 这种做发明是应用柔性衬底上，以及通过填充所述孔图案的导电材料使用具有其使用设置有孔图案的柔性衬底上的导电性，并且结合了塑料材料的导电材料的柔韧性和电导率，现有 使用柔性基板时的问题，以改善太阳能电池的性能提高了电气和热性能，为模块化使用时使用所述柔性基板的柔性太阳能电池是这样的串联连接提供固定背面电极连接问题的孔图案 轻质柔性太阳能电池或超轻质柔性太阳能电池组件，可显着减轻重量。
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公开(公告)号：KR101731540B1
公开(公告)日：2017-05-02
申请号：KR1020150187629
申请日：2015-12-28
Applicant: (재)한국나노기술원
IPC: H01L31/04 , H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/042
CPC classification number: Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 본발명은유연성있는태양전지를포함하는섬유및 그것의제조방법에관한것이다. 본발명에따른섬유를포함하는태양전지는제 1 전극, 제 1 전극과상이한극성을갖는제 2 전극, 제 1 전극및 제 2 전극사이에배치되는 p-n접합층, 제 1 전극또는 p-n접합층에인접하여배치되는 ARC 및제 1 전극, 상기제 2 전극, p-n접합층, 및 ARC의외부에서제 1 전극, 제 2 전극, p-n접합층, 상기 ARC를둘러싸도록형성되는섬유를포함한다.
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公开(公告)号：KR101642506B1
公开(公告)日：2016-07-26
申请号：KR1020140184731
申请日：2014-12-19
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: Y02E10/52
Abstract: 본발명은반사광을이용한집광형태양전지모듈에관한것으로서, 태양광을집광하는광학시스템과, 상기광학시스템에의해집광된태양광이입사되는태양전지셀을포함하여구성되어, 태양광발전을일으키는태양전지모듈에있어서, 내부에반사공간이형성되고, 내측면에복수개의태양전지셀이장착되는케이스와, 상기케이스의일측이오픈형성되어, 상기광학시스템에의해집광된태양광이상기케이스내부로입사되도록형성된광입사부와, 상기케이스의내부저면부에형성되어, 상기광입사부에의해입사된태양광을상기반사공간으로반사시키도록형성된반사부및 상기케이스의내부표면에형성되어, 상기반사부에의해반사광을확산반사시켜태양전지셀에제공하는확산반사부를포함하여구성되는것을특징으로하는반사광을이용한집광형태양전지모듈을기술적요지로한다. 이에의해단일광학시스템외에별도의광학시스템이필요하지않으며, 트래킹시스템의오차에의해초점이어긋나는경우에도입사하는태양광을반사시켜태양전지셀로제공하도록하며, 다수의태양전지셀을단일모듈로제공하여장치의구성이간단하고, 설치가편리한이점이있다.
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90.发明公开
公开(公告)号：KR1020160084966A
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020150001431
申请日：2015-01-06
Applicant: (재)한국나노기술원
CPC classification number: G03F7/0002 , G03F7/0035 , G03F7/0047
Abstract: 본발명은금속산화물복합구조체및 그제조방법에관한것으로서, 기판또는박막의상부에감광성금속-유기물전구체층을형성하는단계와, 상기감광성금속-유기물전구체층을제1패턴이형성된임프린트용스탬프로가압하되, 상기감광성금속-유기물전구체층이완전경화되는도즈보다낮고임계경화되는도즈보다높은도즈로광경화를수행하는메타-광경화임프린팅단계와, 상기임프린트용스탬프를상기감광성금속-유기물전구체층으로부터제거하는단계와, 상기패턴된감광성금속-유기물전구체층상단에제2패턴이형성된포토마스크를위치시킨후, 완전경화도즈이상으로자외선또는열을조사하여금속산화박막패턴층을형성하는완전경화포토리소그래피단계와, 상기경화가완료된금속산화박막패턴층을현상(Developing)하여, 상기제1패턴과제2패턴이복합적으로구현된금속산화물복합구조체를형성하는단계를포함하여이루어지는것을특징으로하는메타-광경화임프린팅공정과완전경화포토리소그래피공정에의한금속산화물복합구조체제조방법및 그에의해제조된금속산화물복합구조체를기술적요지로한다. 이에의해이종(異種)의패턴이복합적으로구현된금속산화물구조체의제공이용이하며, 완전경화가되지않을정도의도즈에서임프린팅공정이진행되고, 그후 포토리소그래피공정에의해완전경화를수행하여, 식각공정이생략된중간경화공정을추가함으로써, 식각공정의횟수를줄일수 있어공정의단순화및 비용을절감시키는이점이있다.
Abstract translation: 金属氧化物复合结构及其制备方法技术领域本发明涉及金属氧化物复合结构体及其制备方法，更具体地说，涉及通过间光光固化印刷法和光刻法制备金属氧化物复合结构体的方法和由其制备的金属氧化物复合结构体。 根据本发明，该方法包括：在晶片或薄膜的顶部形成光敏金属 - 有机材料前体层的步骤; 光固化印刷步骤，其中光固化在低于完全固化光敏金属 - 有机材料前体层并且高于其固化所需的临界剂量的剂量下的剂量下进行，并且使用具有第一图案的印记印模 以向感光金属 - 有机材料前体层施加压力; 从感光金属 - 有机材料前体层去除印记印模的步骤; 完全固化光刻步骤，其中将具有第二图案的光掩模放置在上述图案化的感光金属 - 有机材料前体层上，然后以足够高的剂量进行UV辐射或加热以诱导完全固化，以产生金属氧化物 薄膜图案层; 以及将上述固化的金属氧化物薄膜图案层显影以产生具有第一和第二图案的金属氧化物复合结构的步骤。 根据本发明，可以容易地制备具有两种不同图案的金属氧化物结构，通过以不引起完全固化的剂量进行压印加工，随后进行完全固化，可以简化和降低工艺和成本 通过光刻工艺，并且通过执行除了蚀刻工艺之外的中间固化工艺以减少蚀刻工艺的数量。
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